JP2011116641A - ガラス製造における厚さ制御区域での圧力制御方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＦＤＭエンクロージャ内の圧力に関連させて、マッフルドア内部の圧力を管理する。
【解決手段】ＦＤＭエンクロージャ６０の内部に配置された成形本体２からガラスリボン８を延伸し、エンクロージャ６０の内部に配置されかつ成形本体２に面しているマッフルドア筐体２０に、リボン８の局部厚さを制御するため流体を送出する。筐体２０に流体を送出する際には、筐体２０の内部に出口２４を有する複数の管２３を通して流体源３０から流体を送出する。筐体内の位置２５での第１圧力よりも、筐体の外側近傍でありかつエンクロージャ内でもある第２位置６５での第２圧力が高くなるように、第１圧力および第２圧力を維持する。この維持の際には、第１圧力を減少させるように、筐体２０から出て行く流体の流れを管理する。さらに、リボン８からガラスシートを切り離す。
【選択図】図１

Description

本開示は、一般に、ガラスリボン、すなわち後にシートに切り離されるリボンを製造するときの、リボンの厚さの制御、より具体的には厚さ変動の制御に関する。

ガラスリボンはディスプレイ―例えば、ＬＣＤ、プラズマディスプレイ、ＯＬＥＤ、および／または、エレクトロルミネセントディスプレイ―を製造するためのガラスシートに切り離されるが、このガラスリボンの厚さ勾配の制御にマッフルドアが用いられる。マッフルドアについては、概して特許文献１に記述されている。軟化点温度よりも高温のガラスに面している高い熱伝導性材料で設計された前面板から特定距離だけ離れた、特定の直径を有する管の列を通して、空気が吹き出される。その目的は、リボンを横切って、ガラスの流れに直角の方向に温度勾配を生成することである。この温度勾配は、ガラスのある領域の局部粘度を別の領域に対して変化させ、下方への牽引力によるガラスの弱化、すなわち局部厚さに影響を与える。これらの管から排出された空気は、マッフルドア筐体内で循環し、そして前面板近くの空気が管の列から出て行く場所から１８０°の所に位置する通気孔を通って、消散するように設計されている。

本発明者らは、特定の事象において、通気孔が意図された機能を十分に果たしていない可能性があり、これがマッフルドア筐体からの望ましくないガス流漏れを生じさせるような圧力増加をマッフルドア筐体内に引き起こし得ることを発見した。望ましくないガス流がガラスリボンにぶつかると、ガラスに望ましくない温度勾配を招いて、厚さ制御に悪影響を与える可能性がある。本発明者らは、マッフルドア筐体から外への、制御されていないおよび／または望ましくないガス流を生じさせるようなマッフルドア筐体内の圧力増加の一因となる事象は、例えば、時間とともに凝縮物が積層するにつれて―オリフィス性能はオリフィス孔周囲のエッジ品質に大きく依存するために―通気孔を通って流れるガスが減少する可能性のあるもの、管の列から送出されるガスの量―ガラスリボンに所望の温度勾配をもたらすための―が時々通気孔の消散容量を超えて増加するもの、フュージョンドロー装置（ＦＤＭ）を包囲しているエンクロージャ内の圧力変化が時々、マッフルドア筐体から外へとガスが通気孔を通って流れる能力に影響を与え得るもの、であることを発見した。制御されていないおよび／または望ましくないガス流がガラスリボンにぶつかると、それによってリボンに望ましくない厚さ変動が生じる。

米国特許第３，６８２，６０９号明細書

本開示は、厚さ制御に悪影響を与え得る望ましくないガス流を最小限に抑える、または制御するために、ＦＤＭエンクロージャ内の圧力およびＦＤＭエンクロージャ外側に配置された上方チャンバ内の圧力に関連させて、マッフルドア内部の圧力を管理する手法について明記する。

一圧力管理技法によれば、マッフルドア内の圧力は、マッフルドア筐体の外側近傍でもありＦＤＭエンクロージャの内部でもある位置での圧力よりも低くなるように管理される。例えば、この位置は、マッフルドア筐体とガラスすなわちガラスリボンとの間でもよい。例えば、マッフルドア筐体に亀裂または意図していない開口がある場合、この圧力差によって、リボンへ向かうガス流、およびそれによる望ましくない厚さ変動は、減少する、または抑えられる。

