JP2003194610A - 質量流量計の付着物検出装置および洗浄装置 - Google Patents

質量流量計の付着物検出装置および洗浄装置

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(57)【要約】 【課題】 計測終了時に計測部を清掃する際に計測部の
パイプ内壁面の付着物の付着量を検出する付着物検出装
置および洗浄装置を提供しようとするものである。 【解決手段】 清水供給時の曲折パイプ2cの振動から
清水の密度を算出し、この清水の密度をあらかじめ記憶
された清水の密度と比較して、両者の差から曲折パイプ
内壁面への付着物の付着量を検出するように構成してい
るため、曲折パイプ2cの内壁面の付着物を確実に検出
でき、しかもパイプ内壁面の洗浄度を数的に把握するこ
とができる。また、付着物検出装置3に洗浄液供給部4
を接続しているため、付着物が所定値を超えた時には、
洗浄液を供給して、曲折パイプ2cの洗浄を繰り返し行
うことができ、曲折パイプ2cの内壁面の付着物を確実
に取り除くことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固形異物が混入し
た液体の質量を計測する質量流量計であって、その測定
部を構成するパイプ内壁面に付着する付着物の付着量を
検出する付着物検出装置および洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、固形異物が混入した液体の質量計
測には、計測部に一直線上に配置された流入パイプおよ
び流出パイプ、これらパイプに接続された曲折パイプを
備えた質量流量計が利用されている。この質量流量計
は、流入パイプから固形異物が混入した液体が曲折パイ
プを通過して流出パイプから排出される間の曲折パイプ
のひずみ量から液体の質量を算出するように構成されて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この質量流量計では、
固形異物が混入した液体を計測している関係で、計測終
了時には清水を計測部に送り、パイプ内壁面が清掃され
ている。しかしながら、この種清掃を繰り返すのみで
は、計測部のパイプ内壁面に固形異物が付着物として残
り、この付着物が液体密度の計測誤差を招いている。そ
のため、所定期間をおいて定期的に洗浄液を計測部に送
り、パイプ内壁面を清掃しているが、その洗浄度を検出
する方法がなく、付着物が取り除かれたのか否かを把握
することができず、その解決策が要望されている。
【0004】本発明は、上記要望に鑑み発明されたもの
で、計測終了時に計測部を清掃する際に計測部のパイプ
内壁面の付着物の付着量を検出する付着物検出装置およ
び洗浄装置を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】一直線上に配置された流
入パイプと流出パイプとの間に曲折パイプを配置し、流
入パイプから固形異物が混入した液体が曲折パイプを通
過して流出パイプから排出される間の曲折パイプのひず
み量を検出して、このひずみ量から液体の質量を算出す
る計測モードを備えた質量流量計において、計測モード
とは別に検出モードを選択する入力部を設け、検出モー
ド時に清水が供給される際の曲折パイプの固有振動数か
ら清水の密度を算出し、この密度をあらかじめ記憶され
た清水の密度と比較して、両者の差から曲折パイプ内壁
面への付着物の付着量を検出するように構成されてい
る。
【0006】また、計測モードとは別に検出モードを選
択する入力部を設け、検出モード時に清水が供給される
際の曲折パイプの固有振動数から清水の密度を算出し、
この密度をあらかじめ記憶された清水の密度と比較し
て、両者の差が所定値以上となると、洗浄液を流入パイ
プから供給するように構成してもよい。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施
の形態を質量流量計の洗浄装置について説明する。図1
および図2において、1は固形異物が混入した液体の質
量を計測する質量流量計2の洗浄装置であり、質量流量
計2を備えてなる付着物検出装置3と、洗浄液供給部4
とからなっている。この付着物検出装置3は、メインポ
ンプ7と質量流量計2に連なる清水パイプ5aを備えた
清水供給部5と演算部6とからなり、清水供給部5は清
水を貯留する貯水槽(図示せず)と清水ポンプ5bとを
有している。
【0008】前記質量流量計2は、一直線上に配置され
た流入パイプ2aと、流出パイプ2bと、これらパイプ
間に水平方向に配置された曲折パイプ2cとからなる計
測部を有しており、流入パイプ2aから固形異物が混入
した液体が曲折パイプ2cを通過して流出パイプ2bか
ら排出される時に曲折パイプ2cが振動するように構成
されている。また、この質量流量計2は曲折パイプ2c
の振動にともない発生するコリオリの力により曲折パイ
プ2cの流入側と流出側との間で生じるねじれを検出す
るようにひずみ量検出部2dを有しており、その検出値
がA−D変換部(図示せず)を介して演算部6に送られ
るように構成されている。さらに、前記質量流量計2に
は曲折パイプ2cの振動を検出するピックアップ部2e
が配置されており、曲折パイプ2cの固有振動数がA−
D変換部(図示せず)を介して演算部6に送られるよう
に構成されている。
【0009】前記演算部6は、曲折パイプ2cのひずみ
量およびその固有振動数が入力する外部入出力部6a
と、各種動作を制御する制御部6bと、清水の密度、固
形異物の真比重等各種情報を入力する入力部6cと、各
種情報を記憶する記憶部6dと、質量あるいは密度等各
種情報を表示する表示部6eとから構成されている。前
記入力部6cはモード選択スイッチ(図示せず)、作業
