JP2011125762A - 超音波の強度測定方法及び強度測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 超音波の強度を簡易かつ低コストで測定可能な超音波の強度測定方法及び強度測定装置を得る。
【解決手段】 実施例に係る超音波強度測定装置１１は、洗浄液１３に浸漬された発塵体２２と、前記発塵体２２を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体２２から剥離した粒子を該洗浄液１３中に溶出させる振動子１７と、前記洗浄液１３中の粒子の数を計数する計数部２１と、前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算部４５と、を備える。このため、音圧計を用いることなしに、超音波の強度を簡易かつ低コストで測定することができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、洗浄槽内の洗浄液に浸漬される被洗浄物を超音波加振することで該被洗浄物の洗浄を行う超音波洗浄装置に関する。特に、本発明は、超音波洗浄装置で用いられる超音波の強度測定方法及び強度測定装置に関する。

ＩＴ（情報技術）産業の技術革新は日進月歩である。ＩＴ産業を支える各種機器に組み込まれる精密部品には高度の清浄度が要求される。

こうした精密部品に対する高度の清浄度を実現するために、超音波洗浄技術が広く用いられている。超音波洗浄技術とは、洗浄槽内の洗浄液に浸漬された被洗浄物を超音波加振することで生じるキャビテ−ションによって該被洗浄物の表面に付着している汚れ粒子を剥離させる技術である。

このような超音波洗浄技術を用いて例えば精密部品を洗浄するにあたっては、該部品等の被洗浄物の清浄度を厳密に管理することが不可欠である。

こうした要請に応えるためのアプローチのひとつとして、従来、洗浄液に浸漬された音圧計によって超音波の強度を計り、該計測した超音波の強度を通じて被洗浄物の洗浄効果、つまり清浄度を把握・管理する試みがなされている（例えば特許文献１参照）。

しかしながら、上記従来技術では、洗浄液に浸漬された音圧計は超音波の強度を直接的に計るものであるから、音圧計それ自体が超音波加振に起因したキャビテーションの影響を受ける。ここで、キャビテーションとは、超音波加振により洗浄液中に生じる微少の気泡が圧縮・崩壊する過程で、洗浄液中に衝撃波を生じさせる現象を言う。この衝撃波が、被洗浄物の表面に付着していた汚れ粒子を剥離させる一方で、音圧計それ自体を損傷させる。

従って、超音波強度を計るためには音圧計の交換を含む定期的なメンテナンス作業が不可欠であり、かかるメンテナンス作業が煩雑であると共に、コスト的にも問題があった。

特開平６−１３７９３１号公報

解決しようとする問題点は、従来技術では、音圧計のメンテナンス作業が煩雑であると共に、コスト的にも問題があった点である。

本発明は、超音波の強度を簡易かつ低コストで測定可能な超音波の強度測定方法及び強度測定装置を得ることを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明に係る超音波の強度測定方法は、洗浄槽内の洗浄液に浸漬される被洗浄物を超音波加振することで該被洗浄物の洗浄を行う超音波洗浄装置で用いられる超音波の強度測定方法であって、前記洗浄液に浸漬された発塵体を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体から剥離した粒子を該洗浄液中に溶出させる溶出工程と、前記洗浄液中の粒子の数を計数する計数工程と、前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算工程と、を備えたことを最も主要な特徴とする。

本発明に係る超音波の強度測定方法では、前記洗浄液に浸漬された発塵体を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体から剥離した粒子を該洗浄液中に溶出させる溶出工程と、前記洗浄液中の粒子の数を計数する計数工程と、前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算工程と、を備えたため、音圧計を用いることなしに、超音波の強度を簡易かつ低コストで測定することができる。

実施例に係る超音波強度測定装置のブロック構成図である。 実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の内部構成を示す機能ブロック図である。 図３は、相関テーブルの説明図である。 実施例に係る超音波強度測定方法の概要を示す工程図である。 実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の動作フローチャート図である。

超音波の強度を簡易かつ低コストで測定するといった目的を、洗浄液に浸漬された発塵体を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体から剥離した粒子を洗浄液中に溶出させ、この溶出後に計数された洗浄液中の粒子の数に基づいて測定対象となる超音波の強度を演算することによって実現した。