この第１の圧力管理技法を実行する手法は種々存在している。例えば、マッフルドア筐体の既存の通気孔のサイズを増加させること、マッフルドア筐体に新たな孔を設けて通気孔の数を増加させること、マッフルドア筐体を空気ハンドラに接続して受動的または能動的にマッフルドア筐体からガスを除去すること、１以上の既存の流体入口管と流体源との接続を切断すること、および／または、１以上の既存の流体入口管を除去すること、によって、マッフルドアから出て行くガス流の管理を行うことができる。あるいは、またはさらに、ＦＤＭエンクロージャ内の圧力を増加させてもよい。これらの手法は、個々に用いてもよいし、あるいは互いに組み合わせてもよい。

第２の圧力管理技法によれば、マッフルドア内の圧力は、ＦＤＭエンクロージャの部分のうち、少なくともその中にマッフルドア筐体が配置されている部分の、その外側周囲に配置されているチャンバ内の圧力よりも高くなるように管理される。従って、マッフルドア筐体からのガス流を減少させるようにチャンバ内の圧力を任意に変化させることによって、厚さへの悪影響は最小限に抑えられる。

さらなる特徴および利点は以下の詳細な説明の中で明らかにされ、ある程度は、その説明から当業者には容易に明らかになるであろうし、あるいは書かれた説明および添付の図面において例示されたように本発明を実施することにより認識されるであろう。前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、単に本発明を例示したものであり、請求される本発明の本質および種々の原理を理解するための概要または構想を提供することを意図したものであることを理解されたい。

限定するものではない例として、本発明の圧力管理技法を実行する種々の手法を以下のような種々の態様に組み合わせることができる。

第１態様によれば、厚さ変動が減少したガラスシートを製造する方法が提供され、この方法は、エンクロージャの内部に配置された成形本体から、ガラスリボンを延伸する工程、エンクロージャの内部に配置されかつ成形本体に面している筐体に、リボンの局部厚さを制御するために流体を送出する工程であって、この筐体の内部に出口を有する複数の管を通して流体源から流体を送出する工程を含む、筐体に流体を送出する工程、筐体内の位置での第１圧力よりも、筐体の外側近傍でありかつエンクロージャ内でもある第２位置での第２圧力が高くなるように、第１圧力および第２圧力を維持する工程、および、リボンからガラスシートを切り離す工程、を含む。

第２態様によれば、第１圧力よりも第２圧力が高くなるように維持する工程が、第１圧力を減少させるように、筐体から出て行く流体の流れを管理する工程を含む、第１態様の方法が提供される。

第３態様によれば、筐体から出て行く流体の流れを管理する工程が、複数の管のうちの１以上を流体源から切断して、この切断された１以上の管を通して筐体から流体が流出し得るようにする工程を含む、第２態様の方法が提供される。

第４態様によれば、複数の管のうちの切断された１以上の管を、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機に連結させる工程をさらに含む、第３態様の方法が提供される。

第５態様によれば、筐体から出て行く流体の流れを管理する工程が、複数の管のうちの１以上を筐体から取り除いて、この複数の管のうちの１以上によって空いた孔を通して筐体から流体が流出し得るようにする工程を含む、第２態様の方法が提供される。

第６態様によれば、筐体から出て行く流体の流れを管理する工程が、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機によって、筐体から流体を能動的に除去する工程を含む、第２態様の方法が提供される。

第７態様によれば、筐体が内部に配置されているエンクロージャの部分の周りにチャンバが配置され、かつ筐体から除去された流体がチャンバへと放出される、第４態様または第６態様の方法が提供される。

第８態様によれば、筐体が内部に配置されているエンクロージャの部分の周りにチャンバが配置され、かつ筐体から除去された流体がチャンバ外の空間へと放出される、第６態様の方法が提供される。

第９態様によれば、筐体が内部に配置されているエンクロージャの部分の周りにチャンバが配置された第２態様の方法が提供され、この方法は、筐体をチャンバに受動的に連結させることによって、筐体から出て行く流体の流れを管理する工程、および、チャンバ内の第３圧力を、第３圧力が第１圧力よりも低くなるように維持する工程、をさらに含む。

