JP2011089834A - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】幅方向に検査領域を分割しなくても精度良く検査することができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】欠陥検出部と、中間データテーブルと、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報と中間データテーブルの欠陥位置情報との位置を比較する比較部と、周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する周期欠陥候補検出部と、周期判定精度の範囲内の位置である場合は、比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップする更新部と、カウントアップされた後の周期判定数が周期判定基準値以上であるか否かを判定する基準値判定部と、周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出する周期欠陥判定部と、検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するリセット部を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、金属板、フィルム、不織布、樹脂板等の連続シート状の検査対象物に使用される、キズ、汚れ等の欠陥のうち周期欠陥を検出する欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。

連続シート状の検査対象物に照明装置からの光を照射し、その反射光あるいは透過光を受光器で撮像し、その画像信号を適当な画像処理装置で処理し、欠陥情報を抽出する欠陥検出装置を用いて、検査対象物の欠陥検査が行われている。

連続シート状物の製造ラインにおいては、搬送、延伸等のためにいくつものロールが使用されており、このロールにキズが発生したり、ゴミ等が付着したりすると、連続シート状物の表面に、欠陥がロールの周囲長の間隔で周期的に発生することになる。
したがって、このような連続シート状物の欠陥検査においては、周期性のある欠陥（周期欠陥）の検出に対するニーズがある。すなわち、欠陥検出装置にて周期欠陥が発生したことを判定し、その周期を作業者に通知することができれば、早期に周期欠陥の発生箇所（ロール）を特定することができる。このように、周期欠陥の情報をただちに製造ラインにフィードバックすることができれば、生産性の向上を図ることが可能となる。

連続シート状物が検査対象である欠陥検出装置においては、周期的に発生する欠陥の検出が行われている。例えば、下記の特許文献１では、周期欠陥検出技術が開示されている。この周期欠陥検出技術は、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報に基づいて、検査対象物の移動方向に沿って分割された複数の検査領域のうち、検出された欠陥がどの検査領域に位置するかを判定する領域判定部を有することを特徴とする技術である。

この技術は、下記の特徴を有している。
（１）欠陥情報を記憶するために大きな一時記憶領域を用意する必要がないこと
（２）リアルタイム処理が可能であること
（３）周期長が不明な場合でも、周期欠陥の発生位置と周期長を測定できること
（４）複数の周期長を分類できること

特開２００４−２４５７２０号公報

しかしながら、上述した技術では、下記の問題点があった。
（１）検査領域数を多くすると幅方向において、検査領域の境界が増えるため、検査領域にまたがる欠陥が発生しやすくなり周期判定できない場合が生じる可能性がある。
（２）一方、検査領域数を少なくすると、欠陥位置がx方向に離れていても周期欠陥と誤判定する場合がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、幅方向に検査領域を分割しなくても精度良く検査することができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することにある。

上述した課題を解決するために、本発明は、移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得する欠陥検出部と、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルと、欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出する欠陥情報処理部と、を具備し、前記欠陥情報処理部は、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報と前記中間データテーブルの欠陥位置情報との位置を比較する比較部と、予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する周期欠陥候補検出部と、前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップする更新部と、カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する基準値判定部と、周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出する周期欠陥判定部と、前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するリセット部を有することを特徴とする。

また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、前記欠陥位置情報は、前記検査対象物の幅方向の座標Ｘ、長尺方向の座標Ｙ、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差の周期長Pを含み、前記欠陥情報は、前記検査対象物の幅方向の座標ｘ、長尺方向の座標ｙを含み、前記周期欠陥判定部は、前記検査対象物の幅方向の周期判定精度をＸａ、長尺方向の周期判定精度をＹａとし、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と、前記中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との比較を、周期判定精度(｜x-X|≦Xa,|y-Y-P|≦Ya)以内の位置にあるか否かを検出することを特徴とする。

また、本発明は、移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得するステップと、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルの欠陥位置情報との位置と、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報とを比較するステップと、予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出するステップと、前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップするステップと、カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定するステップと、周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出するステップと、前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するステップとを実行する欠陥検査方法である。

