JP2011117480A - 回転ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転ステージ装置100は、回転ベース部250を回転させるためのウォームホイール262、及び、当該ウォームホイール262とかみ合うウォーム261を備える。ウォーム261の両端部には、ウォーム261を回転可能に支持するための回転ベアリングがそれぞれ装着されており、従動プーリ232が装着される一方の軸部に装着された固定回転ベアリングについては補助ベース部221に固定され、他方の軸部に装着された可動回転ベアリング263については、保持部材264によって、保持される。保持部材264は、可動回転ベアリング263を、本体ベース部220に対して押し付けると共に、ウォームホイール262の方向に付勢する。
【選択図】図3
Description
110 テーブル部
111 ピン
120 本体部
130 動力伝達部
140 モータ部
220 本体ベース部
221 補助ベース部
222 円筒状突起部
230 動力伝達機構部
231 駆動プーリ
232 従動プーリ
233 タイミングベルト
250 回転ベース部
251 内筒部
252 外筒部
253 天板部
254 回転ベアリング
260 ウォームギア機構部
261 ウォーム
262 ウォームホイール
263 可動回転ベアリング
264 保持部材
270 原点位置検出部
271 可動部材
2711 取り付け部
2712 円弧部
2713 直線部
272 センサ部
610 取り付け部
611 長孔
620 U字状部
630 押さえ部
Claims (6)
- ベース部と、
当該ベース部に回転可能に取り付けられたテーブル部と、
当該テーブル部を回転させるためのウォームホイールと、
当該ウォームホイールとかみ合うウォームと、
当該ウォームの一方の端部に取り付けられた第一の回転ベアリングと、
前記ウォームの他方の端部に取り付けられた第二の回転ベアリングと、
前記ベース部に固定されて、前記第一の回転ベアリングを保持する第一の保持部と、
前記第二の回転ベアリングを保持する第二の保持部とを備え、
前記第二の保持部は、前記第二の回転ベアリングを、前記ベース部に押し付けると共に、前記ウォームホイールの方向に付勢する
ことを特徴とする回転ステージ装置。 - 前記第二の回転ベアリングは内輪と外輪とを備え、
前記内輪が、前記ウォームの他方の端部に固定され、前記外輪が、前記第二の保持部に保持される
ことを特徴とする請求項1に記載の回転ステージ装置。 - 前記第二の保持部は、
前記第二の回転ベアリングを、前記ベース部に押し付ける押さえ部と、
前記第二の回転ベアリングを、前記ウォームホイールの方向に付勢するU字状部と
を備える
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の回転ステージ装置。 - 前記テーブル部の底面から突出する突出部と、
前記突出部が当接した際に移動することが可能な可動部材と、
前記可動部材の移動を検知する検知部と
を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の回転ステージ装置。 - 前記可動部材は、可撓性を有する部材で構成され、前記突出部が当接した際に撓む
ことを特徴とする請求項4に記載の回転ステージ装置。 - 前記可動部材は、
前記突出部が当接する直線部と、
前記直線部に前記突出部が当接した際に撓む円弧部と
を備える
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の回転ステージ装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2009
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JP5377254B2 (ja) | 2013-12-25 |
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