第１０態様によれば、ガラスを製造する装置において、先端部を有する成形本体であって、この先端部からガラスが延伸される、この成形本体と、成形本体の先端部に面している前面壁を有する筐体であって、この筐体内の前面壁近傍位置に第１圧力が存在している、この筐体と、出口を備え、この出口が筐体の内部に配置されている管と、前面壁の温度を制御するよう出口から流体を送出するために、管に連結された流体源と、および、成形本体および筐体を包囲しているエンクロージャであって、筐体の外側近傍でありかつエンクロージャ内でもある第２位置に第２圧力が存在している、このエンクロージャと、を含み、第２圧力が第１圧力よりも高い、装置が提供される。

第１１態様によれば、筐体が内部に配置されているエンクロージャの部分の周りに配置されたチャンバであって、チャンバ内に第３圧力が存在している、このチャンバと、および、筐体とチャンバとの間の流体連通のために連結された第２管と、をさらに備えている、第１０態様の装置が提供される。

第１２態様によれば、筐体からチャンバへの流体の移動を可能にするように、第２管と流体連通して配置された、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機のうちの１つをさらに備えている、第１１態様の装置が提供される。

第１３態様によれば、筐体が内部に配置されているエンクロージャの部分の周りに配置されたチャンバであって、チャンバ内に第３圧力が存在している、このチャンバと、および、筐体とチャンバ外の空間との間の流体連通のために連結された第２管と、をさらに備えている、第１０態様の装置が提供される。

第１４態様によれば、第１圧力が第３圧力よりも高い、第１１態様または第１３態様の装置が提供される。

第１５態様によれば、筐体からチャンバ外の空間への流体の移動を可能にするように、第２管と流体連通して配置された、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機のうちの１つをさらに備えている、第１３態様の装置が提供される。

第１６態様によれば、筐体からの流体の移動を可能にするように、筐体と流体連通して配置された、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機のうちの１つをさらに備えている、第１０態様の装置が提供される。

第１７態様によれば、筐体が内部に配置されているエンクロージャの部分の周りに配置されたチャンバであって、チャンバ内に第３圧力が存在している、このチャンバをさらに備え、第１圧力が第３圧力よりも高い、第１０態様または第１６態様の装置が提供される。

添付の図面は、本発明の種々の原理をさらに理解することができるように含まれているものであり、本明細書に組み込まれ、その一部を構成する。図面は１以上の実施形態を示し、そしてその記述とともに、本発明の種々の原理および動作について例を用いて説明するのに役立つ。本明細書および本図面において開示された本発明の種々の原理および特徴は、任意の組合せで、また全て組み合わせて、用いることができることを理解されたい。

上方および下方チャンバの内部に配置されているフュージョンドロー装置の筐体のさらに内部に配置された、厚さ制御区域（マッフルドアなど）の筐体を示す概略図 マッフルドア筐体の背面板を示す概略図 図１の装置の線３−３に沿った概略図 図１の装置の異なる位置での圧力を表したグラフ

以下の詳細な説明においては、限定ではなく説明のため、具体的詳細を開示する実施形態例を明記して本発明の種々の原理の完全な理解を提供する。しかしながら、本開示から利益を得る通常の当業者には、本発明がここで開示される具体的詳細とは異なる他の実施形態において実施し得ることは明らかであろう。さらに、周知の装置、方法、および材料の説明は、本発明の種々の原理の説明を不明瞭にしないよう省略されることがある。最後に、適用できる限り、同じ参照番号は同様の要素を示す。

本書では、文脈が明らかに他に指示していなければ、単数形は複数の指示対象を含むものとする。すなわち、例えば「部品」に言及したときには、文脈が明らかに他に指示していなければ、２以上のこの部品を有する態様を含む。

本書で使われる、例えば、上、下、右、左、前、前方、後、後方などの方向を示す用語は、単に図示の図形に関連するものであり、絶対的方向の意味を含むと意図されたものではない。

