JP2011112582A - コンデンサの絶縁抵抗の検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の目的は、短時間にコンデンサの絶縁抵抗を測定して良否を判定する検査装置および検査方法を提供することにある。
【解決手段】検査装置１０は、コンデンサ１２に直列接続される検査用抵抗ｒ、コンデンサ１２と検査用抵抗ｒに電圧を印加する電源Ｅ、検査用抵抗ｒの両端電圧を測定する電圧計１４、絶縁抵抗Ｒの良否を判定する判定手段１６を備える。検査装置２０は、コンデンサ１２に電圧を印加する電源Ｅ、コンデンサ１２の両端電圧を測定する電圧計２４、絶縁抵抗Ｒの良否を判定する判定手段２６を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、コンデンサの絶縁抵抗の良否を検査する装置および方法に関するものである。

種々の電気製品にコンデンサが使用されている。コンデンサの電極間の抵抗値は理論的に無限大であるが、実際には電極間にわずかの漏れ電流が存在するため、有限の抵抗値となる。この電極間の抵抗は絶縁抵抗と呼ばれている。

コンデンサの静電容量によって絶縁抵抗の最低値が規定されている。また、絶縁抵抗値が高いほど直流電圧印加時に漏れ電流が小さくなり、コンデンサとしての性能が良い。そのため、コンデンサの製造時にコンデンサの絶縁抵抗を検査している（下記の非特許文献１）。絶縁抵抗の検査は、絶縁抵抗計でコンデンサに規定電圧を規定時間印加し、そのときの絶縁抵抗を計測することにより、絶縁抵抗の良否を検査している。

しかし、１台の絶縁抵抗計では、１個のコンデンサの絶縁抵抗しか検査できない。絶縁抵抗計は高価なため、複数の絶縁抵抗計を用いて同時に複数のコンデンサを検査すると、検査コストが高くなる。絶縁抵抗計の性能のバラツキを考慮して規定時間（１分）の電圧印加が必要であり、検査に時間がかかる。全数検査をおこなうと、全てのコンデンサの検査が終了するのに時間がかかる。

日本規格協会 ＪＩＳ Ｃ５１０１−１ ４．５ １９９８年発行

本発明の目的は、短時間にコンデンサの絶縁抵抗を測定して良否を判定する検査装置および検査方法を提供することにある。

コンデンサの絶縁抵抗の検査装置は、前記コンデンサに直列接続される検査用抵抗と、前記コンデンサおよび検査用抵抗に対して電圧を印加する電源と、前記検査用抵抗の両端電圧を測定する電圧計と、前記検査用抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧を使用して絶縁抵抗の良否を判定する手段とを備える。

前記絶縁抵抗の良否を判定する手段は、前記抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧から絶縁抵抗の抵抗値を求め、前記コンデンサに電圧を印加してから一定時間内に所定抵抗値にならない絶縁抵抗を不良と判定し、前記一定時間内に所定抵抗値になった時点で絶縁抵抗を良品と判定し、所定抵抗値になった時点で検査を終了する。

複数の前記検査用抵抗が並列に接続され、各検査用抵抗にそれぞれコンデンサが直列接続される。

コンデンサの絶縁抵抗の検査方法は、前記コンデンサを検査用抵抗に直列接続するステップと、前記コンデンサおよび検査用抵抗に電源から電圧を印加するステップと、電圧計が、前記検査用抵抗の両端電圧を測定するステップと、前記検査用抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧を使用して絶縁抵抗の良否を判定するステップとを備える。

前記良否を判定するステップは、前記検査用抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧から絶縁抵抗の抵抗値を求めるステップと、前記コンデンサに電圧を印加してから一定時間内に所定抵抗値にならない絶縁抵抗を不良と判定するステップと、前記一定時間内に所定抵抗値になった時点で絶縁抵抗を良品と判定し、所定抵抗値になった時点で検査を終了するステップとを備える。

複数の前記検査用抵抗が並列接続されており、前記直列接続するステップが、各検査用抵抗にそれぞれコンデンサを直列接続するステップを含む。

コンデンサの絶縁抵抗の検査装置は、前記コンデンサに対して一定時間充電のために電圧を印加する電源と、前記コンデンサの一定時間充電後と一定時間放電後にコンデンサの両端電圧を測定する電圧計と、前記一定時間充電後の両端電圧と一定時間放電後の両端電圧の差から絶縁抵抗の良否を判定する手段とを備える。