本発明によれば、検査対象物の幅方向に分割した検査領域単位ではなく、ある欠陥のｘ軸の座標を基準とし、その座標から、周期欠陥であるか否かの対象となる欠陥のｘ軸の座標がずれの範囲にあるか否かを判断するようにした。これにより、検査対象物の幅方向を分割して検査領域を区切ることなく周期欠陥の判定を行うことができるので、検査領域にまたがる欠陥が発生してしまうことがなく、また、ｘ座標が離れていても周期欠陥であると誤判定することも防止することができる。

連続シート状の検査対象物の製造ラインおよびこの実施形態における欠陥検査装置の一例を示す概略構成図である。 データ処理ユニット２０の構成を説明する概略ブロック図である。 中間データテーブルの書式を示す図である。 周期欠陥の代表的な例を示す図である。 本発明の周期欠陥判定における各ステップの流れの一例を示すフローチャートである。 本発明の周期欠陥判定のリセット処理における各ステップの流れの一例を示すフローチャートである。 周期欠陥判定の実施例を説明するための欠陥発生状態を示す図である。

以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、この実施形態における連続シート状の検査対象物の製造ラインおよび欠陥検査装置の一例を示す概略構成図である。この製造ラインは、検査対象物のベースとなるベース材１が巻き回された供給ロール２と、搬送ロール３を介して供給ロール２から供給されたベース材１を加工して検査対象物４を得る加工機５と、搬送ロール６および７を介して加工機５から搬送される検査対象物４を巻き取る巻き取りロール８とから概略構成される。

この実施形態における欠陥検査装置は、移動する検査対象物４上に存在する欠陥を検出し、欠陥位置情報、欠陥の面積、長さ、幅等を含む欠陥情報を取得する欠陥検出装置１０と、欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出するデータ処理ユニット２０と、検査距離測定装置３０と、欠陥検出結果を表示するディスプレイ４１、プリンタ４２などの出力装置と、キーボード、タッチパネルなどの入力装置５０とを具備して概略構成されるものである。

ここで、欠陥検出装置１０は、搬送ロール６、７の間において製造ラインを加工機５から巻き取りロール８に向かって移動する検査対象物４の表面に光を照射する照明装置１１と、検査対象物４からの反射光を受光して、その画像信号を得るラインセンサ１２と、この画像信号を処理する画像処理ユニット１３とを具備して概略構成されるものである。

検査対象物４は、連続シート状の金属板、フィルム、布、不織布、樹脂板等からなるものであり、ラインセンサ１２の長さ方向に直行するように製造ライン上を移動している。

照明装置１１は、検査対象物４上における光の照射範囲の長手方向が検査対象物４の移動方向に直交するように配置されたライン状の照明装置であり、例えば、蛍光灯、ロッド照明、光ファイバ照明等が挙げられる。図示例では、照明装置１１はラインセンサ１２と同じ検査対象物４の表面側に配置されているが、この実施形態における照明装置の配置形態は、これに限られるものではない。例えば、照明装置をラインセンサ１２とは反対の検査対象物４の背面側に配置し、検査対象物４の背面から光を照射し、透過光をラインセンサ１２で受光するようにしてもよい。

ラインセンサ１２は、撮像範囲の長手方向が検査対象物４の移動方向に直交するように配置されたライン状の光センサであり、検査対象物４からの反射光あるいは透過光を受光し、検査対象物４の移動方向に直交するライン（検査ライン）単位で検査対象物４表面の光強度分布に応じた画像信号を出力するものである。ラインセンサ１２としては、例えば、素子数（画素数）が２０４８または５０００のＣＣＤカメラ等が用いられる。

画像処理ユニット１３は、ラインセンサ１２から出力された画像信号を、所定のプログラムにしたがって処理し、検査対象物４上に存在する欠陥を検出し、その検出された欠陥情報（欠陥位置情報、欠陥の面積、長さ、幅等）をデータ処理ユニット２０に出力するものである。画像処理ユニット１３としては、公知の欠陥検出装置に用いられている公知の画像処理装置を用いることができる。

図２は、データ処理ユニット２０の構成を説明する概略ブロック図である。
欠陥情報取得部２１は、移動する検査対象物上に存在する欠陥が検出され、検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を画像処理ユニット１３から取得する。中間データテーブル２２は、検査対象物４の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する。欠陥情報処理部２３は、欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出する。この欠陥情報処理部２３は、比較部２３１と、周期欠陥候補検出部２３２と、更新部２３３と、基準値判定部２３４と、周期欠陥判定部２３５と、リセット部２３６と、を有する。