本開示は、ガラスリボンの厚さ制御に悪影響を与え得る望ましくない気流を最小限に抑える、または制御するために、ＦＤＭエンクロージャ内および上方チャンバ内の圧力に関連させてマッフルドア内部の圧力を管理する手法について明記する。一圧力管理技法によれば、マッフルドア内の圧力は、マッフルドア筐体の外側近傍でもありＦＤＭエンクロージャの内部でもある位置での圧力よりも低くなるように管理される。万一漏れがある場合、この漏れとは例えばマッフルドア筐体の亀裂または意図されていない開口によるものであるが、この圧力差によって、リボンへ向かうガス流、およびそれによる望ましくない厚さ変動は、減少する、または抑えられる。第２の圧力管理技法によれば、マッフルドア内の圧力は、ＦＤＭエンクロージャの部分のうち、その中にマッフルドア筐体が配置されている部分の、その外側周囲に配置されているチャンバ内の圧力よりも高くなるように管理される。従って、マッフルドア筐体からのガス流を減少させるようにチャンバ内の圧力を任意に変化させることによって、厚さへの悪影響は最小限に抑えられる。

図１は、ガラス製造用フュージョンダウンドロー装置（ＦＤＭ）の概略図である。説明のため、本発明の種々の原理をＦＤＭと関連させて明記する。しかしながら本発明の種々の原理は、他種のガラス製造装置およびプロセス、例えば、他のダウンドロープロセスおよび装置、スロットドロー、フロート、および／またはアップドローにも適用できることに留意されたい。

図１に示すように、ＦＤＭは、ＦＤＭエンクロージャ６０の内部に配置された、成形本体２およびマッフルドア筐体２０を備えている。種々の他の機器６１を、エンクロージャ６０内部の筐体２０の下方にさらに配置してもよい。エンクロージャ６０は、上方チャンバ４０および下方チャンバ５０に包囲されている。

成形本体２は入口パイプ４から溶融ガラスを受け入れる。ガラスは成形本体２から溢れ出て２つの分離流６となり、この分離流６が成形本体２の先端部３で再結合して厚さ９のガラスリボン８を成形する。簡単のため図示されていないが、種々の機構を用いてガラスリボン８を下向きに移動させる、および／または案内する。その後ガラスシート１０が、当技術において既知の技法を用いてリボン８の下端から切り離される。

ガラスリボン８を横切る厚さ９における変動、すなわち図１の平面に向かう方向およびこの平面から離れる方向における変動を制御するために、１対のマッフルドア筐体２０が用いられる。１つの筐体２０がリボン８のそれぞれの面に配置される。これらの筐体２０は同じ構造であるため、１つのみを詳細に説明する。同様に、同じ原理が他の筐体２０に同じく適用できるという了解の下、種々の原理を図示の筐体２０の１つと関連させて説明することがある。筐体２０は、成形本体２と、軟化点を超える粘度を有しているガラスリボン８とに面するように配置される。筐体２０は、前面板２１、背面板２２、および複数の管２３を含む。

前面板２１は、高伝導性、低熱膨張性、および時間や温度によらず一定した高放射率を有する材料で形成される。前面板２１は炭化ケイ素の平板で形成され、その背面は、境界の縁部分を除いて、平板の表面全体に温度の不連続性を招き得るいかなる支持構造とも接触しないことが好ましい。背面板２２は、図２に詳細に示されているが、管２３が貫通して延びている孔２８を含む。孔２８の直径は、管２３の直径と略同じでもよいし、あるいはわずかに大きくてもよい。それぞれの管２３の出口２４は筐体２０の内部に位置する。

流体源３０が導管３２を介して管２３に連結される。流体は、例えば、空気、圧縮空気、任意の他の適切なガスとすることができる。明細書を通じて便宜上「空気」または「気流」という用語を用いるが、これらの用語は全ての適切な種類のガスまたは他の流体を含むと意図される。流体がぶつかって前面板２１の温度を局部的に制御するよう、流体は流体源３０から導管３２、管２３を通って筐体２０の中へと送出される。当技術において既知の手法で、各管２３を通過する流体の流れを個々に管理し、リボン８を横切って厚さ勾配を制御することもできる。このシステムは、流体がその後、背面板２２の通気孔２６および／または他の開口（例えば、管２３と孔２８のサイズの差によって生じる開口）から、矢印６８で示すようにエンクロージャ６０内の位置６７へと流れ出すように設計されている。