前記絶縁抵抗の良否を判定する手段は、前記差から絶縁抵抗の抵抗値を求め、所定抵抗値に満たない絶縁抵抗を不良と判定する。

複数のコンデンサを並列に接続し、前記電源から複数のコンデンサに同時に電圧を印加する。

複数のコンデンサごとにブロックに分け、該ブロックごとに電源からコンデンサに電圧を印加する。

コンデンサの絶縁抵抗の検査方法は、前記コンデンサに対して電源から電圧を一定時間印加し、充電をおこなうステップと、電圧計が、前記コンデンサの一定時間充電後と一定時間放電後にコンデンサの両端電圧を測定するステップと、絶縁抵抗の良否を判定する手段が、前記一定時間充電後の両端電圧と一定時間放電後の両端電圧の差から絶縁抵抗の良否を判定するステップとを備える。

前記良否を判定するステップは、前記差から絶縁抵抗の抵抗値を求めるステップと、所定抵抗値に満たない絶縁抵抗を不良と判定するステップとを備える。

前記充電をおこなうステップが、複数のコンデンサを並列に接続するステップと、前記電源から複数のコンデンサに同時に電圧を印加するステップとを備える。

複数のコンデンサごとにブロックに分け、前記充電をおこなうステップを該ブロックごとにおこなう。

本発明によると、規定時間内に規定の絶縁抵抗になれば検査を終了できる。そのため、短時間で検査を終了することができる。複数のコンデンサを並列接続して検査をすることができるため、複数のコンデンサを短時間で検査をすることができる。

コンデンサの両端電圧を２回測定することによって絶縁抵抗の検査を終了できる。両端電圧を測定する間隔を短くすると、短時間で検査を終了できる。また、複数のコンデンサを並列接続したり、複数のコンデンサをブロックに分けて検査をすることができるため、コンデンサの製造装置に合わせて柔軟に検査数を変更することができる。

本発明の検査装置の構成を示す図である。 コンデンサの等価回路を示す図であり、（ａ）は等価直列抵抗を含む等価回路であり、（ｂ）は等価直列抵抗を無視した等価回路である。 充電時間と絶縁抵抗の関係を示す図である。 図１の検査装置において、複数のコンデンサを検査できるように変形した検査装置の構成を示す図である。 本発明の検査装置の構成を示す図である。 図５の検査装置において、複数のコンデンサを検査できるように変形した検査装置の構成を示す図である。 複数のブロックに対して順番に検査をおこなう場合の動作フローを示す図である。

本発明のコンデンサの絶縁抵抗の検査装置および検査方法について図面を用いて説明する。

図１に示す検査装置１０は、コンデンサ１２に直列接続される検査用抵抗ｒ、コンデンサ１２と検査用抵抗ｒに電圧を印加する電源Ｅ、検査用抵抗ｒの両端電圧を測定する電圧計１４、絶縁抵抗Ｒの良否を判定する判定手段１６を備える。

コンデンサ１２の等価回路を図２（ａ）に示す。コンデンサ１２は、容量Ｃ、容量Ｃに直列接続された等価直列抵抗Ｒｓ、容量Ｃおよび等価直列抵抗Ｒｓに並列接続された絶縁抵抗Ｒからなる。ここで、等価直列抵抗Ｒｓは、絶縁抵抗Ｒに対して十分小さいため、図２（ｂ）に示すように、漏れ電流を考えるときに無視できる。

電源Ｅは直流電圧を出力し、コンデンサ１２と検査用抵抗ｒに直流電圧を印加する。電圧計１４は、検査用抵抗ｒに並列接続され、検査用抵抗ｒの両端電圧を測定する。

判定手段１６は、絶縁抵抗ｒを求め、絶縁抵抗ｒの良否を判定する。絶縁抵抗ｒを求めるために、電圧計１４で測定された両端電圧、検査用抵抗ｒの抵抗値、および電源Ｅの出力電圧の３つの値を使用する。判定手段１６は、後述する計算などをおこなうことができるマイクロコンピュータなどである。