比較部２３１は、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との位置を比較する。周期欠陥候補検出部２３２は、予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する。更新部２３３は、周期判定精度の範囲内の位置である場合は、比較した中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)に対応する周期判定数をカウントアップし、中間データテーブル２２のデータを更新する。基準値判定部２３４は、カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する。周期欠陥判定部２３５は、周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出することによって、周期欠陥判定を行う。リセット部２３６は、検査対象物４がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除する。

次に、周期欠陥判定部２３５が周期欠陥判定を行う場合における周期欠陥判定条件を説明する。この周期欠陥判定条件は、下記のとおりである。
（１）幅方向の周期判定精度（Xa）
今回の欠陥と中間データテーブルに記録されている欠陥のX座標の差の絶対値が、この値以下であれば、周期欠陥の幅方向の対象とする。
（２）長尺方向の周期判定精度(Ya)
上記（１）を満足した欠陥のうち、今回の欠陥と中間データテーブルに記録されている欠陥のY座標の差と中間テーブルに記録されている周期長Pの差の絶対値がこの値以下であれば、周期欠陥の流れ方向の対象とする。
（３）最小周期(Cmin)、最大周期(Cmax)
最小周期(Cmin)、最大周期(Cmax)は、周期欠陥の対象とするか否かの基準となる値である。上記（２）を満足した欠陥のうち、周期長Pが、最小周期(Cmin)未満または最大周期(Cmax)を超えていた場合は、周期欠陥の対象外とする。
（４）リセット長(R)
中間データテーブルに記録されているY座標と測長値の差がこの値を超えた場合は、該当欠陥位置座標の中間データテーブルを削除する。さらに、中間データテーブルすべての欠陥位置座標でY座標と測長値の差がこの値を超えた場合は周期欠陥NG信号をOFFにする。これにより、周期欠陥ではないものと判定される。
（５）周期判定基準値(K)
上記（１）、（２）を満足した個数がこの値以上の場合、周期欠陥と判定し、周期欠陥NG信号を出力する。この値は、周期欠陥であるか否かを判定する基準値の周期判定数である。

図３は、中間データテーブル２２の一例を示す図である。
中間データテーブル２２は、最大m個の中間データを保存できる。mは、最大（検査対象物４の幅方向検査範囲／幅方向の周期判定精度(Xa)）である。ここでいう中間データとは、得られた欠陥情報が周期欠陥を構成するものであるか否かを判定するために用いられる情報である。この欠陥位置座標の中間データは、周期欠陥ではないと判定されると、更新部２３３によって削除される。このように、検査対象物４の全長に渡る全ての欠陥情報を中間データとして記憶する必要がないので、中間データを記憶するメモリ領域の容量を削減できる。

中間データテーブルに記録されるデータは、欠陥の幅方向中心座標(X)、欠陥の流れ方向中心座標(Y)、周期長(P)、周期判定数(N)、周期判定中一部未検出数(C)を含む。
欠陥の幅方向中心座標(x)、欠陥の流れ方向中心座標(y)は、それぞれ、周期欠陥対象となっている欠陥のうち、最新の欠陥であり、検査対象物４上の位置を示す座標を表す。
周期長(P)は、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差である。
周期判定数(N)は、周期欠陥対象となった欠陥情報の個数である。
周期判定中一部未検出数(C)は、周期欠陥と判定している時の欠陥を検出していない数である。

図４は、周期欠陥の代表的な例を示す図である。
画像処理ユニット１３から送られてきた欠陥情報に含まれる欠陥位置情報（x,y）が、中間データテーブルに記録されているデータ（X,Y）のうち、（｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ，｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ）の位置にあるか否かに基づいて、周期欠陥判定部２３５が周期判定を行っている。図４の欠陥Ａ_ｎ−２、Ａ_ｎ−１、Ａ_ｎは、前記の条件を満足しており、周期欠陥であると判定される。

