JP2011103359A - 固体撮像素子および電子情報機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトダイオード2、転送ゲート3および多層配線層4の単位画素毎の配置関係が画素アレイ水平方向中心線D1に対して左右で線対称および/または、フォトダイオード2、転送ゲート3および多層配線層4の単位画素毎の配置関係が画素アレイ垂直方向中心線D2に対して上下で線対称であるため、左斜め上からの入射光方向と右斜め上からの入射光方向のいずれに対しても、開口部6の中心とフォトダイオード2の受光領域中心との位置ずれ方向が同じ方向にずれている。この開口部6のフォトダイオード2に対する位置ずれによって、画素アレイ左側と画素アレイ右側または/および画素アレイ上側と画素アレイ下側で共に入射光を良好にフォトダイオード2に入射させることができる。
【選択図】図1
Description
図1(a)〜図1(c)はそれぞれ、本発明の実施形態1における固体撮像素子の画素アレイにおける画素の配置例を示す平面模式図である。図2(a)は図1(a)の画素アレイ1を具体的に示す平面図である。
図4は、本発明の実施形態2として、本発明の実施形態1の固体撮像素子10を含む固体撮像装置を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
2 フォトダイオード(受光部)
21 表面P+層
3 転送ゲート(転送ゲート部)
4 多層配線層
41 1層目のメタル配線
42 2層目のメタル配線
5 素子分離領域
6 開口部
10 固体撮像素子
C1 左斜め上方向からの入射光
C2 右斜め上方向からの入射光
D1 画素アレイ水平方向中心線
D2 画素アレイ垂直方向中心線
90 電子情報機器
91 固体撮像装置
92 メモリ部
93 表示手段
94 通信手段
95 画像出力手段
Claims (19)
- 入射光を光電変換して信号電荷を生成する複数の受光部上をそれぞれ開口部で開口するように多層配線層が設けられた固体撮像素子において、正逆のいずれの斜め入射光方向に対しても、該開口部の中心と該受光部の受光領域中心との位置ずれ方向が同じ方向にずれている固体撮像素子。
- 入射光を光電変換して信号電荷を生成する複数の受光部と、該受光部から信号電荷を読み出すための転送ゲート部と、該受光部上を開口部で開口するように配設された多層配線層とを有する固体撮像素子において、該受光部、該転送ゲート部および該多層配線層の単位画素毎の配置関係が画素アレイ水平方向中心線に対して左右で線対称である固体撮像素子。
- 入射光を光電変換して信号電荷を生成する複数の受光部と、該受光部から信号電荷を読み出すための転送ゲート部と、該受光部上を開口部で開口するように配設された多層配線層とを有する固体撮像素子において、該受光部、該転送ゲート部および該多層配線層の単位画素毎の配置関係が画素アレイ垂直方向中心線に対して上下で線対称である固体撮像素子。
- 入射光を光電変換して信号電荷を生成する複数の受光部と、該受光部から信号電荷を読み出すための転送ゲート部と、該受光部上を開口部で開口するように配設された多層配線層とを有する固体撮像素子において、該受光部、該転送ゲート部および該多層配線層の単位画素毎の配置関係が、画素アレイ水平方向中心線に対して左右で線対称であると共に、画素アレイ垂直方向中心線に対して上下で線対称である固体撮像素子。
- 正逆のいずれの斜め入射光方向に対しても、前記開口部の中心と前記受光部の受光領域中心との位置ずれ方向が同じ方向にずれている請求項2〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記斜め入射光が前記複数の受光部で均一に入射するように、前記開口部の中心が前記受光部の中心に対して位置ずれている請求項1または5に記載の固体撮像素子。
- 前記画素アレイが前記画素アレイ水平方向中心線で2分割される右側領域と左側領域はそれぞれ、前記受光部、前記転送ゲート部および前記多層配線層の単位画素毎の配置関係が同じである請求項2に記載の固体撮像素子。
- 前記画素アレイが前記画素アレイ垂直方向中心線で2分割される上側領域と下側領域はそれぞれ、前記受光部、前記転送ゲート部および前記多層配線層の単位画素毎の配置関係が同じである請求項3に記載の固体撮像素子。
- 前記画素アレイが前記画素アレイ水平方向中心線で左右に2分割され、前記画素アレイが前記画素アレイ垂直方向中心線で上下に2分割されて合計4分割された上左側領域、下左側領域、上右側領域および下右側領域はそれぞれ、前記受光部、前記転送ゲート部および前記多層配線層の単位画素毎の配置関係が同じである請求項4に記載の固体撮像素子。
- 前記多層配線層の上方に前記複数の受光部のそれぞれに対応するように所定の色配列が為された各色のカラーフィルタと、該各色のカラーフィルタ上に、該複数の受光部にそれぞれ入射光を集光させるための複数のマイクロレンズとをさらに有する請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記複数の受光部上をそれぞれ開口した開口部内に、上面から見て、平面視で前記転送ゲート部の一部または全部が入るように該開口部の開口サイズが設定されている請求項2〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記複数の受光部上をそれぞれ開口した開口部内に、前記マイクロレンズからの集光スポットが納まるように該開口部の開口サイズが設定されている請求項10に記載の固体撮像素子。
- 前記各色のカラーフィルタのうち、隣の色のカラーフィルタから斜め入射された入射光が、隣接する別の色のカラーフィルタに対応した受光部に入射されないように、前記受光部上を開口する開口サイズが設定されている請求項10に記載の固体撮像素子。
- 画角位置の中央に対して左右対称のシェーディングカーブが得られるように、前記開口部の前記受光部に対する開口位置および開口サイズが設定されている請求項2〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記受光部から信号電荷を読み出すための転送ゲート部により前記受光部の受光領域の形状に方向性が与えられている請求項1〜5のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記受光部から信号電荷を読み出すための転送ゲート部により読み出された信号電荷を電圧に変換する電荷検出部と、該電荷検出部で変換された電圧に応じて増幅して撮像信号を出力する信号読出回路とを有するCMOSイメージセンサである請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記信号読出回路を構成する各素子が前記多層配線層により互いに接続されている請求項16に記載の固体撮像素子。
- 単位画素の中心位置と前記受光部の中心位置とが一致し、かつ該単位画素の中心位置が上下方向および左右方向に等ピッチになるように前記複数の受光部が配列されている請求項1〜4のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 請求項1〜18のいずれかに記載の固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた電子情報機器。
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---|---|
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6444098A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Fujikura Ltd | Superconducting electromagnetic shielding material |
JP2014029984A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-02-13 | Canon Inc | 固体撮像素子及び撮像装置 |