ここで、コンデンサ１２は絶縁抵抗Ｒと検査用抵抗ｒとの分圧比以上には充電されない。フル充電されると、容量Ｃへの充電電流は０となる。電源Ｅの出力電圧をＥ、検査用抵抗ｒに流れる電流をＩとすると、Ｅ＝（Ｒ＋ｒ）Ｉの関係が成り立つ。したがって、絶縁抵抗Ｒは数式１のようになる。電圧計１４で測定される検査用抵抗ｒの両端電圧をＶとすると、数式１は数式２のようになる。

電源Ｅの出力電圧と検査用抵抗ｒの抵抗値は、検査装置１０の設計時に既知である。そのため、検査用抵抗ｒの両端電圧Ｖを測定すれば絶縁抵抗Ｒが求められる。判定手段１６は、電源Ｅの出力電圧と検査用抵抗ｒの抵抗値をメモリに記憶しておき、電圧計１４から両端電圧Ｖの値を取得し、数式２を使用して絶縁抵抗Ｒを求める。

また、コンデンサ１２への充電時間と絶縁抵抗Ｒとの関係は図３のようになる。絶縁抵抗Ｒが高いほど、漏れ電流が小さく、短時間で充電が完了する。したがって、規定の絶縁抵抗値を示すコンデンサ１２は、充電を開始してから規定時間（１分）を待たずに充電を終了することができる。判定手段１６は、規定時間内に規定抵抗値になったコンデンサ１２を良品と判定し、規定抵抗値にならなかったコンデンサ１２を不良品と判定する。

さらに検査装置１０は、コンデンサ１２に直列接続される第１スイッチＳａと、コンデンサ１２と並列接続される放電用抵抗ｒｄと、コンデンサ１２と放電用抵抗ｒｄとを接続するための第２スイッチＳｂとを備える。各スイッチＳａ、ＳｂはＦＥＴなどのスイッチング素子が使用可能である。判定手段１６に使用するマイクロコンピュータなどによってスイッチングを制御する。

絶縁抵抗Ｒの検査をおこなうときには第１スイッチＳａがオンになり、第２スイッチＳｂがオフになる。検査が終了すると、第１スイッチＳａをオフにし、第２スイッチＳｂをオンにする。検査の終了後、コンデンサ１２が放電用抵抗ｒｄに接続されて、コンデンサ１２の電荷が放電される。検査後のコンデンサ１２の安全性を確保するためである。

上述した検査装置１０を使用した検査方法を説明する。（１）コンデンサ１２を検査用抵抗ｒに直列接続する。（２）コンデンサ１２と検査用抵抗ｒに電源Ｅから電圧を印加する。（３）電圧計１４が検査用抵抗ｒの両端電圧を測定する。（４）判定手段１６が、検査用抵抗ｒの両端電圧、検査用抵抗ｒの抵抗値、電源Ｅの出力電圧を使用して絶縁抵抗Ｒの良否を判定する。

上記（１）〜（４）では第１スイッチＳａをオンにして、第２スイッチＳｂはオフにする。上記（３）では、常時両端電圧を測定しても良いし、一定時間（例えば１０秒）ごとに両端電圧を測定しても良い。上記（４）では、数式２を使用して絶縁抵抗Ｒを求める。このとき、規定時間内に規定抵抗値を示さなければ不良品と判定する。規定時間内に規定抵抗値となれば、その時点で良品と判定し、検査を終了する。例えば、１つのコンデンサ１２に対して平均３０秒で検査が終了できるとすると、従来の検査の規定時間（１分）の半分で検査が終了できる。

以上のように、良品に対しては、規定時間内で検査を終了することができるため、検査時間を短縮することができる。多くのコンデンサ１２の検査をすればするほど、従来との検査時間の差が大きくなる。

上記（４）の工程終了後、第１スイッチＳａをオフ、第２スイッチＳｂをオンにして、コンデンサ１２と放電用抵抗ｒｄとを接続する。コンデンサ１２の電荷を放電し、コンデンサ１２を取り外す。