検査距離測定装置３０は、検査開始時点からの検査距離を測定するものである。検査距離測定装置３０としては、例えば、ロータリエンコーダ等が使用される。この検査距離測定装置３０は、検査対象物４が所定距離（例えば、０．１ｍｍ）を移動するごとに発生するパルスを、検査開始時点からカウントし、そのパルス数にパルス分解能（例えば、０．１ｍｍ／パルス）を乗じることで、検査開始時点からの距離を算出する。また、製造ラインのスピードが一定であれば、ロータリエンコーダを使用することなく、一定時間毎にカウントしていくことで検査開始時点からの検査距離を算出してもよい。

出力装置４０は、データ処理ユニット２０から送られた周期欠陥が存在する検査領域の番号、X座標、その周期（欠陥距離Ｐｎ）等の周期欠陥情報を出力するものである。出力装置としては、ディスプレイ４１、プリンタ４２などを用いることができる。また、データ処理ユニット２０には、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力装置５０などの周辺機器を接続してもよい。
また、データ処理ユニット２０には、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力装置５０などの周辺機器を接続してもよい。

図５は、この実施形態における周期欠陥判定方法のステップを示すフローチャートである。この図を用いて、上述の欠陥検査装置の動作を説明する。

ステップS1(欠陥情報取得)
画像処理ユニット１３は、検査距離測定装置３０から出力されたパルス信号に同期して画像処理を行い、欠陥を検出し、欠陥情報（欠陥位置情報、欠陥の面積、幅、長さ等）を生成する。
この欠陥情報の生成は、例えば、ラインセンサ１２から出力される画素ごとのアナログの画像信号Ａｉ（ｉ：画素Ｎｏ）は、例えば、画像処理ユニット１３内のＡ／Ｄ変換部によって８ビットの濃度値（２５６階調）を表すデジタル信号Ｂｉに変換される。Ａ／Ｄ変換部で変換されたデジタル信号Ｂｉは、正常部に対して指定された２つのスライスレベルにしたがって二値化部で二値化される。二値化後のデジタル信号は、ランレングス符号化部でランレングス符号化される。ランレングス符号化された検査ラインごとの画像信号（１次元情報）は、連結性処理部で検査対象物４の移動方向につなぎ合わされる。つなぎ合わされた画像信号（２次元情報）からは、あらかじめ設定された検査基準（サイズ）以上の欠陥が検出され、検出された欠陥ａ_ｎの面積、検査対象物４の移動方向の長さＬ、検査対象物４の幅方向の長さ、幅方向の中心位置（欠陥位置座標：x、y）、ランク（大小）、種類等の欠陥情報が取得される。さらに、膨張処理を施し、幅方向および移動方向の欠陥位置座標が指定範囲内の複数の欠陥を一つに集約させている。
このようにして画像処理ユニット１３で取得された欠陥情報は、データ処理ユニット２０の欠陥情報取得部２１に送られる。

ステップS2（X座標が一致）
画像処理ユニット１３によって欠陥情報が生成されると、データ処理ユニット２０は、得られた欠陥情報のうち欠陥位置情報(x)を中間データテーブルに書き込まれたデータ(X)とを比較し、下記に式（１）の条件を満足するものがあるか比較する。
｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ ・・・（１）

ステップS3(新規登録)
データ処理ユニット２０は、ステップS2で条件を満足するものがなかった場合、今回の欠陥情報を新規の周期欠陥対象として中間データテーブルに登録して終了する。
登録内容は、下記のとおりである。
Ｘ＝ｘ，Ｙ＝ｙ，Ｐ＝０，Ｎ＝１

ステップS4（周期長が周期対象か判定）
ステップS2で条件を満足するものがあった場合、データ処理ユニット２０は、欠陥位置情報(y)と中間データテーブルに書き込まれたデータ(Y)とを比較し、次の式（２）の条件を満足するものがあるか比較する。

ステップS５（登録削除）
式（２）を満足した場合は、周期欠陥対象としないため、終了する。
｜ｙ−Ｙ｜＜Ｃｍｉｎ，｜ｙ−Ｙ｜＞Ｃｍａｘ ・・・（２）

ステップS６（Y座標の周期性）
次に、データ処理ユニット２０は、欠陥位置情報(y)と中間データテーブルのデータ(Y)とを比較し、次の式（３）または式（４）の条件を満足するものがあるか比較する。周期判定前の場合は、周期長が長尺方向の周期判定精度Ya以内であることを式（３）に基づいてチェックする。一方、周期判定後の場合は、周期欠陥の一部未検出の場合でも周期欠陥判定を行うため、(C×Ya)以内であることを式（４）に基づいてチェックする。周期判定中一部未検出数Cは、（｜ｙ−Ｙ｜）÷Ｐで求まる。ただし、Pが０の場合、周期判定中一部未検出数Cは0とする。

