JP2011083742A - フィルタ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルタ3のフィルタ枠20は、第1フィルタガイド部材25と第2フィルタガイド部材26を有し、フィルタのガスケット22をフィルタ取付枠90に対して密着して固定させる押圧固定部40を有し、押圧固定部40は、ケーシング内で傾斜可能に連結されて第1フィルタガイド部材25を案内して保持する第1保持部51と、ケーシング内で傾斜可能に連結されて第2フィルタガイド部材26を案内して保持する第2保持部52とを有する。
【選択図】図2
Description
また、使用済みのフィルタを新しいフィルタに交換する際に、使用済みのフィルタのガスケットが硬化してしまっているために、フィルタのガスケットがフィルタフレームから剥がれにくくなり、簡単にはフィルタを交換できなかった。この理由としては、フィルタのガスケットをフィルタフレームから剥がしてフィルタを交換する際に、フィルタを取り出す方向がフィルタフレームに沿った横方向に単にスライドするだけであるので、硬化したガスケットには剥がす力が伝わり難く、ガスケットをうまくフィルタフレームから剥がせないためである。
上記構成によれば、フィルタ挿入時には、フィルタのフィルタ枠に貼り付けられたガスケットとフィルタを支えるためのフィルタ取付枠との間での摩擦を防ぐことでガスケットが剥がれ無いようにすることができ、フィルタ交換の際には、硬化したガスケットがフィルタ取付枠から剥がれ難くなっていても、フィルタ取付枠からガスケットを容易に剥がすことができる。
上記構成によれば、第1保持部の移動端部と第2保持部の移動端部を引き上げることで、フィルタの挿入と取り出しを簡単に行える。
上記構成によれば、フィルタの第1フィルタガイド部材を第1ガイド溝にスライドすると同時にフィルタの第2フィルタガイド部材を第2ガイド溝にスライドするだけで、簡単にフィルタの挿入と取り出しが行える。
上記構成によれば、フィルタの第1フィルタガイド部材を第1ガイド溝にスライドすると同時にフィルタの第2フィルタガイド部材を第2ガイド溝にスライドするだけで、簡単にフィルタの挿入と取り出しが行える。
(実施形態1) 図1は、本発明のフィルタ装置の実施形態1を示す斜視図である。図2は、図1に示すフィルタ装置の内部構造を示す斜視図である。
図1と図2に示すフィルタ装置1は、好ましくは半導体製造装置用のケミカルフィルタ、高性能フィルタを有する装置である。フィルタ装置1は、直方体形状を有するケーシング(もしくはチャンバーあるいは筐体ともいう)2と、フィルタ3と、送風機4を有している。フィルタ3は、例えば長方形状の板状の部材であり、Y1方向に沿ってケーシング2内に挿入して着脱可能に固定される。ケーシング2は、点検扉5により開口部2Pを閉めて密閉した際には、フィルタ3以外には、ケーシング2内を通す気流を逃がさないような構造を有する。
図1に示すように、ケーシング2は、正面部2A、背面部2B、側面部2C、2D、上面部2E、底面部2F、そして点検扉5を有している。正面部2Aと背面部2Bは対面し、側面部2Cと側面部2Dは対面している。上面部2Eと底面部2Fは対面しており、上面部2Eは気流の上流側であり、底面部2Fは気流の下流側である。送風機4は、ケーシング2内であって、上面部2Eの中央位置のフィンガーガード16に対応して配置されている。従って、送風機4が回転すると、気流はZ2方向に流れる。
フィルタ3は例えばケミカルフィルタであり、フィルタ3は有機、酸、アルカリ等を除去する。高性能フィルタ30がフィルタ3の下部に配置されている。フィルタ3は、この高性能フィルタ30に対して気流の上流側に配置されている。高性能フィルタ30は、例えばUPLA(高性能)フィルタである。
図1において、ケーシング2内の収納空間部27内には、後で説明する押圧固定部40の第1保持部51と第2保持部52を用いて、新たなフィルタ3を、開口部2Pを通じてY1方向に沿ってスライドして挿入して収容でき、そして使用済みのフィルタを新たなフィルタに交換する際には押圧固定部40の第1保持部51と第2保持部52を用いて、フィルタ3を、開口部2Pを通じてY2方向に沿ってスライドして取り出すことができる。
押圧固定部40は、ケーシング2内にフィルタ3を、スライドして挿入後に、フィルタ取付枠90(図3と図4を参照)に対して押圧して固定するために設けられている。図1に示すように押圧固定部40は、ケーシング2の収納空間部27内に配置されている。押圧固定部40は、図1では破線で示している。
図2に示すように、押圧固定部40は、第1保持部51と第2保持部52と、ストッパ95を有する。図1と図2に示すように、第1保持部51は、ケーシング2内において向かって左側に配置され、第2保持部62は、ケーシング2内において向かって右側に配置されている。第1保持部51は、フィルタ3の第1フィルタガイド部材25をスライドしながらガイドして保持するための要素であり、第2保持部52は、フィルタ3の第2フィルタガイド部材26をスライドしながらガイドして保持するための要素である。