開始スイッチ(図示せず)および清水供給スイッチ(図
示せず)を有しており、液体の質量を計測する計測モー
ドと、清水供給時に清水の密度を計測する検出モードと
を選択する一方で、計測モード時には作業開始スイッチ
によりメインポンプ7を、また検出モード時には清水供
給スイッチにより清水供給部5の清水ポンプ5bを作動
できるように構成されている。
【0010】前記制御部6bは、作業開始スイッチのオ
ンオフによりメインポンプ7の作動を制御して、液体の
供給を制御する一方、作業スイッチがオフの時清水供給
スイッチのオンオフにより清水ポンプ5bの作動を制御
して、清水の流入パイプ2aへの供給を制御するように
構成されている。また、制御部6bは計測モード時には
ひずみ量検出部2dの検出値を一定時間毎に読み込み、
曲折パイプ2cのひずみ量から液体の通過質量を算出す
る一方、ピックアップ部2eの検出値を一定時間毎に読
み込み、曲折パイプ2cの固有振動数から液体を含む曲
折パイプ2cの単位容積あたりの質量、この質量から液
体の単位容積あたりの質量、さらには液体の密度を算出
するように構成されている。さらに、制御部6bは検出
モード時には、 1)ピックアップ部2eの検出値のみを一定時間毎に読
み込む。 2)この値から曲折パイプ2cの固有振動数、液体を含
む曲折パイプ2cの単位容積あたりの質量、液体の単位
容積あたりの質量、さらには液体の密度を算出する。 3)算出された清水の密度と記憶部6dに記憶された清
水の密度を比較し、両者の差から曲折パイプ2cの内壁
面に付着した付着物の付着量を検出して、その差が所定
値以上になると洗浄液供給指令信号を出力するととも
に、表示部6eに洗浄表示指令信号を出力する。 4)リターン となるように構成されている。
【0011】一方、洗浄装置1の一部をなす洗浄液供給
部4は、洗浄液パイプ4aと洗浄液ポンプ4bと洗浄液
を貯留する貯留槽(図示せず)とを備えており、洗浄液
ポンプ4bは前記制御部6bから洗浄液供給指令信号に
より作動するように構成されている。
【0012】上記質量流量計の洗浄装置では、モード選
択スイッチで計測モードが選択された後作業開始スイッ
チがオンになると、メインポンプ7が作動して固形異物
の混入した液体が質量流量計2の流入パイプ2aから曲
折パイプ2c、流出パイプ2bに供給される。この液体
が質量流量計2の曲折パイプ2cを通過する際には、曲
折パイプ2cが振動し、この振動による曲折パイプ2c
のひずみ量がひずみ量検出部2dで検出され、その値が
ディジタル値に変換されて演算部6の外部入出力部6a
に送られる。また、曲折パイプ2cの振動もピックアッ
プ部2eで検出され、その固有振動数がディジタル値に
変換されて演算部6の外部入出力部6aに送られる。演
算部6では一定時間毎にひずみ量と、固有振動数が読み
込まれ、ひずみ量から液体の質量が算出される一方、固
有振動数とあらかじめ算出した固形異物の真比重とか
ら、液体を含む曲折パイプ2cの単位容積あたりの質
量、この質量から液体の単位容積当たりの質量、さらに
は液体の密度が算出され、これらが記憶部6dで記憶さ
れるとともに、表示部6eで表示される。
【0013】また、液体の計測作業が終了し、質量流量
計2を清水で洗浄する際には、モード選択スイッチによ
り検出モードが選択される。この状態で、清水供給スイ
ッチがオンになると、清水ポンプ5bが作動し、清水が
質量流量計2の流入パイプ2aから各パイプに供給され
る。この時、曲折パイプ2cが振動し、その振動の固有
振動数がピックアップ部2eで検出され、これがディジ
タル値に変換されて演算部6の外部入出力部6aに送ら
れる。この固有振動数から計測モード時と同様に液体の
密度が算出される。この密度とあらかじめ入力された清
水の密度(1.000)とが比較され、両者の差が所定値以
上となると、洗浄表示指令が表示部6eに送られ、表示
部6eで洗浄表示がされる。この表示により、洗浄液供
給部4が接続されてない時には、作業者が質量流量計2
を分解洗浄することができる。
【0014】また、洗浄液供給部4が付設されている場
合には、前記洗浄表示指令信号と同時に洗浄液供給指令
信号が出力され、洗浄液ポンプ4bが作動して洗浄液が
質量流量計2の流入パイプ2aに供給されて各パイプの
内壁に付着する付着物が洗浄される。この作業が繰り返
されて、質量流量計2の計測部の洗浄を確実に行うこと
ができる。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は清水供給
時の曲折パイプの振動から清水の密度を算出し、この清
水の密度をあらかじめ記憶された清水の密度と比較し
て、両者の差からパイプ内壁面への付着物の付着量を検
出するように構成しているため、パイプ内壁面の付着物
を確実に検出でき、パイプ内壁面の洗浄度を数的に把握
することができる等の利点がある。また、本発明は質量
流量計の付着物検出装置に洗浄液供給部を接続して洗浄
装置としているため、付着物が所定値を超えた時には、
洗浄液を供給して、パイプの洗浄を繰り返し行うことが
でき、パイプの内壁面の付着物を確実に取り除くことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る質量流量計の洗浄装置の構成を示
すブロック図である。
【図2】本発明に係る質量流量計の計測部をなす各パイ
プの概略説明図である。
【符号の説明】
1 洗浄装置 2 質量流量計 2a 流入パイプ 2b 流出パイプ 2c 曲折パイプ 2d ひずみ量検出部 2e ピックアップ部 3 付着物検出装置 4 洗浄液供給部 4a 洗浄液パイプ 4b 洗浄液ポンプ 5 清水供給部 5a 清水パイプ 5b 清水ポンプ 6 演算部 6a 外部入出力部 6b 制御部 6c 入力部 6d 記憶部 6e 表示部 7 メインポンプ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一直線上に配置された流入パイプと流出