周期判定前（N<C）の場合
｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ ・・・・（３）
周期判定後（N≧C）の場合
｜ｙ−Ｙ−Ｃ×Ｐ｜≦Ｃ×Ｙａ ・・・・（４）

ステップS７（登録削除）
データ処理ユニット２０は、ステップS６の条件を満足しない場合、周期欠陥ではないと判定し、該当する欠陥位置座標の中間テーブルデータを削除する。

ステップS８（登録）
データ処理ユニット２０は、S６の条件を満足した場合は、周期欠陥対象と判定し、中間データとして下記を登録する。
Ｘ＝ｘ，Ｙ＝ｙ，Ｐ＝（ｙ−Ｙ），Ｎ＝Ｎ＋１

ステップS９（Ｎ≧周期判定基準値（Ｋ））
データ処理ユニット２０は、周期判定数Ｎが、周期判定基準値Ｋ未満の場合は終了し、周期判定基準値Ｋ以上の場合は、周期欠陥であると判定する。

ステップS１０（周期NG出力ON）
データ処理ユニット２０は、周期判定数Ｎが、周期判定基準値がＫ以上の場合だと、出力装置４０に周期NG信号を出力する。

図６は、周期欠陥のリセット処理のステップを示すフローチャートである。
データ処理ユニット２０は、このリセット処理を、欠陥検出の処理とは関係なく、一定の時間間隔で実行する。

ステップＳ２１（リセットチェック）
データ処理ユニット２０は、欠陥位置座標別に中間データテーブルの内容をチェックし、次式を満足するデータがない場合は、終了する。
測長値−Ｙ＞Ｒ ・・・・（５）

ステップＳ２２（登録削除）
データ処理ユニット２０は、欠陥位置座標別に中間データテーブルの内容をチェックし、上述の式（５）を満足するデータがある場合は、その欠陥位置座標別の中間データを削除する。

ステップS２３（周期NG出力OFF）
データ処理ユニット２０は、欠陥位置座標別に中間データテーブルの内容をチェックし、中間データの中すべて、周期欠陥のデータがなくなった場合は、周期NG出力をOFFとして終了する。

［実施例］
以下、具体的な実施例について説明する。
図１に示すような製造ラインにおいて、図２に示す構成の欠陥検査装置を用いて、検査対象物の欠陥検査を行った。検査対象の幅は800mm、走行速度は30m/分である。

照明装置１１としては、高周波点灯蛍光灯を用い、ラインセンサ１２としては、ラインＣＣＤカメラ（（株）メック製、ＭＫＳ−５０００、画素数5000、幅方向分解能0.1mm／画素、移動方向分解能0.1mm／スキャン）を用いた。画像処理ユニットとしては、（株）メック製のＬＳＣ−４００Ｖを用いた。

周期判定条件は、下記のとおりである。
幅方向の周期判定精度（Xa） 5mm
長尺方向の周期判定精度(Ya) 0.03m
最小周期(Cmin) 0.1m
最大周期(Cmax) 2m
リセット長(R) 10m
周期判定基準値(K) 5

図７は、周期欠陥判定の実施例を説明するための欠陥マップである。表１は、検出した１４個の欠陥検出座標を示す。

表２は、図５のフローチャートに従って処理を行った中間データテーブルの内容の変化を示す。

１）欠陥A1検出時
中間データテーブルには保存データがないため、（X=100.1、Y=200.00、p=0、N=1）を記録する。
２） 欠陥A2検出時
中間データテーブルには保存データが１個あるが、x座標が幅方向の周期判定精度より離れているため、2番目に（X=120.2、Y=200.28、p=0、N=1）を記録する。

３）欠陥A3検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.1、Y=200.56、p=0.28、N=2）を記録する。
４）欠陥A4検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.0、Y=200.60、p=0.60、N=2）を記録する。

５）欠陥A5検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるが、y座標の差が最小周期より小さいため、未処理とする。
６） 欠陥A6検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.2、Y=200.84、p=0.28、N=3）を記録する。