以下、本発明の実施例に係る超音波強度測定装置について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、実施例に係る超音波強度測定装置の概要について説明する。

［実施例に係る超音波強度測定装置の概要］
図１は、実施例に係る超音波強度測定装置のブロック構成図である。

実施例に係る超音波強度測定装置１１は、図１に示すように、洗浄液１３が溜められる洗浄槽１５と、前記洗浄液１３に浸漬される被洗浄物を超音波加振する振動子１７と、前記振動子１７に接続された発振回路１９と、前記洗浄液１３中の粒子数を計数する液中パーティクルカウンタ２１と、制御装置３１と、表示装置３３と、を備えて構成されている。

前記洗浄液１３としては、例えば、純水又は適宜の洗浄有効成分を含有させた純水等を用いることができる。

前記振動子１７は、前記発振回路１９から供給される電気的なエネルギーを機械的な振動エネルギーに変換する素子である。この振動子１７は、例えば、前記洗浄槽１５の底壁又は側壁などに複数設けられる。

前記発振回路１９は、予め設定された発振周波数及び強度の駆動信号を前記振動子１７に供給出力する。

前記液中パーティクルカウンタ２１は、前記洗浄液１３中の粒子の数を計数する機能を有する。本発明の計数部に相当する液中パーティクルカウンタ２１は、本発明の発塵体に相当する取水チューブ２２を備える。この取水チューブ２２の材質としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン等の合成樹脂製のものを採用することができる。合成樹脂に代えて、ステンレス鋼等の金属を、前記取水チューブ２２の材質として採用しても良い。

前記液中パーティクルカウンタ２１は、前記取水チューブ２２を経由して取水された洗浄液１３中の粒子の数を計数するように構成されている。ここで計数される粒子の数とは、前記取水チューブ（発塵体）２２から剥離した粒子の数である。このため、前記発塵体と、前記取水チューブ２２の先端の取水口とは、相互に近接して位置しているのが好ましい。かかる観点から、前記取水チューブ２２それ自体を発塵体として用いる実益がある。ただし、前記取水チューブ２２とは別体の発塵体を、別個に設けてもよい。

前記制御装置３１は、図１に示すように、ＣＰＵ３５、ＲＯＭ３７、ＲＡＭ３９などを有するコンピュータを主体として構成されている。

前記ＣＰＵ３５は、本超音波強度測定装置１１の動作制御を統括して司る機能を有している。

前記ＲＯＭ３７には、超音波強度を測定するためのプログラムや後述する相関テーブル４３を含む、種々のプログラム又はテーブルデータが格納されている。

前記ＲＡＭ３９は、コンピュータの主記憶装置としての役割を果たすものであり、各種のデータ等が一時的に格納される。

前記表示装置３３は、前記制御装置３１で演算された超音波強度の演算値を、不図示の表示パネル上に表示する機能を有して構成されている。

次に、前記実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置３１の内部構成について説明する。

［実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の内部構成］
図２は、実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の内部構成を示す機能ブロック図、図３は、相関テーブルの説明図であり、図３（Ａ）は、超音波の強度を三通りに変化させたそれぞれについての、粒子数濃度の経過時間特性を示す説明図、図３（Ｂ）は、超音波の強度の比率を変化させたときの粒子数の比率を対応付けた相関テーブルを示す説明図、図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）に示す相関テーブルをグラフ化した説明図である。

実施例に係る超音波強度測定装置１１の制御装置３１は、図２に示すように、受付部４１と、記憶部４３ と、演算部４５と、制御部４７と、を備えて構成されている。

前記受付部４１は、ユーザの操作又は所定のタイミング等によって与えられる超音波強度の取得開始信号を受け付けると共に、前記液中パーティクルカウンタ２１から送出されてきた粒子数の計数値を受け付ける機能を有する。前記受け付けられた信号は、前記演算部４５及び制御部４７宛に転送される。