    パイプとの間に曲折パイプを配置し、流入パイプから固
    形異物が混入した液体が曲折パイプを通過して流出パイ
    プから排出される間の曲折パイプのひずみ量を検出し
    て、このひずみ量から液体の質量を算出する計測モード
    を備えた質量流量計において、 計測モードとは別に検出モードを選択する入力部を設
    け、検出モード時に清水が供給される際の曲折パイプの
    固有振動数から清水の密度を算出し、この密度をあらか
    じめ記憶された清水の密度と比較して、両者の差から曲
    折パイプ内壁面への付着物の付着量を検出するように構
    成したことを特徴とする付着物検出装置。
  2. 【請求項2】 一直線上に配置された流入パイプと流出
    パイプとの間に曲折パイプを配置し、流入パイプから固
    形異物が混入した液体が曲折パイプを通過して流出パイ
    プから排出される間の曲折パイプのひずみ量を検出し
    て、このひずみ量から液体の質量を算出する計測モード
    を備えた質量流量計において、 計測モードとは別に検出モードを選択する入力部を設
    け、検出モード時に清水が供給される際の曲折パイプの
    固有振動数から清水の密度を算出し、この密度をあらか
    じめ記憶された清水の密度と比較して、両者の差が所定
    値以上となると、洗浄液を流入パイプから供給するよう
    に構成したことを特徴とする洗浄装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008503755A (ja) * 2004-06-22 2008-02-07 マイクロ・モーション・インコーポレーテッド 流量計アセンブリ内の残留材料を検出する流量計電子機器及び方法
WO2010127933A1 (de) * 2009-05-08 2010-11-11 Endress+Hauser Flowtec Ag Verfahren zum detektieren einer verstopfung in einem coriolis-durchflussmessgerät
WO2020076284A1 (en) * 2018-10-08 2020-04-16 Micro Motion, Inc. Cleaning and detecting a clean condition of a vibratory meter

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008503755A (ja) * 2004-06-22 2008-02-07 マイクロ・モーション・インコーポレーテッド 流量計アセンブリ内の残留材料を検出する流量計電子機器及び方法
US7421350B2 (en) 2004-06-22 2008-09-02 Micro Motinn, Inc. Meter electronics and method for detecting a residual material in a flow meter assembly
AU2004321718B2 (en) * 2004-06-22 2009-11-05 Micro Motion, Inc. Meter electronics and method for detecting a residual material in a flow meter assembly
JP4664973B2 (ja) * 2004-06-22 2011-04-06 マイクロ・モーション・インコーポレーテッド 流量計アセンブリ内の残留材料を検出する流量計電子機器及び方法
WO2010127933A1 (de) * 2009-05-08 2010-11-11 Endress+Hauser Flowtec Ag Verfahren zum detektieren einer verstopfung in einem coriolis-durchflussmessgerät
CN102422131A (zh) * 2009-05-08 2012-04-18 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 用于检测科里奥利流量测量装置中的堵塞的方法
CN102422131B (zh) * 2009-05-08 2013-09-18 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 用于检测科里奥利流量测量装置中的堵塞的方法
US8738305B2 (en) 2009-05-08 2014-05-27 Endress + Hauser Flowtec Ag Method for detecting blockage in a Coriolis flow measuring device
WO2020076284A1 (en) * 2018-10-08 2020-04-16 Micro Motion, Inc. Cleaning and detecting a clean condition of a vibratory meter
CN112805541A (zh) * 2018-10-08 2021-05-14 高准有限公司 清洁和检测振动测量仪的清洁状况
US11796365B2 (en) 2018-10-08 2023-10-24 Micro Motion, Inc. Cleaning and detecting a clean condition of a vibratory meter

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