JP2011119550A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、本発明は、実施形態に示す図１〜図１１に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明の光学部材変形装置は、光学部材（４１）の形状を変形させる光学部材変形装置（５３）において、前記光学部材（４１）に対して当接する当接部材（７０）と、前記当接部材（７０）に連結される変位部材（６５）と、駆動源（６１）からの駆動力に基づき変位する連結部材（５７，６３）を有し、該連結部材（５７，６３）の変位量を拡大して前記変位部材（６５）に伝達する変位拡大機構（７３）と、前記当接部材（７０）と前記変位部材（６５）との間に設けられ、前記変位部材（６５）の変位量を縮小して前記当接部材（７０）に伝達する縮小機構（６９）とを備えることを要旨とする。

Claims (18)

1. 光学部材の形状を変形させる光学部材変形装置において、
   前記光学部材に対して当接する当接部材と、
   前記当接部材に連結される変位部材と、
   駆動源からの駆動力に基づき変位する連結部材を有し、該連結部材の変位量を拡大して前記変位部材に伝達する変位拡大機構と、
   前記当接部材と前記変位部材との間に設けられ、前記変位部材の変位量を縮小して前記当接部材に伝達する縮小機構と、
   を備えることを特徴とする光学部材変形装置。
2. 請求項１に記載の光学部材変形装置において、
   前記変位部材の変位量を計測する計測部材と、
   前記計測部材の計測結果に基づき、前記変位部材の変位量を制御する制御機構とを備えることを特徴とする光学部材変形装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の光学部材変形装置において、
   前記変位拡大機構は、
   前記連結部材を支持部を介して支持する支持部材を含んで構成され、
   前記連結部材は、前記駆動源に連結部を介して連結されると共に、該駆動源からの駆動力に基づいて前記支持部を中心に揺動することを特徴とする光学部材変形装置。
4. 請求項３に記載の光学部材変形装置において、
   前記支持部材は、前記連結部材における前記変位部材に対する連結部と前記支持部との距離が、前記連結部材における前記駆動源に対する連結部と前記支持部との距離よりも大きくなるように前記連結部材を支持することを特徴とする光学部材変形装置。
5. 請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の光学部材変形装置において、
   前記光学部材を挟んで前記当接部材と対向するように配置され、前記光学部材に対して荷重を印加する荷重印加機構を更に備えることを特徴とする光学部材変形装置。
6. 請求項５に記載の光学部材変形装置において、
   前記荷重印加機構は、前記光学部材に対して当接する当接位置と前記光学部材から離間する離間位置との間で変位可能に構成されていることを特徴とする光学部材変形装置。
7. 請求項１〜請求項６のうち何れか一項に記載の光学部材変形装置において、
   前記変位部材は、前記変位拡大機構を介して前記駆動源からの駆動力が伝達される場合に、前記当接部材を前記光学部材に対して当接させる当接位置と前記光学部材から離間させる離間位置との間で変位させるように構成されていることを特徴とする光学部材変形装置。
8. 請求項１〜請求項７のうち何れか一項に記載の光学部材変形装置において、
   前記当接部材は、前記光学部材の周縁部に当接していることを特徴とする光学部材変形装置。
9. 被照射体に光を導くための複数の光学部材を備える光学系において、
   前記光学部材を保持する鏡筒と、
   前記鏡筒に設けられ、前記光学部材の形状の少なくとも一部を変形させる請求項１〜請求項８のうち何れか一項に記載の光学部材変形装置と
   を備えることを特徴とする光学系。
10. 請求項９に記載の光学系において、
    前記変位拡大機構に連結され、該変位拡大機構を介して伝達される前記駆動源からの反力を受容する反力受容部材を更に備えることを特徴とする光学系。
11. 請求項１０に記載の光学系において、
    前記反力受容部材は、前記鏡筒の内外を仕切る壁面の少なくとも一部を構成しており、
    前記反力受容部材には、前記光学部材変形装置を前記鏡筒の内側に挿入可能とする挿入部が設けられていることを特徴とする光学系。
12. 請求項１１に記載の光学系において、
    前記駆動源は、前記鏡筒の外側に設けられていることを特徴とする光学系。
13. 請求項１２に記載の光学系において、
    前記鏡筒の内側を気密化する封止部材を更に備えることを特徴とする光学系。
14. 請求項１３に記載の光学系において、
    前記封止部材は、前記鏡筒に固定して設けられることを特徴とする光学系。
15. 請求項１３に記載の光学系において、
    前記封止部材は、前記反力受容部材に固定して設けられることを特徴とする光学系。
16. 請求項１３〜請求項１５のうち何れか一項に記載の光学系において、
    前記封止部材は、前記挿入部の口縁と前記光学部材変形装置との間の空間域を閉塞するように設けられることを特徴とする光学系。
17. 請求項９〜請求項１６のうち何れか一項に記載の光学系を備え、
    前記鏡筒に保持される光学部材を介して放射ビームを被照射体に照射し、該被照射体に所定のパターンを形成することを特徴とする露光装置。
18. リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、
    前記リソグラフィ工程は請求項１７に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。