左右の第1支持部材61と第3支持部材63は同じ形状を有しており、両方共に断面がほぼL字型の帯状部材である。第1支持部材61は、スライドガイド部61Aと、移動端部61Bと、連結部61Cを有する。第3支持部材63は、スライドガイド部63Aと、移動端部63Bと、連結部63Cを有する。左右のスライドガイド部61A、63Aは、図2に示す水平保持状態では、Y1方向に形成され、移動端部61B、63Bは、Z1方向に形成されている。つまり、移動端部61Bとスライドガイド部61Aは直角に形成され、移動端部63Bとスライドガイド部63Aは直角に形成されている。連結部61Cは、第1支持部材61の一端部であり、移動端部61Bは、第1支持部材61の他端部である。連結部63Cは、第3支持部材63の一端部であり、移動端部63Bは、第3支持部材63の他端部である。
まず、ケーシング2内に、フィルタ3を挿入して押し付けて固定する操作を説明する。
作業者が図1の点検扉5を開くと、図1のフィルタ3は開口部2Pを通じて図1のケーシング2内に、Y1方向に沿ってスライドしながら挿入して固定できる。 図4を参照して、新しいフィルタ3を挿入して固定する操作を詳しく説明する。図4(A)に示すように、作業者が点検扉5を開けて、第1保持部51の移動端部61Bと第2保持部52の移動端部63Bは、蝶番71,72を回転中心としてR方向に沿って斜め上方向に同時に引き上げると、第1保持部51と第2保持部52は水平状態から角度θで傾斜される。つまり、移動端部61B、63Bは持上げられた状態になる。
このように、図4(A)に示すように第1保持部51の移動端部61Bと第2保持部52の移動端部63Bは、蝶番71,72を用いてR方向に沿って斜め上方向に引き上げた状態でフィルタ3を挿入できるので、フィルタ3の下流側枠体に貼り付けられているガスケット22を、フィルタ取付枠90から完全に離すことができ、ガスケット22とフィルタ取付枠90との間では摩擦が生じることが無い。従って、フィルタ3を挿入する際にガスケット22が剥がれることが無く、簡単にフィルタ3をケーシング2内に挿入して固定することができる。
使用済みのフィルタ3を新しいフィルタ3に交換する場合には、ケーシング2内に固定されている使用済みのフィルタ3をケーシング2内から取り出す作業を行う。
作業者が図4(C)に示す点検扉5を開けて、第1保持部51と第2保持部52は、蝶番71,72を回転中心としてR方向に引き上げると、図4(B)に示すように第1保持部51と第2保持部52とともにフィルタ3が水平状態から角度θで傾斜される。このように、フィルタ3はR方向に沿って斜め上方向に引き上げられる。従って、ガスケット22が経年変化により硬化していてガスケット22がフィルタ取付枠90に対して密着して貼り付いていたとしても、通常のガスケットをスライドすることで剥がす場合に比べて、ガスケット22はフィルタ取付枠90から簡単に剥がすことができる。このため、ガスケット22がフィルタ取付枠90に密着して残ってしまう恐れが無い。
その後、図4(A)に示すように、フィルタ3は第1保持部51と第2保持部52からD方向に沿って斜め上方に向けてケーシング2内からスライドして取り出すことができる。
次に、図5を参照して、本発明のフィルタ装置の実施形態2を説明する。
図5は、本発明の実施形態2を示している。
図5に示すフィルタ装置1Aは図2に示すフィルタ装置1とほぼ同じ構成を有しており、対応する箇所には同じ符号を付けている。図5に示すフィルタ装置1Aが図2に示すフィルタ装置1と異なる点は、押圧固定部40の第1保持部51Aと第2保持部52Aの構造である。
連結部61Cは蝶番71を用いて、ケーシング2の背面部2Bの内面に対して連結されている。連結部63Cは蝶番72を用いて、ケーシング2の背面部2Bの内面に対して連結されている。これにより、第1保持部51は、蝶番71を回転中心としてR方向に沿って斜め上方向に引き上げることができ、第2保持部52は、蝶番72を回転中心としてR方向に沿って斜め上方向に引き上げることができる。なお、移動端部61B、63Bの下端部には、ネジ77を通すためのネジ穴76が形成されている。
また、フィルタを交換する際には、フィルタ3はR方向に沿って斜め上方向に引き上げられる。ガスケット22が経年変化により硬化していてガスケット22がフィルタ取付枠90に対して密着してしまっていたとしても、通常のガスケットをスライドして剥がす場合に比べて、ガスケット22はフィルタ取付枠90から簡単に剥がすことができる。このため、ガスケット22がフィルタ取付枠90に密着して残ってしまう恐れが無い。
本発明の実施形態のフィルタ装置では、ビル空調、工場空調などの数ヶ月サイクルと交換頻度の高い粗塵・中性能フィルタが容易に着脱でき、フィルタの交換作業性が向上できる。しかも、多数のフィルタ装置が工場等の取り付け対象建物に装着されている場合には、特にフィルタの交換作業性が向上できる。