また、図４の検査装置１０ｂのように、複数の検査用抵抗ｒを並列接続してもよい。各検査用抵抗ｒにコンデンサ１２が直列接続される。電圧計１４は各検査用抵抗ｒの両端電圧を測定する。判定手段１６は、各検査用抵抗ｒの両端電圧、各検査用抵抗ｒの抵抗値、電源Ｅの出力電圧を使用して、各コンデンサ１２の絶縁抵抗Ｒを求める。絶縁抵抗Ｒの求め方は、数式２の方法と同じである。

検査装置１０ｂによって、複数のコンデンサ１２に同時に電圧を印加して、同時に絶縁抵抗Ｒを検査する。絶縁抵抗Ｒの検査方法は、図１の検査装置１０と同じである。検査が終了したコンデンサ１２から順にコンデンサ１２を取り替える。良品であれば、規定時間内に検査が終了し、コンデンサ１２を取り替えることができる。

例えば、１０個のコンデンサ１２を同時に検査するとする。１個のコンデンサ１２の検査にかかる平均時間を３０秒とすれば、平均３０秒で１０個のコンデンサ１２の検査を終了できることとなる。従来、１０個のコンデンサの検査に１０分必要だったが、本発明はかなりの時間短縮となる。また、検査の終了したコンデンサ１２から次のコンデンサ１２に取り替えて検査をおこなうことができるため、さらに検査時間の短縮が可能である。

次に、図５の検査装置２０について説明する。検査装置２０は、コンデンサ１２に電圧を印加する電源Ｅ、コンデンサ１２の両端電圧を測定する電圧計２４、絶縁抵抗Ｒの良否を判定する判定手段２６を備える。

電源Ｅは直流電源である。電源Ｅによってコンデンサ１２に一定時間電圧を印加して、コンデンサ１２を充電する。この充電によってコンデンサ１２がフル充電されるようにする。コンデンサ１２と直列に第１スイッチＳａを接続し、電圧の印加時に第１スイッチＳａがオンになるようにする。

電圧計２４は、充電直後と一定時間放電後のコンデンサ１２の両端電圧を測定する。コンデンサ１２と電圧計２４は並列接続され、その接続のオン・オフをおこなうための第２スイッチＳｂが設けられる。両端電圧を測定するときに第２スイッチＳｂがオンになる。電圧計２４の内部抵抗は絶縁抵抗Ｒに対して十分高いものを使用する。

判定手段２６は、充電直後の両端電圧と一定時間放電後の両端電圧の差から絶縁抵抗Ｒの良否を判定する。判定手段２６はマイクロコンピュータなどを使用することができる。

ここで、コンデンサ１２がフル充電された直後は、コンデンサ１２の両端電圧がＥであるとする。充電後、第１スイッチＳａをオフにすることによって、絶縁抵抗Ｒに電流が流れて電荷が消費される。充電後、ｔ秒自己放電時のコンデンサ１２の両端電圧をＶとすると、両端電圧Ｖは数式３のようになる。数式３は、充電完了直後とｔ秒自己放電時の両端電圧の差分となっている。また、数式３を変形すると、絶縁抵抗Ｒは数式４となる。

コンデンサ１２の容量Ｃと自己放電時間ｔは、検査装置２０の設計時に既知である。そのため、コンデンサ１２の両端電圧Ｖを測定することによって絶縁抵抗Ｒが求められる。判定手段２６は、コンデンサ１２の容量Ｃと自己放電時間ｔをメモリに記憶しておき、電圧計２４からコンデンサ１２の両端電圧Ｖの値を取得し、数式４を使用して絶縁抵抗Ｒを求める。判定手段２６は、規格抵抗値以上の絶縁抵抗２６を良品と判定し、規格抵抗値に満たない絶縁抵抗Ｒを不良と判定する。

例えば、充電電圧Ｅを１００Ｖ、自己放電時間ｔを１０秒、放電１０秒後のコンデンサの両端電圧Ｖを９９．９５Ｖとすると、絶縁抵抗Ｒは１ＧΩとなる。

さらに、コンデンサ１２と並列接続された放電用抵抗ｒｄ、コンデンサ１２と放電用抵抗ｒｄを接続する第３スイッチＳｃを備えても良い。検査が終了すると、コンデンサ１２の電荷を放電するために、第３スイッチＳｃをオンにする。コンデンサ１２が放電用抵抗ｒｄに接続されて、コンデンサ１２の電荷を放電することができる。各スイッチＳａ、Ｓｂ、Ｓｃは、ＦＥＴなどのスイッチング素子を使用することができる。判定手段２６に使用するマイクロコンピュータなどによってスイッチングを制御する。