JP2016115815A (ja) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | キヤノン株式会社 | 撮像装置および撮像システム |
JP2017054966A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2017055127A (ja) * | 2016-10-28 | 2017-03-16 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および電子機器 |
US9893106B2 (en) | 2013-05-24 | 2018-02-13 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
JP2018129525A (ja) * | 2018-03-28 | 2018-08-16 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および電子機器 |
CN110235433A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-09-13 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 像素阵列排布方法、像素阵列、图像传感器和终端 |
WO2019193809A1 (ja) * | 2018-04-05 | 2019-10-10 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像装置 |
JP2020113573A (ja) * | 2019-01-08 | 2020-07-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
WO2023080011A1 (ja) * | 2021-11-08 | 2023-05-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006040963A1 (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-20 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 固体撮像装置 |
JP2007324440A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
JP2009064924A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Sharp Corp | 固体撮像素子および電子情報機器 |
-
2009
- 2009-11-10 JP JP2009257470A patent/JP2011103359A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006040963A1 (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-20 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 固体撮像装置 |
JP2007324440A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置 |
JP2009064924A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Sharp Corp | 固体撮像素子および電子情報機器 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6444098A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Fujikura Ltd | Superconducting electromagnetic shielding material |
JP2014029984A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-02-13 | Canon Inc | 固体撮像素子及び撮像装置 |
US10615207B2 (en) | 2013-05-24 | 2020-04-07 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US9893106B2 (en) | 2013-05-24 | 2018-02-13 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US11894406B2 (en) | 2013-05-24 | 2024-02-06 | Sony Group Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US10319769B2 (en) | 2013-05-24 | 2019-06-11 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US11569286B2 (en) | 2013-05-24 | 2023-01-31 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
JP2016115815A (ja) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | キヤノン株式会社 | 撮像装置および撮像システム |
US9900530B2 (en) | 2014-12-15 | 2018-02-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensing system |
JP2017054966A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2017055127A (ja) * | 2016-10-28 | 2017-03-16 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および電子機器 |
JP2018129525A (ja) * | 2018-03-28 | 2018-08-16 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および電子機器 |
WO2019193809A1 (ja) * | 2018-04-05 | 2019-10-10 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像装置 |
US11805324B2 (en) | 2018-04-05 | 2023-10-31 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device and image-capturing apparatus |
JP2020113573A (ja) * | 2019-01-08 | 2020-07-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
CN110235433A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-09-13 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 像素阵列排布方法、像素阵列、图像传感器和终端 |
WO2023080011A1 (ja) * | 2021-11-08 | 2023-05-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
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