前記記憶部４３は、超音波の強度と前記発塵体２２から剥離した粒子の数とを対応付けた相関テーブルを記憶する機能を有する。詳しく述べると、前記記憶部４３は、例えば、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、超音波の強度の比率を変化させたときの前記取水チューブ（発塵体）２２から剥離した粒子の数の比率を対応付けた相関テーブル（図３（Ｂ）参照）を記憶している。

ここで、前記相関テーブルの作成手順に言及する。はじめに、洗浄液１３を、予め定められた設定条件下におく。具体的には、例えば、洗浄液１３として清浄な純水を導入し、その温度を摂氏２０度に維持しておく。

次に、図３（Ａ）に示すように、前記洗浄液１３中の所定位置に前記取水チューブ（発塵体）２２を浸漬させた状態下で、超音波強度の比率を１００％，７５％，５０％にそれぞれ変化させたときの、経過時間に対する粒子数濃度（粒子数／ミリリットル）を測定する。この測定結果を解析すると、図３（Ａ）に示すように、測定開始から６分程度、好ましくは１０分程度が経過した後では、経過時間に対する前記取水チューブ（発塵体）２２から剥離する粒子の数が安定し、全ての超音波強度の比率において線形性のある粒子数濃度特性データが得られることがわかった。

上記知見を基に、各超音波強度の比率と、対応する粒子数の比率とをテーブル化（図３（Ｂ）の相関テーブル参照）すると共に、この相関テーブルをプロットしてグラフ化（図３（Ｃ）参照）した。すると、各超音波強度の比率と対応する粒子数の比率との間にほぼ線形の相関関係があることがわかった。

これは、前記取水チューブ（発塵体）２２を前記洗浄液１３中に浸漬させた状態下で所定時間を越えてある強度で超音波加振した後の洗浄液１３中の粒子数を計数すれば、該粒子数の計数値と、前記相関テーブルとに基づいて、超音波の強度を演算によって求めることができることを意味する。これが、洗浄液１３中の粒子数に基づいて超音波の強度を求めるようにした本発明の基本原理である。なお、洗浄液１３中の粒子数の計数値そのものを、超音波の強度とみなす構成を採用してもよい。この場合の演算としては、粒子数の計数値を超音波の強度にそのまま対応付ける演算を行えばよい。

前記演算部４５は、前記液中パーティクルカウンタ２１から送出されてきた粒子数の計数値と、前記記憶部４３に記憶された相関テーブルとに基づいて、超音波の強度を演算する機能を有する。

前記制御部４７は、前記発振回路１９に所定の発振動作を行わせるための発振指令を司ると共に、前記液中パーティクルカウンタ２１に粒子数の計数を行わせるための計数指令を司る機能を有して構成されている。

次に、実施例に係る超音波強度測定方法の概要について説明する。

［実施例に係る超音波強度測定方法の概要］
図４は、実施例に係る超音波強度測定方法の概要を示す工程図である。前提条件として、洗浄液１３は、前記設定条件（清浄な純水であって、温度が摂氏２０度に維持されていること）を充足しているものとする。

ステップＳ１１の溶出工程では、前記洗浄液１３に浸漬された前記取水チューブ（発塵体）２２を測定対象となる超音波により加振することで該取水チューブ２２から剥離した粒子を該洗浄液１３中に溶出させる。この溶出工程では、前記取水チューブ２２が前記洗浄液１３に浸漬された状態で所定時間が経過するまで継続して該取水チューブ２２に対する超音波加振が行われる。

ステップＳ１２の計数工程では、前記洗浄液１３中の粒子の数が計数される。この計数工程は、好ましくは前記所定時間が経過して前記取水チューブ２２から剥離した粒子の数が安定した後の洗浄液１３を取水すると共に、同取水した洗浄液１３を被検水として用いて前記液中パーティクルカウンタ２１によって遂行される。

ステップＳ１３の演算工程では、前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度が演算される。この演算工程は、前記制御装置３１内の演算部４５によって、取水チューブ（発塵体）２２から剥離した粒子の数と超音波の強度とを対応付けた相関テーブルを参照しつつ遂行される。

ステップＳ１４の表示工程では、前記演算によって求められた超音波強度を、表示装置３３の表示パネル上に表示させる。ユーザは、表示パネル上に表示された超音波強度の視認を通じて、粒子数の計数値に基づく超音波強度を知ることができる。