上述した検査装置２０を使用した検査方法を説明する。（１）第１スイッチＳａをオンにして、コンデンサ１２に一定時間電圧を印加する。（２）コンデンサ１２を充電直後に、第１スイッチＳａをオフにしてコンデンサ１２を電源Ｅから切り離し、かつ、第２スイッチＳｂをオンにしてコンデンサ１２の両端電圧を測定する。（３）第２スイッチＳｂをオフにしてコンデンサ１２の電荷を一定時間放電させる。（４）電圧計２４が、コンデンサ１２を一定時間放電させた時の両端電圧を測定する。（５）判定手段２６が、数式４を使用して絶縁抵抗Ｒの良否を判定する。

上記（２）においてコンデンサ１２の両端電圧を測定するだけでなく、充電の確認もおこなう。所定の電圧になっていなければ、その時点で不良と判定しても良い。

充電時間や自己放電時間を適宜設定することによって、従来の充電時間（１分）よりも短くすることができる。そのため、従来よりも短時間で絶縁抵抗Ｒが求められる。

上記（５）の後、第３スイッチＳｃをオンにして、コンデンサ１２と放電用抵抗ｒｄとを接続する。放電用抵抗ｒｄでコンデンサ１２の電荷を放電する。

また、図６の検査装置２０ｂのように、複数のコンデンサ１２を並列に接続してもよい。各コンデンサ１２に電圧計２４が接続される。コンデンサ１２への電圧印加と両端電圧の測定は同時におこなわれ、判定手段２６が全ての両端電圧を得て、各コンデンサ１２の絶縁抵抗Ｒの良否を判定する。

複数のコンデンサ１２に対して同時に絶縁抵抗Ｒの不良を判定することができる。従来に比べて絶縁抵抗Ｒの検査時間が短縮できる。

さらに、並列接続された複数のコンデンサ１２ごとにブロックＢとし、複数のブロックＢを並列接続してもよい。ブロックＢごとに第１スイッチＳａを制御して、電源Ｅからコンデンサ１２に電圧を印加する。検査方法は、上記の方法と同じである。各ブロックＢに順番に電圧を印加するのであれば、１つのブロックＢの検査の終了を待たずに他のブロックＢの検査をおこなうことができ、時間の短縮となる（図７）。

コンデンサ１２の製造装置に合わせて、ブロックＢの数やブロックＢに含まれるコンデンサ１２の数を設計することができる。検査時間の短縮と時間あたりの検査数量を柔軟に変更することができる。

例えば、コンデンサ１２の充電時間を１０秒、コンデンサ１２の自己放電から放電用抵抗ｒｄでの放電終了までを３０秒とすると、４０秒で検査が終了する。１つのブロックＢのコンデンサ１２の数を１０個とすれば、１０個のコンデンサ１２を４０秒で検査できる。さらに図７のように、１つのブロック１２の充電が終わった後、次のブロック１２の充電をおこなえば、２０個のコンデンサ１２を５０秒で検査できる。従来、２０個のコンデンサ１２を１個ずつ検査した場合、２０分必要であったが、１／２０以下の時間で検査が終了する。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることはない。数式２では、検査用抵抗ｒの両端電圧Ｖを使用したが、判定手段２６が検査用抵抗ｒに流れる電流値Ｉを求めて、数式１を使用して計算しても良い。

図５の検査装置２０では、上記（２）のように充電直後のコンデンサ１２の両端電圧を計測していたが、（２）の工程をとばしても良い。充電直後の両端電圧が既知であれば、その既知の両端電圧を使用して数式４の計算をおこなう。数式４の結果が所定値になっていなければ、不良と判定できる。

その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。

１０、１０ｂ、２０、２０ｂ：検査装置
１２：コンデンサ
１４、２４：電圧計
１６、２６：判定手段
Ｅ：電源
Ｒ：絶縁抵抗
ｒ：検査用抵抗

Claims (14)

