JP2011123363A - 光偏向装置および光偏向装置の製造方法 - Google Patents
光偏向装置および光偏向装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光偏向装置は、基板と可動部とコア部と表面部材を備えている。可動部は、基板に対して揺動可能に支持されている。コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びている。表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えている。その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されている。その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている。
【選択図】図3
Description
(特徴1)頂面部111と展開部113とは同一平面内に形成されている。
(特徴2)ミラー105は、金属層で一体に形成されている。ミラー105は、頂面部111、側面部112、展開部113にさらに区分することができる。
101 基板
105 ミラー
107 可動部
110 コア部
111 頂面部
112 側面部
113 展開部
Claims (6)
- 光の反射方向を変化させる光偏向装置であって、
基板と可動部とコア部と表面部材を備えており、
可動部は、基板に対して揺動可能に支持されており、
コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びており、
表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えており、
その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されており、
その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている
ことを特徴とする光偏向装置。 - 表面部材の側面部分と前記コア部の外周面とが密着していることを特徴とする請求項1に記載の光偏向装置。
- コア部形成材料が、シリコンであることを特徴とする請求項1または2に記載の光偏向装置。
- 表面部材形成材料が、金属であることを特徴とする請求項1ないし3の何れか1項に記載の光偏向装置。
- 請求項1ないし4の何れか1項に記載の光偏向装置の製造方法であって、
可動部の上面にコア部形成材料で犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
その犠牲層に、コア部の外周面を内側側面とするとともに、底面に可動部が露出するトレンチを形成する第1パターニング工程と、
パターニング後の犠牲層の表面に、表面部材形成材料で膜を成膜する成膜工程と、
その膜のうちの展開部の輪郭外に位置する部分を除去する第2パターニング工程と、
犠牲層を除去する除去工程と
を備えることを特徴とする光偏向装置の製造方法。 - 成膜工程で成膜する膜の厚さが、第1パターニング工程で形成されるトレンチの幅を半分にした値以上である
ことを特徴とする請求項5に記載の光偏向装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009281844A JP5392048B2 (ja) | 2009-12-11 | 2009-12-11 | 光偏向装置および光偏向装置の製造方法 |
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JP5392048B2 JP5392048B2 (ja) | 2014-01-22 |
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