次に、実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の動作について説明する。

［実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の動作］
図５は、実施例に係る超音波強度測定装置の制御装置の動作フローチャート図である。

ステップＳ２１では、前記洗浄槽１５の所定位置に前記取水チューブ（発塵体）２２がセットされる。この設定位置は、特に限定されないが、例えば、前記洗浄槽１５（その概略サイズは、特に限定されないが、例えば、５００ｍｍ＊５００ｍｍ＊４００ｍｍ＝１００Ｌであるとする。）の中央付近の前記洗浄液１３中に垂直に差し込まれた状態で固定され、前記取水チューブ２２の先端部分の水深は約１０ｃｍ程度とされる。

ステップＳ２２では、測定対象となる超音波による加振が開始される。この超音波の発振定格出力としては、特に限定されないが、例えば５００Ｗ〜１０００Ｗ程度を採用することができる。また、超音波の周波数としては、特に限定されないが、例えば、４０ｋＨｚ〜１ＭＨｚ程度の帯域を採用することができる。

ステップＳ２３では、ステップＳ２２の超音波加振の開始時点から所定時間ｔ_rfが経過したか否かの判定が行われる。前記所定時間ｔ_rfとしては、前記取水チューブ（発塵体）２２から剥離した粒子の数が安定するのに要する時間（例えば、本実施例では１０分間）が設定される。

ステップＳ２３の判定の結果、所定時間ｔ_rfが未だ経過していないときはステップＳ２２に戻り、以下の処理を繰り返す。一方、ステップＳ２３の判定の結果、所定時間ｔ_rfが経過したときはステップＳ２４に進む。

ステップＳ２４では、前記液中パーティクルカウンタ２１によって粒子数の計数処理が実行される。この計数処理は、前記取水チューブ２２を経由して取水した洗浄液１３中の粒子の数を計数することで行われる。

ステップＳ２５では、前記演算部４５によって、前記液中パーティクルカウンタ２１から送出されてきた粒子数の計数値と、前記記憶部４３に記憶された相関テーブルとに基づいて、超音波の強度を演算する処理が実行される。

ステップＳ２６では、ステップＳ２５で求められた超音波の強度を、表示装置３３の表示パネル上に表示させる処理が実行される。これにより、ユーザは、表示パネル上に表示された超音波強度の視認を通じて、粒子数の計数値に基づく超音波強度を知ることができる。

以上説明したように、実施例に係る超音波強度測定方法によれば、前記洗浄液１３に浸漬された発塵体２２を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体２２から剥離した粒子を該洗浄液１３中に溶出させる溶出工程と、前記洗浄液１３中の粒子の数を計数する計数工程と、前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算工程と、を備えたため、音圧計を用いることなしに、超音波の強度を簡易かつ低コストで測定することができる。

また、前記発塵体２２から剥離した粒子の数と超音波の強度とを対応付けた相関テーブルを備え、前記演算工程では、前記計数された粒子の数と前記相関テーブルとに基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する、構成を採用した場合、精度の高い超音波強度の演算結果を、簡易かつ低コストで得ることができる。

さらに、前記相関テーブルは、超音波の強度の比率を変化させたときの前記発塵体から剥離した粒子の数の比率を対応付けてなる、構成を採用した場合、相関テーブルの作成を簡略化することができる。

しかも、前記発塵体を、前記洗浄槽１５から前記洗浄液１３を取水する取水チューブ２２とし、前記計数工程では、前記取水チューブ２２を経由して取水された洗浄液１３中に含まれる粒子の数が計数される、構成を採用した場合、当初からシステム内に組み込まれることが多い液中パーティクルカウンタ２１の構成部材である取水チューブ２２が発塵体として機能するため、発塵体と取水チューブ２２の取水口が相互に近接位置して発塵体から剥離した粒子の数を正確に計数することできると共に、別個の発塵体を設ける手間を省略することができる。

