JP2014085194A - 形状可変x線ミラーシステム - Google Patents
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Abstract
取り扱いが容易で、反射面の変形再現性にも優れた形状可変X線ミラーシステムを提供する。
【解決手段】
四角形板状の基板3表面の中央部に沿って反射面4を形成し、反射面の両側に沿った表裏両面に帯状の圧電素子5が貼り付けられ、各圧電素子の上には表面電極が一定間隔毎に多数設けられている形状可変X線ミラー1を、ミラー支持ユニット2に間隔を置いて平行に固定された表側支持板11と裏側支持板12との間に、複数のピン6,7とスペーサ8によって自重による変形が最小になるように点支持するとともに、表側支持板と裏側支持板から突設した複数の弾性接点9を圧電素子の各表面電極10に接触させた。
【選択図】 図1
Description
and Baez)ミラーからなる集光光学系により、波長が0.6Åの硬X線を集光径が30nm以下になるように集光することに成功している。これは、独自に開発したミラーの高精度加工技術と高精度形状測定技術によるとことが大きい。この加工技術とは、数値制御EEM(Elastic
emission machining)であり、加工面に沿って微粒子を混合した超純水の高剪断流を形成し、一種の化学反応によって微粒子が表面原子と結合し、微粒子の移動とともに表面原子が除去される加工原理である。また、形状測定技術とは、MSI(Microstitching
Interferometry)とRADSI(Relative Angle Determinable Stitching Interferometry)であり、小面積を高精度に形状測定可能な干渉計の部分形状データをつなぎ合わせて全体形状を得るという測定原理で、X線ミラーの形状をPV値が1nm以下の測定再現性をもって高精度に計測することが可能である。
Proc. 3152,188-199(1997))したペンシルビーム法によるミラーの反射面の形状修正も可能である。このペンシルビーム法は、X線のビームをミラーに入射直前でスリットによって細く絞り、スリットをビームに直交する方向に変位させて細いX線ビームでミラーの反射面を走査し、反射面に微小凹凸があると、X線の反射角度が大きくずれるので、そのスロープエラーをX線検出器で測定する方法である。このスロープエラーから曲率エラーを算出し、それに基づいて形状可変ミラーの圧電素子への投入電圧を計算するのである。この方法は、大きな形状誤差を持っていても計測可能である。
Error 2)として取得した。図9から、両者の形状誤差は数nmの範囲で非常に良く一致していることが分かる。つまり、形状可変X線ミラー1の反射面4の変形再現性は非常に優れていることが確認できた。従って、形状可変線ミラー1の反射面4の形状を、X線集光光学系に組み込んだ状態で測定しなくても、ほぼ正確に修正可能である。
2 ミラー支持ユニット
3 基板
4 反射面
5 圧電素子
6 固定ピン
7 弾性ピン
8 スペーサ
9 弾性接点
10 表面電極
11 表側支持板
11A 第1表側支持板
11B 第2表側支持板
12 裏側支持板
13 ボックス体
14 開口溝
15 側面部材
16 側面部材
17 底面板
18 段部
19 入出射口
20 開口部
21 接続端子
22 電極ピン
23 貫通穴
24 コネクタ装着穴
25 裏面電極
26 電源
Claims (6)
- 所定厚さの四角形板状の基板表面の中央部に沿って反射面を形成し、該反射面の両側に沿った表裏両面に帯状の圧電素子が貼り付けられ、各圧電素子の上には表面電極が一定間隔毎に多数設けられている形状可変X線ミラーを、ミラー支持ユニットに間隔を置いて平行に固定された表側支持板と裏側支持板との間に、複数のピンとスペーサによって自重による変形が最小になるように点支持するとともに、前記表側支持板と裏側支持板から突設した複数の弾性接点を前記圧電素子の各表面電極に接触させたことを特徴とする形状可変X線ミラーシステム。
- 前記ミラー支持ユニットは、内部に空間を有し且つ一面が開放したボックス体の内部に、絶縁材料からなる前記裏側支持板を固定するとともに、前記ボックス体の開放面に前記形状可変X線ミラーの反射面に対応する開口溝を設けて絶縁材料からなる第1表側支持板と第2表側支持板を着脱可能に取付け、前記裏側支持板には前記形状可変X線ミラーの裏面を支持する3つの固定ピンを突設するとともに、前記形状可変X線ミラーの長辺2点と短辺1点を当止する3つのスペーサを突設し、前記第1表側支持板と第2表側支持板には前記固定ピンの対応する位置に、接触点が前記形状可変X線ミラーの表面に接触する方向に弾性付勢された弾性ピンを突設した請求項1記載の形状可変X線ミラーシステム。
- 前記形状可変X線ミラーは、表裏に設けた前記圧電素子とその表面電極が表裏対称な構造であり、前記裏側支持板と表側支持板に突設した全ての弾性接点が表裏で対となり、各対の弾性接点が前記形状可変X線ミラーに及ぼす押圧力が同一直線上で逆向きである請求項1又は2記載の形状可変X線ミラーシステム。
- 前記裏側支持板と表側支持板に設けた各弾性接点に導通した接続端子を、前記裏側支持板の裏側と前記表側支持板の表側に固定し、各接続端子に配線されたリード線が前記ミラー支持ユニットのボックス体に設けた共通のコネクタに配線されている請求項1〜3何れか1項に記載の形状可変X線ミラーシステム。
- 前記ミラー支持ユニットのボックス体には、片側の側面の両端部に前記形状可変X線ミラーの長辺の両端部を露出させるための開口部を設け、該形状可変X線ミラーの露出部を押圧して辺縁を前記スペーサに当接して位置決めする請求項1〜4何れか1項に記載の形状可変X線ミラーシステム。
- 前記ミラー支持ユニットのボックス体の短辺側の両側面に、前記形状可変X線ミラーの反射面にX線が斜入射できるように入出射口を形成している請求項1〜5何れか1項に記載の形状可変X線ミラーシステム。
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