JP2011128001A - 微小磁気二次元分布検出装置 - Google Patents
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- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 claims abstract description 66
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 47
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 30
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract description 9
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 4
- 229920001222 biopolymer Polymers 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002122 magnetic nanoparticle Substances 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000003018 immunoassay Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 1
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 1
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003255 drug test Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000008105 immune reaction Effects 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004809 thin layer chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】試料(S)を載置した試料台(8)を加振機(7)で振動させ且つ磁化コイル(4)に電流を流して磁界を試料(S)に加えた状態で、SQUID(1)を介して、加振周波数の磁気信号成分を検出することを、試料(S)上に想定した複数の検出点で繰り返し、得られた結果を基にして磁化率の二次元分布を求める。
【効果】pT以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る。
【選択図】図1
Description
しかし、二次元の分布を検出できない問題点があった。
そこで、本発明の目的は、pT以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る微小磁気二次元分布検出装置を提供することにある。
上記第1の観点による微小磁気二次元分布検出装置(100)では、試料(S)の検査面(A)をSQUID(1)に対面させながら試料(S)を振動することにより、pT以下の微小な磁気を検出できる。また、SQUID(1)に対して試料台(2)を検査面(A)の方向に二次元的に相対移動させることにより、検査面(A)を二次元的に走査できる。よって、pT以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る。また、振動の周波数の磁気信号成分を検出するので、振動の周波数から離れた周波数の磁気ノイズの影響を抑制することが出来る。
上記第2の観点による微小磁気二次元分布検出装置(200)では、試料(S)の検査面(A)をSQUID(1)に対面させながら試料(S)を振動することにより、pT以下の微小な磁気を検出できる。また、一次元配列されたSQUID(1)に対して試料台(2)を検査面(A)の方向に且つSQUID(1)の配列と直交する方向に相対移動させることにより、検査面(A)を二次元的に走査できる。よって、pT以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る。また、振動の周波数の磁気信号成分を検出するので、振動の周波数から離れた周波数の磁気ノイズの影響を抑制することが出来る。
上記第3の観点による微小磁気二次元分布検出装置では、磁気遮蔽箱(31)により、外来磁気ノイズの影響を抑制できる。
上記第4の観点による微小磁気二次元分布検出装置(300)では、試料(S)の検査面(A)をSQUID(1)に対面させながら試料(S)を振動することにより、pT以下の微小な磁気を検出できる。また、複数のSQUID(1)を二次元配列しているので、検査面(A)を二次元的に走査できる。よって、pT以下の微小な磁気の二次元分布を検出することが出来る。また、振動の周波数の磁気信号成分を検出するので、振動の周波数から離れた周波数の磁気ノイズの影響を抑制することが出来る。
上記第3の観点による微小磁気二次元分布検出装置では、磁気遮蔽箱(31)により、外来磁気ノイズの影響を抑制できる。
上記第6の観点による微小磁気二次元分布検出装置では、磁気遮蔽箱(32)により、加振手段(7)が発生する磁気ノイズの影響を抑制できる。
図1は、実施例1に係る微小磁気二次元分布検出装置100を示す構成説明図である。
この微小磁気二次元分布検出装置100は、SQUID1と、SQUID1を冷却するクライオスタット2と、SQUID1を収容するクライオスタット2の先端部の外周に装着された磁化コイル4と、x方向・y方向・z方向の3方向に移動可能なXYZステージ5と、XYZステージ5の上面に固設されたレール6と、x方向の振動を発生する加振機7と、レール6上をx方向に移動可能な試料台8と、加振機7と試料台8を連結する連結部材9と、加振機7に加振周波数を与える発振器10と、SQUID1を駆動し検出した磁気に応じた出力信号を出力するSQUID駆動回路11と、加振周波数の信号成分を取り出すロックインアンプ12と、加振周波数の信号成分の解析を行う解析装置13と、SQUID1とクライオスタット2の先端部と磁化コイル4とXYZステージ5とレール6と加振機7と試料台8と連結部材9とを囲繞する磁気遮蔽箱31と、加振機7のみを囲繞する磁気遮蔽箱32とを具備する。
図3は、XYZステージ5と、レール6と、加振機7と、試料台8と、連結部材9と、天井を除去した磁気遮蔽箱32とを示す上面図である。
加振機7の具体例は、例えば超音波振動子(圧電素子)である。
図5に、得られた磁化率の二次元分布を例示する。
図6は、実施例2に係る微小磁気二次元分布検出装置200を示す構成説明図である。