そして、前記溶出工程では、前記発塵体２２が前記洗浄液１３に浸漬された状態で所定時間ｔ_rfが経過するまで継続して該発塵体２２を超音波加振し、前記計数工程では、前記所定時間ｔ_rfが経過して前記発塵体２２から剥離した粒子の数が安定した後の前記洗浄液１３中の粒子の数を計数する、構成を採用した場合、前記発塵体２２から剥離した粒子の数を的確に計数することができるため、精度の高い超音波強度の演算結果を、簡易かつ低コストで得ることができる。

一方、実施例に係る超音波強度測定装置１１によれば、前記洗浄液１３に浸漬された発塵体２２と、前記発塵体２２を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体２２から剥離した粒子を該洗浄液１３中に溶出させる振動子１７と、前記洗浄液１３中の粒子の数を計数する計数部２１と、前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算部４５と、を備えたため、音圧計を用いることなしに、超音波の強度を簡易かつ低コストで測定することができる。

また、前記発塵体２２から剥離した粒子の数と超音波の強度とを対応付けた相関テーブルを記憶する記憶部４３を備え、前記演算部４５は、前記計数された粒子の数と前記相関テーブルとに基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する、構成を採用した場合、精度の高い超音波強度の演算結果を、簡易かつ低コストで得ることができる。

さらに、前記記憶部４３は、超音波の強度の比率を変化させたときの前記発塵体２２から剥離した粒子の数の比率を対応付けた相関テーブルを記憶する、構成を採用した場合、相関テーブルの作成を簡略化することができる。

しかも、前記発塵体２２は、合成樹脂製である、構成を採用した場合、超音波の強度に対する粒子剥離特性が均一な発塵体２２を大量かつ低コストで製造することができる。

また、前記発塵体を、前記洗浄槽１５から前記洗浄液１３を取水する取水チューブ２２とし、前記計数部は、前記取水チューブ２２を有する液中パーティクルカウンタ２１であり、該液中パーティクルカウンタ２１は、前記取水チューブ２２を経由して取水された洗浄液１３中に含まれる粒子の数を計数する、構成を採用した場合、当初からシステム内に組み込まれることが多い液中パーティクルカウンタ２１の構成部材である取水チューブ２２が発塵体として機能するため、発塵体と取水チューブ２２の取水口が相互に近接位置して発塵体から剥離した粒子の数を正確に計数することできると共に、別個の発塵体を設ける手間を省略することができる。

そして、前記洗浄液１３は純水である、構成を採用した場合、前記発塵体２２から剥離した粒子の数を、不純物の影響を除いて正確に計数することができるため、精度の高い超音波強度の演算結果を、簡易かつ低コストで得ることができる。

ところで、前述のようにして求めた超音波強度に基づいて被洗浄物の洗浄効果を類推するには、例えば、洗浄液１３の性質、液温等の諸条件をじゅうぶんに考慮することを要する。ところが、洗浄時の前記諸条件は時々刻々と変動するため、実際の洗浄効果を正確に知ろうとすると、結局、洗浄後の被洗浄物の確認が必須である。

上述した洗浄効果の確認を、洗浄後の被洗浄物を確認することなく簡易に行うためには、洗浄時の前記諸条件を画一化することを要する。

この点、超音波加振した発塵体２２から剥離した粒子の数を計数することによって超音波強度を計測する本発明実施例では、洗浄時の前記諸条件を予め整えることで画一化してその影響を除くことができるため、超音波強度（機械的に設定）が洗浄効果に等しくなる。

従って、前述のようにして求めた超音波強度を通じて被洗浄物の洗浄効果を精度良く知ることができるといった副次的な効果を期待することもできる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う超音波強度測定方法、及び超音波強度測定装置もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

すなわち、本発明実施例中、発塵体として、液中パーティクルカウンタ２１の構成部材である取水チューブ２２を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明で用いられる発塵体としては、超音波の強度に応じて粒子を剥離させる傾向を有するものであれば、いかなる物性、材質、形状等を有するものであっても、適宜採用することができる。

また、本発明実施例中、ひとつの発塵体（取水チューブ２２）を洗浄液１３中に浸漬させる態様を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。本発明で採用される発塵体の数量は複数であってもよい。また、発塵体を複数設ける場合、その配置はランダムであっても良いし、整列させてもよい。