ＦＤＭエンクロージャ６０は、制御された環境（例えば、圧力、気流、および／または温度の観点において）をガラス製造プロセスに提供するため、成形本体２、筐体２０、および機器６１―例えば、コイル巻線、熱電対、抵抗加熱器、および／または、隔離用バスケット（insulating basket）―の周りに配置される。ただし、全部分６２に亘って、エンクロージャ６０と上方チャンバ４０との間に流体流の経路６４を提供する種々の開口が、エンクロージャ６０に存在している。これらの開口には、意図された開口―例えば、電気接続用、流体接続用、機器６１または他の機器への進入および／またはアクセス用、水冷ポート用、抵抗加熱器用、熱電対用コイル巻線用、および／または、管２３用―、および／または、意図していない亀裂または孔が含まれ得る。意図された開口を通して挿入されたデバイスにシールが提供されている場合でさえも、経路６４に沿った流れを許容する漏れが依然シールに存在している可能性がある。

また、エンクロージャ６０内の環境は、下方チャンバ５０内の条件に影響される。すなわち、例えば下方チャンバ５０とエンクロージャ６０の間の圧力および／または温度の相対的な差は、下方チャンバからエンクロージャ６０に向かう、矢印５２によって例示されるような経路に沿った対流気流を生成する。さらに、エンクロージャ６０自身の内部の温度差に起因して、矢印６３によって例示されるようなエンクロージャ６０内で上方に向かう気流が、対流の流れによって生成される。経路５２および６３に沿った気流の動きは、ともにエンクロージャ６０内部の位置６５の圧力に寄与する。位置６５はエンクロージャ６０の内部であるが、筐体２０の外側近傍である。チャンバ５０用の暖房、換気、空調システム（ＨＶＡＣ）を用いて、経路５２に沿った流れと、すなわち位置６５の圧力に影響を与えることもできる。つまり、ＨＶＡＣシステムは、経路５２に沿った流れを増加させるようにチャンバ５０の圧力を増加させて、位置６５の圧力を増加させるようにすることもできるし、あるいは、経路５２に沿った流れを減少させるようにチャンバ５０の圧力を減少させて、位置６５の圧力を減少させるようにすることもできる。

筐体２０内の位置２５には、ある圧力が存在する。筐体２０内のこの圧力は、ＦＤＭの通常動作中に増加することがある。例えば、リボン８の厚さを制御するために温度を大きく変化させる必要がある場合、筐体２０内に管２３から多くの流体が流れ込むことがある。あるいは、またはさらに、背面板２２の通気孔２６および／または開口に凝縮物が積層することによって、ここを通って筐体２０から出て行く流体流が減少する、および／または塞き止められることもある。従って、設計された外への流れが維持されない場合には、筐体２０内の圧力が増大する可能性がある。

位置２５での圧力は、上方チャンバ４０内の事象によってさらに増加する可能性がある。例えば、上方チャンバ４０内の圧力は、ファンまたは制御センサの機能不良、工場内の空気など上方および下方チャンバの外部の圧力の劇的な変化、入口４付近の領域と入口４に連結されているダウンカマー（図示なし）との間の圧力変化または圧力逆転、上方チャンバ内に配置されている密封された融解システムのシーリングの変化または空気の脱出、によって増加する可能性がある。そして、上方チャンバ４０内の圧力の増加は、経路６４に沿った流れの減少、および／または、経路６８に沿った流れの減少に繋がり、それにより筐体２０の位置２５での圧力が増加する可能性がある。

上述の説明のように、または他の要因によって、位置２５の圧力が位置６５の圧力を超えて増加すると、筐体２０からリボン８に向かって流れ出る望ましくない流体流が生じる可能性がある。すなわち、位置２５での圧力が位置６５よりも高くなると、筐体２０の任意の亀裂または開口から流体が外へと押し出されることになる。そして不都合なことに、リボン８に向かうこの望ましくない流体流は不要な冷却を招くことになり、これがリボン８の制御されていない厚さ変動に繋がる。