この微小磁気二次元分布検出装置200は、一次元配列された3個のSQUID1と、SQUID1を冷却するクライオスタット2と、SQUID1を収容するクライオスタット2の先端部の外周に装着された磁化コイル4と、x方向・y方向・z方向の3方向に移動可能なXYZステージ5と、XYZステージ5の上面に固設されたレール6と、x方向の振動を発生する加振機7と、レール6上をx方向に移動可能な試料台8と、加振機7と試料台8を連結する連結部材9と、加振機7に加振周波数を与える発振器10と、SQUID1を駆動し検出した磁気に応じた出力信号を出力するSQUID駆動回路11と、加振周波数の信号成分を取り出すロックインアンプ12と、加振周波数の信号成分の解析を行う解析装置13と、SQUID1とクライオスタット2の先端部と磁化コイル4とXYZステージ5とレール6と加振機7と試料台8と連結部材9とを囲繞する磁気遮蔽箱31と、加振機7のみを囲繞する磁気遮蔽箱32とを具備する。
試料Sは、その検査面Aが3行3列の区画A1〜A9に分割されているゲル様基板である。
次に、図8に示すように、XYZステージ5は、一次元配列された3個のSQUID1の直下に区画A4〜A6を移動する。そして、区画A4〜A6の磁化率を検出する。
次に、図9に示すように、XYZステージ5は、一次元配列された3個のSQUID1の直下に区画A7〜A9を移動する。そして、区画A7〜A9の磁化率を検出する。
区画A1で磁化率が最も高く、区画A2で磁化率がやや高く、区画A3〜A9では磁化率がほとんど0であることが判る。
図12に示すように、生体高分子G1には、生体高分子B1のみが選択的に結合しうる。また、生体高分子G2には、生体高分子B2のみが選択的に結合しうる。同様に、生体高分子G3,…,G9には、それぞれ異なる種類の生体高分子B3,…,B9のみが選択的に結合しうる。
そこで、図10に示す如き磁化率の検出結果が得られれば、溶液には、生体高分子B1が高濃度に含まれており、生体高分子B2が中濃度に含まれており、生体高分子B3〜B9がほとんど含まれていないことが判る。
図13は、実施例3に係る微小磁気二次元分布検出装置300を示す構成説明図である。
この微小磁気二次元分布検出装置300は、3行3列に二次元配列された9個のSQUID1と、SQUID1を冷却するクライオスタット2と、SQUID1を収容するクライオスタット2の先端部の外周に装着された磁化コイル4と、レール6と、レール6上をx方向に移動可能な試料台8と、SQUID1とクライオスタット2の先端部と磁化コイル4とレール6と試料台8とを囲繞する磁気遮蔽箱31と、磁気遮蔽箱31の外に設置され且つx方向の振動を発生する加振機7と、加振機7を囲繞する磁気遮蔽箱32と、加振機7と試料台8を連結する連結部材9と、加振機7に加振周波数を与える発振器10と、SQUID1を駆動し検出した磁気に応じた出力信号を出力するSQUID駆動回路11と、加振周波数の信号成分を取り出すロックインアンプ12と、加振周波数の信号成分の解析を行う解析装置13とを具備する。
試料Sは、実施例2と同様であり、その検査面Aが3行3列の区画A1〜A9に分割されているゲル様基板である。
試料Sを固定し、SQUID1側を移動させて二次元走査を行ってもよい。
試料台8の振動の周波数を中心周波数とするバンドパス・フィルタをロックインアンプ12の代わりに用いてもよい。
2 クライオスタット
3 スタンド
4 磁化コイル
5 XYZステージ
6 レール
7 加振機
8 試料台
9 連結部材
10 発振器
11 SQUID駆動回路
12 ロックインアンプ
13 解析装置
100〜300 微小磁気二次元分布検出装置
A 検査面
A1〜A9 区画
S 試料
Claims (6)
- SQUID(1)と、検査面(A)を有する試料(S)を前記検査面(A)が前記SQUID(1)に対面するように保持する試料台(8)と、前記試料台(8)を振動させる加振手段(7)と、前記SQUID(1)に対して前記試料台(8)を前記検査面(A)の方向に二次元的に相対移動させる走査手段(5)と、前記SQUID(1)を介して前記振動の周波数の磁気信号成分を検出する電子回路(10,11,12)とを具備したことを特徴とする微小磁気二次元分布検出装置(100)。
- 一次元配列された複数のSQUID(1)と、検査面(A)を有する試料(S)を前記検査面(A)が前記SQUID(1)に対面するように保持する試料台(8)と、前記試料台(8)を振動させる加振手段(7)と、前記SQUID(1)に対して前記試料台(8)を前記検査面(A)の方向に且つ少なくとも前記SQUID(1)の配列と直交する方向に相対移動させうる走査手段(5)と、前記SQUID(1)を介して前記振動の周波数の磁気信号成分を検出する電子回路(10,11,12)とを具備したことを特徴とする微小磁気二次元分布検出装置(200)。
- 請求項1または請求項2に記載の微小磁気二次元分布検出装置において、前記SQUID(1)と前記試料台(8)と前記加振手段(7)と前記走査手段(5)とを磁気遮蔽箱(31)に収容したことを特徴とする微小磁気二次元分布検出装置。
- 二次元配列された複数のSQUID(1)と、検査面(A)を有する試料(S)を前記検査面(A)が前記SQUID(1)に対面するように保持する試料台(8)と、前記試料台(8)を振動させる加振手段(7)と、前記SQUID(1)を介して前記振動の周波数の磁気信号成分を検出する電子回路(10,11,12)とを具備したことを特徴とする微小磁気二次元分布検出装置(300)。
- 請求項4に記載の微小磁気二次元分布検出装置(300)において、前記SQUID(1)と前記試料台(8)と前記加振手段(7)とを磁気遮蔽箱(31)に収容したことを特徴とする微小磁気二次元分布検出装置(300)。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の微小磁気二次元分布検出装置において、前記加振手段(7)を専用の磁気遮蔽箱(32)に収容したことを特徴とする微小磁気二次元分布検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009286500A JP4883424B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 微小磁気二次元分布検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009286500A JP4883424B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 微小磁気二次元分布検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011128001A true JP2011128001A (ja) | 2011-06-30 |
JP4883424B2 JP4883424B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=44290750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009286500A Active JP4883424B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 微小磁気二次元分布検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4883424B2 (ja) |
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