JP2011091029A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 接点（１０２）と；
   実質的に金属材料から形成され且つ時間依存変形を抑止するように構成された導電性素子（１０４）とを具備し、前記導電性素子は、前記導電性素子が前記接点から離間される第１の位置と、前記導電性素子が前記接点と接触する第２の位置との間で変形可能であるように構成され、
   前記金属材料は、前記金属材料の降伏強さの少なくとも約２５％の応力及び前記金属材料の溶融温度の１／２以下の温度にさらされた場合に１０ ^-12 ｓ^-1未満の最大定常状態塑性歪み速度を示すように構成される、装置。
2. 前記導電性素子は、片持ち梁、両持ち梁、ねじり素子及びダイアフラムより成る群から選択された構造を含む、請求項１記載の装置。
3. 前記接点及び前記導電性素子は、超小型電気機械装置又はナノ電気機械装置の一部である、請求項１または２に記載の装置。
4. 前記金属材料が７００℃以上の溶融温度を有する、請求項１乃至３のいずれかに記載の装置。
5. 前記金属材料が４０℃を超える温度で時間依存変形を抑止するように構成される、請求項１乃至４のいずれかに記載の装置。
6. 基板（１０８）を更に具備し、前記接点及び前記導電性素子の各々は、前記基板の上に配設される、請求項１乃至５のいずれかに記載の装置。
7. 前記金属材料が少なくともニッケル及びタングステンの合金を含む、請求項１乃至６のいずれかに記載の装置。
8. 異なる電位の第１の側（１１６）及び第２の側（１１８）を有する回路（１１４）を更に具備し、前記導電性素子が第１の位置と第２の位置との間で変形することにより、前記導電性素子に電流を流すか又は前記導電性素子を流れる電流を遮断するように、前記接点及び前記導電性素子のうち一方は、前記回路の第１の側及び第２の側のうち一方の側に接続され且つ前記接点及び前記導電性素子のうち他方は、前記回路の第１の側及び第２の側のうち他方の側に接続される、請求項１乃至７のいずれかに記載の装置。
9. 第１の側は、１ｍＡ以上の大きさ及び約１ｋＨｚ以下の振動周波数を有する電流を供給するように構成された電源（１２０）を含む、請求項８記載の装置。
10. 前記導電性素子は、前記金属材料の溶融温度の３０％未満の周囲温度で前記導電性素子に電流を流すか又は前記導電性素子を流れる電流を遮断するために第１の位置と第２の位置との間で変形されるように構成される、請求項８記載の装置。