１１ 超音波洗浄装置
１３ 洗浄液
１５ 洗浄槽
１７ 振動子
１９ 発振回路
２１ 液中パーティクルカウンタ（計数部）
２２ 取水チューブ（発塵体）
３１ 制御装置
４３ 記憶部（相関テーブル）
４５ 演算部
４７ 制御部

Claims (11)

1. 洗浄槽内の洗浄液に浸漬される被洗浄物を超音波加振することで該被洗浄物の洗浄を行う超音波洗浄装置で用いられる超音波の強度測定方法であって、
   前記洗浄液に浸漬された発塵体を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体から剥離した粒子を該洗浄液中に溶出させる溶出工程と、
   前記洗浄液中の粒子の数を計数する計数工程と、
   前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算工程と、
   を備えたことを特徴とする超音波の強度測定方法。
2. 請求項１記載の超音波の強度測定方法であって、
   超音波の強度と前記発塵体から剥離した粒子の数とを対応付けた相関テーブルを備え、
   前記演算工程では、前記計数された粒子の数と前記相関テーブルとに基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する、
   ことを特徴とする超音波の強度測定方法。
3. 請求項２記載の超音波の強度測定方法であって、
   前記相関テーブルは、超音波の強度の比率を変化させたときの前記発塵体から剥離した粒子の数の比率を対応付けてなる、
   ことを特徴とする超音波の強度測定方法。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の超音波の強度測定方法であって、
   前記発塵体を、前記洗浄槽から前記洗浄液を取水する取水チューブとし、
   前記計数工程では、前記取水チューブを経由して取水された洗浄液中に含まれる粒子の数が計数される、
   ことを特徴とする超音波の強度測定方法。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の超音波の強度測定方法であって、
   前記溶出工程では、前記発塵体が前記洗浄液に浸漬された状態で所定時間が経過するまで継続して該発塵体を超音波加振し、
   前記計数工程では、前記所定時間が経過して前記発塵体から剥離した粒子の数が安定した後の前記洗浄液中の粒子の数を計数する、
   ことを特徴とする超音波の強度測定方法。
6. 洗浄槽内の洗浄液に浸漬される被洗浄物を超音波加振することで該被洗浄物の洗浄を行う超音波洗浄装置において、
   前記洗浄液に浸漬された発塵体と、
   前記発塵体を測定対象となる超音波により加振することで該発塵体から剥離した粒子を該洗浄液中に溶出させる振動子と、
   前記洗浄液中の粒子の数を計数する計数部と、
   前記計数された粒子の数に基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する演算部と、
   を備えたことを特徴とする超音波の強度測定装置。
7. 請求項６記載の超音波の強度測定装置であって、
   超音波の強度と前記発塵体から剥離した粒子の数とを対応付けた相関テーブルを記憶する記憶部を備え、
   前記演算部は、前記計数された粒子の数と前記相関テーブルとに基づいて前記測定対象となる超音波の強度を演算する、
   ことを特徴とする超音波の強度測定装置。
8. 請求項７記載の超音波の強度測定装置であって、
   前記記憶部は、超音波の強度の比率を変化させたときの前記発塵体から剥離した粒子の数の比率を対応付けた相関テーブルを記憶する、
   ことを特徴とする超音波の強度測定装置。
9. 請求項６〜８のいずれか一項に記載の超音波の強度測定装置であって、
   前記発塵体は、合成樹脂製である、
   ことを特徴とする超音波の強度測定装置。
10. 請求項６〜９のいずれか一項に記載の超音波の強度測定装置であって、
    前記発塵体を、前記洗浄槽から前記洗浄液を取水する取水チューブとし、
    前記計数部は、前記取水チューブを有する液中パーティクルカウンタであり、該液中パーティクルカウンタは、前記取水チューブを経由して取水された洗浄液中に含まれる粒子の数を計数する、
    ことを特徴とする超音波の強度測定装置。
11. 請求項６〜１０のいずれか一項に記載の超音波の強度測定装置であって、
    前記洗浄液は、純水である、
    ことを特徴とする超音波の強度測定装置。