従って、筐体２０からリボン８に向かういかなる空気の流れをも防ぐため、位置２５の圧力を位置６５の圧力より低く維持することが望ましい。すなわち、筐体２０（特に筐体２０のリボン８近傍部分）に任意の亀裂または開口が存在しているとき、エンクロージャ６０内の位置６５の圧力の方が高ければ、この領域に、そしてリボン８に向かって、位置２５の低い方の圧力領域から空気が流れるのを防ぐことができる。図示されていないが通常の当業者には既知であるような圧力センサを、位置２５および６５の圧力を監視するために用いてもよい。これらの圧力は比較が容易であり、そして位置２５の圧力が位置６５の圧力よりも低くなるような所望の条件を維持するように、必要に応じて圧力を調節することもできる。位置２５の圧力は、種々の手法によって位置６５の圧力より低く維持することができる。例えば、上述したように経路５２、６３に沿った流れをより多くすることによって位置６５の圧力を増加させることもできるし、または、筐体２０から出て行く流体の流れを管理することによって位置２５の圧力を減少させることもできる。筐体２０から出て行く流体流は、種々様々な手法で管理することができる。

筐体２０から出て行く流体流を管理する１つの手法として、筐体の背面板２２に追加の孔２７を設けるものがある。図２を参照されたい。孔２７の数およびサイズは、筐体２０とエンクロージャ６０との間のリボン８から離れている位置６７での気流の量を調節する可変要素として用いることもできる。追加の孔２７は、ガラス製造運転の持続時間を中いつでも必要に応じて形成することができる。すなわち、例えば、筐体２０とエンクロージャ６０の間の位置６５で望ましくない圧力差が検出されたときに、１以上の追加の孔２７を背面板２２に形成してもよい。その後しばらく経って、筐体２０とエンクロージャ６０の間の位置６５で望ましくない圧力差がさらに検出されたときに、さらに追加の孔２７を背面板２２に形成してもよい。さらに、追加の孔２７は、板２２の背面に亘って均一に間隔を空けかつ同じサイズで図示されているが、これらは必ずしも必要なことではない。すなわち、追加の孔２７を、任意の適切な配置およびサイズの組合せを用いたものとしてもよい。さらに、孔２７は円形で図示されているが、任意の適切な形状としてもよい。

筐体からの流体流を管理する第２の手法は、１以上の管２３と導管３２（すなわち流体源３０）との接続を切断するもの、すなわち１以上の接続されていない非接続管２９を作り出すものである。図２および３を参照されたい。非接続管２９を導管３２に連結させずにエンクロージャ６０外部の適当な位置で放置すると、筐体２０から上方チャンバ４０への流体流の経路が提供される。非接続管２９は１つのみ図示されているが、任意の適切な数の非接続管２９を用いてもよい。さらに、非接続管２９の位置は必要に応じて変化させてもよい。すなわち非接続管２９は、リボン８の幅を横切る、すなわち図２および３の左右方向の、任意の所望の位置で用いてもよい。一実施の形態においては、リボン８の品質領域付近の任意の乱れを最小限に抑えるよう、非接続管２９をリボン８の外側エッジ付近に用いることが望ましい。この技法は、実施が容易であり、そしてＦＤＭの継続運転中であっても、既存のＦＤＭに適合させることができるという利益を提供する。

筐体２０からの流体流を管理する第３の手法は、１以上の管２３を完全に取り除くものであり、それにより１以上の孔２８が背面板２２に提供される。図２および３を参照されたい。１以上の孔２８が、筐体２０からエンクロージャ６０内の位置６７への流体連通を可能にする。この流れはその後、存在している任意の経路６４に沿って上方チャンバ４０内に進入し得る。孔２８は１つのみ図示されているが、任意の適切な数の孔２８を用いてもよい。さらに、孔２８の位置は必要に応じて変化させてもよい。すなわち孔２８は、リボン８の幅を横切る任意の所望の位置で用いてもよい。一実施の形態においては、リボン８の品質領域付近の任意の乱れを最小限に抑えるよう、孔２８をリボン８の外側エッジ付近で用いることが望ましい。この技法は、実施が容易であり、そしてＦＤＭの継続運転中であっても、既存のＦＤＭに適合させることができるという利益を提供する。

筐体２０からの流体流を管理する第４の手法は、既存の通気孔２６のサイズおよび／または数を増加させるものである。ＦＤＭの運転中にＦＤＭエンクロージャ６０の外部から通気孔２６にアクセスすることは困難であり得るため、この技法の適用性は制限される可能性があるが、いくつかの状況では望ましい場合もある。