７） 欠陥A7検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.3、Y=201.12、p=0.28、N=4）を記録する。
８）欠陥A8検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.0、Y=201.20、p=0.60、N=3）を記録する。

９）欠陥A9検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.2、Y=201.40、p=0.28、N=5）を記録し、周期判定基準値以上となったので、周期欠陥NG信号をONとする。
１０）欠陥A10検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.1、Y=201.80、p=0.60、N=4）を記録する。

１１）欠陥A11検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内である。また、y座標が、周期欠陥が２個（B1,B2）を検出しなかった長尺方向の周期判定精度以内のため、（X=120.2、Y=202.04、p=0.28、N=6）を記録する。
１２）欠陥A12検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.3、Y=202.40、p=0.60、N=5）を記録し、周期判定基準値以上となったので、周期欠陥NG信号をONとする。

１３）欠陥A13検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.5、Y=203.00、p=0.60、N=6）を記録し、周期欠陥NG信号はONのままとする。
１４）欠陥A14検出時
リセット長よりも離れているため、図６のフローチャートに従って処理し、中間データテーブルを削除し、周期欠陥NG信号をOFFとしている。
その後、欠陥A14検出時に、中間データテーブルには保存データがないため、（X=120.5、Y=230.00、p=0、N=1）を記録する。

以上説明した実施形態によれば、指定したＸ座標のずれ量の範囲で周期判定を行うようにしたので、周期欠陥であるか否かを判定する対象の欠陥が検査領域にまたがるということを防止することができる。また、周期判定中の中間データは、(maxシート幅／Δｘ＋１)であり、現状よりも小であるので、リアルタイム性が低下しない。
また、上述の１１）欠陥A11検出時によれば、一度周期欠陥であると判定した場合、途中で周期欠陥対象を検出していなくても、再度検出した場合は、周期欠陥であると判定することができる。

また、その他に下記の効果も得られる。
１）欠陥情報を記憶するのに大きな一時容量を用意する必要がない
２）リアルタイム処理が可能である
３）周期長が不明な場合でも、周期欠陥の発生位置と周期長を測定できる
４）複数の周期長を分類できる
５）シートが蛇行し、検査位置と欠陥発生位置が幅方向に一定ではない結果が得られたとしても、幅方向の周期判定精度以内であれば、連続した欠陥として把握することができるので、シートの蛇行に対応できる。

また、図１における欠陥検査装置の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより欠陥検査を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。

また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

１ ベース材
２ 供給ロール
３ 搬送ロール
４ 検査対象物
５ 加工機
６ 搬送ロール
７ 搬送ロール
８ 巻き取りロール
１０ 欠陥検出装置
１１ 照明装置
１２ ラインセンサ
１３ 画像処理ユニット
２０ データ処理ユニット
３０ 検査距離測定装置
４０ 出力装置
４１ ディスプレイ
４２ プリンタ
５０ 入力装置

Claims (3)

1. 移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得する欠陥検出部と、
   前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルと、
   欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出する欠陥情報処理部と、
   を具備し、
   前記欠陥情報処理部は、
   前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報と前記中間データテーブルの欠陥位置情報との位置を比較する比較部と、
   予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する周期欠陥候補検出部と、
   前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップする更新部と、
   カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する基準値判定部と、
   周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出する周期欠陥判定部と、
   前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するリセット部
   を有することを特徴とする欠陥検査装置。
2. 前記欠陥位置情報は、前記検査対象物の幅方向の座標Ｘ、長尺方向の座標Ｙ、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差の周期長Pを含み、
   前記欠陥情報は、前記検査対象物の幅方向の座標ｘ、長尺方向の座標ｙを含み、
   前記周期欠陥判定部は、前記検査対象物の幅方向の周期判定精度をＸａ、長尺方向の周期判定精度をＹａとし、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と、前記中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との比較を、周期判定精度（｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ，｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ）以内の位置にあるか否かを検出する
   ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
3. 移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得するステップと、
   前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルの欠陥位置情報との位置と、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報とを比較するステップと、
   予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出するステップと、
   前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップするステップと、
   カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定するステップと、
   周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出するステップと、
   前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するステップと
   を実行する欠陥検査方法。

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