1. コンデンサの絶縁抵抗の検査装置であって、
   前記コンデンサに直列接続される検査用抵抗と、
   前記コンデンサおよび検査用抵抗に対して電圧を印加する電源と、
   前記検査用抵抗の両端電圧を測定する電圧計と、
   前記検査用抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧を使用して絶縁抵抗の良否を判定する手段と、
   を備えた検査装置。
2. 前記絶縁抵抗の良否を判定する手段が、
   前記抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧から絶縁抵抗の抵抗値を求め、
   前記コンデンサに電圧を印加してから一定時間内に所定抵抗値にならない絶縁抵抗を不良と判定し、
   前記一定時間内に所定抵抗値になった時点で絶縁抵抗を良品と判定し、所定抵抗値になった時点で検査を終了する
   請求項１の検査装置。
3. 複数の前記検査用抵抗が並列に接続され、各検査用抵抗にそれぞれコンデンサが直列接続される請求項１または２の検査装置。
4. コンデンサの絶縁抵抗の検査方法であって、
   前記コンデンサを検査用抵抗に直列接続するステップと、
   前記コンデンサおよび検査用抵抗に電源から電圧を印加するステップと、
   電圧計が、前記検査用抵抗の両端電圧を測定するステップと、
   前記検査用抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧を使用して絶縁抵抗の良否を判定するステップと、
   を備えた検査方法。
5. 前記良否を判定するステップが、
   前記検査用抵抗の両端電圧、検査用抵抗の抵抗値、電源の出力電圧から絶縁抵抗の抵抗値を求めるステップと、
   前記コンデンサに電圧を印加してから一定時間内に所定抵抗値にならない絶縁抵抗を不良と判定するステップと、
   前記一定時間内に所定抵抗値になった時点で絶縁抵抗を良品と判定し、所定抵抗値になった時点で検査を終了するステップと、
   を備えた請求項４の検査方法。
6. 複数の前記検査用抵抗が並列接続されており、前記直列接続するステップが、各検査用抵抗にそれぞれコンデンサを直列接続するステップを含む請求項４または５の検査方法。
7. コンデンサの絶縁抵抗の検査装置であって、
   前記コンデンサに対して一定時間充電のために電圧を印加する電源と、
   前記コンデンサの一定時間充電後と一定時間放電後にコンデンサの両端電圧を測定する電圧計と、
   前記一定時間充電後の両端電圧と一定時間放電後の両端電圧の差から絶縁抵抗の良否を判定する手段と、
   を備えた検査装置。
8. 前記絶縁抵抗の良否を判定する手段が、
   前記差から絶縁抵抗の抵抗値を求め、所定抵抗値に満たない絶縁抵抗を不良と判定する
   請求項７の検査装置。
9. 複数のコンデンサを並列に接続し、前記電源から複数のコンデンサに同時に電圧を印加する請求項７または８の検査装置。
10. 複数のコンデンサごとにブロックに分け、該ブロックごとに電源からコンデンサに電圧を印加する請求項９の検査装置。
11. コンデンサの絶縁抵抗の検査方法であって、
    前記コンデンサに対して電源から電圧を一定時間印加し、充電をおこなうステップと、
    電圧計が、前記コンデンサの一定時間充電後と一定時間放電後にコンデンサの両端電圧を測定するステップと、
    絶縁抵抗の良否を判定する手段が、前記一定時間充電後の両端電圧と一定時間放電後の両端電圧の差から絶縁抵抗の良否を判定するステップと、
    を備えた検査方法。
12. 前記良否を判定するステップが、
    前記差から絶縁抵抗の抵抗値を求めるステップと、
    所定抵抗値に満たない絶縁抵抗を不良と判定するステップと、
    を備えた請求項１１の検査方法。
13. 前記充電をおこなうステップが、
    複数のコンデンサを並列に接続するステップと、
    前記電源から複数のコンデンサに同時に電圧を印加するステップと、
    を備えた請求項１１または１２の検査方法。
14. 複数のコンデンサごとにブロックに分け、前記充電をおこなうステップを該ブロックごとにおこなう請求項１３の検査方法。

Images