筐体２０からの流体流を管理する第５の手法は、空気ハンドラ７０を筐体２０に連結して提供するものである。空気ハンドラ７０は、１以上の管２３、および／または導管７８によって、筐体２０に連結させてもよい。図１および３を参照されたい。空気ハンドラ７０は、筐体２０と上方チャンバ４０との間の流体連通を提供するように経路７４を含んでもよい。あるいは、またはさらに、空気ハンドラは、筐体２０と上方チャンバ４０外の空間との間の流体連通を提供するように経路７６を含んでもよい。空気ハンドラ７０は、例えば、パッシブダクト、真空機器、ポンプ、圧縮機、ファン、または送風機でもよい。空気ハンドラ７０を通る容積および／または質量流量は、当技術において既知の任意の手法で監視することもできる。空気ハンドラ７０は、筐体２０の端部の管２３に連結されているように図示されているが、任意の所望の位置で任意の所望の数の管２３に連結させてもよい。一実施の形態においては、リボン８の品質領域付近の任意の乱れを最小限に抑えるよう、管２３をリボン８の外側エッジ付近に用いると有利である。

筐体２０と上方チャンバ４０との間に準備の整った受動的流体連通が存在しているときには、筐体２０内の圧力が上方チャンバ４０内の圧力より高いと同様に有利である。この手法では、上方チャンバ４０内の圧力の乱れによる筐体２０内の圧力への影響を最小限に抑える、または減少させることができる。筐体２０と上方チャンバ４０との間に準備の整った受動的流体連通が存在し得るのは、例えば、空気ハンドラ７０が導管でありかつ経路７４が存在しているとき、非接続管２９を使用しているとき、および／または、程度は低くなるが、管２３を完全に取り除き、この管が通っていたエンクロージャ６０の孔をシールしていない（またはそのシールが不十分である）ときである。

上記のように、筐体２０と上方チャンバ４０との間に準備の整った受動的流体連通が存在しているときには、筐体２０内の圧力は上方チャンバ４０内の圧力より高いことが望ましい。一方、上方チャンバ４０内の圧力が筐体２０内の圧力より高いことを許容できる状況もあり得る。例えば、空気ハンドラ７０が能動素子―例えば、ファン、送風機、ポンプ、真空機器、または圧縮機―である場合には、チャンバ４０内の圧力が筐体２０内の圧力より高くても、流体を筐体２０から上方チャンバ４０へと移動させることができる。しかしながら、空気ハンドラ７０が能動素子である場合でも、存在している任意の流体流経路６４に沿った気流への影響を最小限に抑えるために、筐体２０内の圧力は上方チャンバ４０内の圧力より高いことが依然望ましいであろう。

筐体２０からの流体流を管理する第６の手法は、経路６４に沿った流れと、すなわち位置２５での圧力に影響を与えるように、上方チャンバ４０用のＨＶＡＣシステムを扱うものである。つまり、このＨＶＡＣシステムは、経路６４に沿った流れを減少させるようにチャンバ４０の圧力を増加させて、位置２５の圧力を増加させるようにすることもできるし、あるいは、経路６４に沿った流れを増加させるようにチャンバ４０の圧力を減少させて、位置２５の圧力を減少させるようにすることもできる。

図４は、上述の圧力をグラフで表したものである。線１００はＦＤＭエンクロージャ６０内の位置６５での圧力を表している。位置６５での圧力１００は、エンクロージャ６０内部および／または下方チャンバ５０内の条件の変動によって時間とともに若干変化し得る。線１０４は上方チャンバ４０内の圧力を表している。圧力１０４は、上述した要因によって瞬間的に変化することがある。線１０２および１０６は、マッフルドア筐体２０内の位置２５でのさまざまな目標圧力を表したものである。一実施の形態によれば、目標圧力１０２は圧力１００より低く、すなわち筐体２０内の圧力は、エンクロージャ６０内の位置６５での圧力より低い。別の実施形態によれば、目標圧力１０２は圧力１０４より高く、すなわち筐体２０内の圧力は、上方チャンバ４０内の圧力より高い。さらに別の実施形態によれば、目標圧力１０６は圧力１０４より低く設定され、すなわち筐体２０内の圧力は、上方チャンバ４０内の圧力より低く設定される。

