JP2011137710A - 反射面形状制御ミラー装置及び反射面形状制御ミラーの製造方法 - Google Patents
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Abstract
熱膨張係数の異なる材質の積層構造で、ミラー製造時の温度差に起因する歪による表面形状の加工誤差と、ナノ集光作業時の設置環境条件に起因する歪による表面形状の誤差を解消し、nmオーダーの形状精度を実現し、X線ビームを理想波面に変更し、また焦点距離可変な反射面形状制御ミラー装置を提供する。
【解決手段】
基板1の表面中央部に帯状のX線反射面2を形成し、X線反射面の両側に沿って基準平面3を形成し、基板の両側部で少なくとも表裏一面に複数の圧電素子4をX線反射面の長手方向に並べて基板に接合した反射面形状制御ミラーと、各圧電素子に電圧を印加する多チャンネルのコントロールシステムとからなる。
【選択図】 図1
Description
emission machining)であり、加工面に沿って微粒子を混合した超純水の高剪断流を形成し、一種の化学反応によって微粒子が表面原子と結合し、微粒子の移動とともに表面原子が除去される加工原理である。また、形状測定技術とは、MSI(Microstitching
Interferometry)とRADSI(Relative Angle Determinable Stitching Interferometry)であり、小面積を高精度に形状測定可能な干渉計の部分形状データをつなぎ合わせて全体形状を得るという測定原理で、X線ミラーの形状を全空間波長領域でPV値:1nm以下の測定再現性をもって高精度に計測することが可能である。
フィードバックを行い任意形状の変形実験を行った結果、目標形状に対し,再生形状だけでは目標形状との誤差が大きくなっていることが分かる。しかし、フィードバックをかけることによってサブナノメートルの精度でミラー形状を制御することに成功した。このように、フィードバックシステムを用いることにより、目標形状により近づけることができるのである。
B コントロールシステム
1 基板
2 X線反射面
3 基準平面
4 圧電素子
5 形状計測手段
6 制御ボックス
7 コンピュータ
8 コンピュータ
9 X線集光ミラー
Claims (9)
- 軟X線から硬X線領域のX線ビームを反射させて理想波面に変更するための反射面形状制御ミラー装置であって、基板の表面中央部に帯状のX線反射面を形成し、該X線反射面の両側に沿って基準平面を形成するとともに、基板の両側部で少なくとも表裏一面に複数の圧電素子を前記X線反射面の長手方向に並べて基板に接合した反射面形状制御ミラーと、前記各圧電素子に電圧を印加する多チャンネルのコントロールシステムとからなる反射面形状制御ミラー装置。
- 前記反射面形状制御ミラーが、前記基板の両側部で、前記基準平面の外側に沿って前記圧電素子を列設したものである請求項1記載の反射面形状制御ミラー装置。
- 前記反射面形状制御ミラーが、前記X線反射面を中心として左右対称に前記圧電素子を列設したものである請求項1又は2記載の反射面形状制御ミラー装置。
- 前記反射面形状制御ミラーが、前記基板の表裏両面に同じ配置パターンで前記圧電素子を列設したものである請求項1〜3何れかに記載の反射面形状制御ミラー装置。
- 請求項1〜4何れかに記載の反射面形状制御ミラー装置を用い、予めX線反射面と基準平面の初期形状データを取得して相対形状差を算出しておいた前記反射面形状制御ミラーをX線集光光学系に組み込み、その状態のまま該反射面形状制御ミラーの基準平面の形状をモニターするとともに、X線集光エリアで計測したX線プロファイルの強度分布に基づき、位相回復法によりX線集光光学系の位相誤差を算出し、該位相誤差を打ち消すように前記反射面形状制御ミラーの各圧電素子に前記コントロールシステムから電圧を印加し、前記X線反射面の形状を変化させることを特徴とするX線集光方法。
- 軟X線から硬X線領域のX線ビームを反射させて理想波面に変更するための反射面形状制御ミラーの製造方法であって、基板の表面中央部に帯状のX線反射面と、該X線反射面の両側に沿った基準平面とを所望精度で加工した後、前記基板の両側部で少なくとも表裏一面に複数の圧電素子を前記X線反射面の長手方向に並べて基板に接合したことを特徴とする反射面形状制御ミラーの製造方法。
- 前記基板の両側部で、前記基準平面の外側に沿って前記圧電素子を列設した請求項6記載の反射面形状制御ミラーの製造方法。
- 前記X線反射面を中心として左右対称に前記圧電素子を列設した請求項6又は7記載の反射面形状制御ミラーの製造方法。
- 前記基板の表裏両面に同じ配置パターンで前記圧電素子を列設した請求項6〜8何れかに記載の反射面形状制御ミラーの製造方法。
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