ところで、本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変形例を採用することができる。フィルタ装置のケーシングは、例えば上流側のダクトと、このダクトに直交する方向に空気を流す下流側のダクトの間に配置するようにしても良い。フィルタ装置のケーシングは、ダクトの途中に配置するのではなく、ダクトの先端部に配置するようにしても良い。フィルタ装置のケーシングの上流側には、ダクトを接続し、しかもフィルタ装置のケーシングの下流側には、ファンを配置しても良い。
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用される点検扉5、ケーシング2、押圧固定部40等の部品の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板(亜鉛、アルミ合金)、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
本発明は、使用材料に特徴があるわけではないので、記載していないものでも使用することができる。
ケミカルフィルタは、活性炭粒状、活性炭素繊維などの物理吸着による有機系ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、強酸性陽イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着による酸性ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、弱塩基性陰イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着によるアルカリガス除去フィルタの一種あるいはその複数を積層したり、平面分割したりした組合せで使用することができる。特に、ケミカルフィルタは、薄型低圧損という観点からすると、活性炭粒状あるいはイオン交換樹脂を不織布でサンドイッチした構造の濾材をジグザグ状に折り畳んだものが好ましい。
ファンは、軸流ファン、斜流ファン、遠心ファン、シロッコファンなどを使用することができる。特に、薄型、軽量化などの観点からすると、軸流ファンが好ましい。ガスケットは、クロロプレン樹脂、EPDM樹脂などを使用することができる。特に、ガスケットは、発ガス性などの観点からすると、EPDM樹脂が好ましい。
Claims (4)
- ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、
前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第1フィルタガイド部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第2フィルタガイド部材を有し、
さらに、前記ケーシング内で前記フィルタの前記ガスケットを密着して固定するフィルタ取付枠と、
前記フィルタ取付枠に対して前記ガスケットを密着させる押圧固定部と
を備えており、
前記押圧固定部は、
前記ケーシング内で傾斜可能に連結されて前記フィルタの前記第1フィルタガイド部材を案内して保持する第1保持部と、
前記ケーシング内で傾斜可能に連結されて前記フィルタの前記第2フィルタガイド部材を案内して保持する第2保持部と
を有することを特徴とするフィルタ装置。 - 前記第1保持部の一端部は蝶番により前記ケーシングに対して連結され、前記第1保持部の他端部は前記第1保持部の一端部を中心として引き上げ可能な移動端部であり、前記第2保持部の一端部は蝶番により前記ケーシングに対して連結され、前記第2保持部の他端部は前記第2保持部の一端部を中心として引き上げ可能な移動端部であることを特徴とする請求項1に記載のフィルタ装置。
- 前記第1保持部は、第1支持部材と、前記第1支持部材に固定されて前記第1支持部材と間で前記第1フィルタガイド部材を通してガイドする第1ガイド溝を形成する第2支持部材とを有し、前記第2保持部は、第3支持部材と、前記第3支持部材に固定されて前記第3支持部材と間で前記第2フィルタガイド部材を通してガイドする第2ガイド溝を形成する第4支持部材とを有することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のフィルタ装置。
- 前記第1保持部は、第1支持部材と、前記第1支持部材に固定されて前記第1フィルタガイド部材を通してガイドする第1ガイド溝を形成する第2支持部材とを有し、前記第2保持部は、第3支持部材と、前記第3支持部材に固定されて前記第2フィルタガイド部材を通してガイドする第2ガイド溝を形成する第4支持部材とを有することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のフィルタ装置。
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