上述した本発明の実施形態、特に任意の「好ましい」実施形態は、単に実施可能な例であって、本発明の種々の原理を明確に理解するための単なる説明であることを強調したい。本発明の精神および種々の原理から実質的に逸脱することなく、上述の本発明の実施形態に対して多くの変形および改変を作製することができる。全てのこのような改変および変形は、本書において本開示および本発明の範囲内に含まれ、そして以下の請求項によって保護されると意図されている。

２ 成形本体
２０ マッフルドア筐体
２１ 前面板
２２ 背面板
２３ 管
２４ 出口
２６ 通気孔
３０ 流体源
４０ 上方チャンバ
５０ 下方チャンバ
６０ ＦＤＭエンクロージャ

Claims (10)

1. 厚さ変動が減少したガラスシートを製造する方法であって、
   エンクロージャの内部に配置された成形本体から、ガラスリボンを延伸する工程、
   前記エンクロージャの内部に配置されかつ前記成形本体に面している筐体に、前記リボンの局部厚さを制御するために流体を送出する工程であって、該筐体の内部に出口を有する複数の管を通して流体源から流体を送出する工程を含む、該筐体に流体を送出する工程、
   前記筐体内の位置での第１圧力よりも、前記筐体の外側近傍でありかつ前記エンクロージャ内でもある第２位置での第２圧力が高くなるように、前記第１圧力および前記第２圧力を維持する工程であって、前記第１圧力を減少させるように、前記筐体から出て行く流体の流れを管理する工程を含む、該第１圧力よりも第２圧力が高くなるように維持する工程、および、
   前記リボンからガラスシートを切り離す工程、
   を含むことを特徴とする方法。
2. 前記筐体から出て行く流体の流れを管理する工程が、前記複数の管のうちの１以上を前記流体源から切断して、該切断された１以上の管を通して前記筐体から流体が流出し得るようにする工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
3. 前記筐体から出て行く流体の流れを管理する工程が、前記複数の管のうちの１以上を前記筐体から取り除いて、該複数の管のうちの１以上によって空いた孔を通して前記筐体から流体が流出し得るようにする工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
4. 前記筐体から出て行く流体の流れを管理する工程が、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機によって、前記筐体から流体を能動的に除去する工程を含むことを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の方法。
5. 前記筐体が内部に配置されている前記エンクロージャの部分の周りにチャンバが配置され、かつ、
   前記筐体を前記チャンバに受動的に連結させることによって、前記筐体から出て行く流体の流れを管理する工程、および、
   前記チャンバ内の第３圧力を、該第３圧力が前記第１圧力よりも低くなるように維持する工程、
   をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
6. ガラスを製造する装置において、
   先端部を有する成形本体であって、該先端部からガラスが延伸される、該成形本体、
   前記成形本体の前記先端部に面している前面壁を有する筐体であって、該筐体内の前記前面壁近傍位置に第１圧力が存在している、該筐体、
   出口を備え、該出口が前記筐体の内部に配置されている管、
   前記前面壁の温度を制御するよう前記出口から流体を送出するために、前記管に連結された流体源、および、
   前記成形本体および前記筐体を包囲しているエンクロージャであって、前記筐体の外側近傍でありかつ該エンクロージャ内でもある第２位置に第２圧力が存在している、該エンクロージャ、
   を備え、前記第２圧力が前記第１圧力よりも高いことを特徴とする装置。
7. 前記筐体が内部に配置されている前記エンクロージャの部分の周りに配置されたチャンバであって、該チャンバ内に第３圧力が存在している、該チャンバ、および、
   前記筐体と前記チャンバとの間の流体連通のために連結された第２管、
   をさらに備えていることを特徴とする請求項６記載の装置。
8. 前記筐体が内部に配置されている前記エンクロージャの部分の周りに配置されたチャンバであって、該チャンバ内に第３圧力が存在している、該チャンバ、および、
   前記筐体と前記チャンバ外の空間との間の流体連通のために連結された第２管、
   をさらに備えていることを特徴とする請求項６記載の装置。
9. 前記第１圧力が前記第３圧力よりも高いことを特徴とする請求項７または８記載の装置。
10. 前記第２管または前記筐体と流体連通して配置された、真空機器、ポンプ、送風機、ファン、または圧縮機のうちの１つをさらに備えていることを特徴とする請求項６から９いずれか１項記載の装置。

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