JP2011072931A - フィルタ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルタ装置1は、ケーシング2内でフィルタ3を取り付け固定するフィルタ取付枠50と、フィルタ取付枠50に沿って挿入されたフィルタ3のフィルタ枠の複数箇所をフィルタ取付枠50側に押し付けて密着させる押圧固定部40とを有し、押圧固定部40は、ケーシング2内に設けられ、フィルタ3をフィルタ取付枠50に弾性力で押圧してフィルタ3のガスケット3Cをフィルタ取付枠50に密着させる弾性押圧部40Bと、弾性押圧部40Bに設けられてフィルタ3に当接される回転体65を有する。
【選択図】図2
Description
従来の締付固定装置は、特許文献1〜特許文献3に開示されている。特許文献1に開示されている締付固定装置では、フィルタ挟持部材が、フィルタの一面側を受けるフィルタ受け部と、フィルタの他面側を押さえるフィルタ押え部から構成され、フィルタ押え部は、流体通路の壁側の押え片と、開閉扉側の押え片から構成されている。
しかし、特許文献1〜特許文献3に記載された締付固定装置では、ビル空調、工場空調などの交換頻度の高い粗塵・中性能フィルタを締付して固定する場合には、フィルタを締め付けて固定する構造が複雑で大掛かりであり、フィルタの交換時間が長くかかり作業が面倒であるといった課題があった。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、高性能フィルタを内蔵した半導体製造装置用フィルタ装置のケミカルフィルタや、ビル空調、工場空調等の交換頻度の高いフィルタを簡単に交換でき、フィルタからの気流のリークを防ぎながらフィルタを均等に締め付けて固定することができるフィルタ装置を提供することを目的とする。
上記構成によれば、ビル空調、工場空調等の交換頻度の高いフィルタを簡単に交換でき、フィルタからの気流のリークを防ぎながらフィルタを均等に締め付けて固定することができる。
上記構成によれば、フィルタは、フィルタ枠の四箇所においてフィルタ取付枠に対して均等圧力で押し付けて固定できるので、フィルタからの気流のリークをより確実に防げる。
本発明のフィルタ装置では、前記押圧固定部の前記弾性押圧部は、前記ケーシング側に固定される第1部材と、第2部材と、前記第2部材を前記第1部材に対して弾性変形可能に支持する付勢部材とを有し、前記回転体は、前記第2部材の先端部において回転可能に取り付けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタがケーシング内に挿入される際に、第2部材は第1部材に対して弾性変形でき回転体が回転するので、フィルタを挿入する際の摩擦力を減少でき、フィルタ挿入の際の負荷を軽減できるとともに、フィルタを取り出す際にも摩擦力を減少できるので、フィルタの挿入取り出し作業が容易にできる。
上記構成によれば、フィルタは扉を閉じるだけで、フィルタを挿入する方向に関してフィルタを確実に固定できる。
(実施形態1)
図1は、本発明のフィルタ装置の実施形態1を示す斜視図である。図2は、図1に示すケーシングをS方向から見た平面図である。
図1と図2に示すフィルタ装置1は、好ましくは半導体製造装置ケミカルフィルタ、高性能フィルタを有する装置である。フィルタ装置1は、直方体形状を有するケーシング(もしくはチャンバーあるいは筐体ともいう)2と、送風機13,14と、2つのフィルタ3、3を有している。これらのフィルタ3は、例えば長方形状の板状の部材であり、Y1方向に沿ってケーシング2内に挿入して着脱可能に固定される。ケーシング2は、送風機13,14を固定しており、扉4,5を閉めて密閉した際には、フィルタ位置以外には、ケーシング2内を通す気流を逃がさないような構造を有する。
図1に示すように、ケーシング2は、正面部2A、背面部2B、側面部2C、2D、上面部2E、底面部2F、そして点検扉4を有している。正面部2Aと背面部2Bは対面し、側面部2Cと側面部2Dは対面している。上面部2Eと底面部2Fは対面しており、上面部2Eは気流の上流側であり、底面部2Fは気流の下流側である。従って、気流はZ2方向に流れる。上面部2Eの四隅位置には、取手6が取り付けられている。
図1において、ケーシング2内の収納空間部21内には、フィルタ3を、開口部4Aを通じてY1方向に沿って挿入して収容でき、フィルタ3をY2方向に沿って取り出すことができる。
図1と図2に示す2つのフィルタ3は例えばケミカルフィルタであり、2つのフィルタ3は有機、酸、アルカリ等を除去する。別のフィルタ30が、フィルタ3の下部に配置されている。2つのフィルタ3は、この別のフィルタ30に対して気流の上流側に配置されている。別のフィルタ30は、例えばUPLA(高性能)フィルタである。
図3には、一例として配置ポジションP1、P2の押圧固定部40を示している。ケーシング2内には、フィルタ取付枠50と、押圧固定部保持枠51が設けられている。フィルタ取付枠50は、X方向とY1、Y2方向により形成された平面と平行に形成されている。2つの押圧固定部保持枠51,51は、フィルタ取付枠50の両端部において、Z方向起立して延びていて、各上端が90度曲折された水平部をそれぞれ形成することにより、フィルタ取付枠50と押圧固定部保持枠51の各上端水平部が互いに対向するように設けられている。押圧固定部40は、押圧固定部保持枠51,51の各取付け端部53の内面側に固定されている。
図4に示すように、点検扉4は、蝶番19によりケーシング2の正面部2Aに対してR方向に開閉可能に取り付けられている。点検扉4の内面側には、フィルタ位置決め部材59が設けられている。同様にして、ケーシング2の背面部2Bの内面には、フィルタ位置決め部材60が設けられている。これにより、図4において、実線から破線で示すように、作業者が点検扉4による開口部4Aを閉じるだけで、フィルタ位置決め部材59,60は、フィルタ3の対向する側面部3K、3Kを互いに向かい合う方向に押して保持し、フィルタ3がY1、Y2方向には移動しないように確実にしかも簡単に位置決めすることができる。
図5は、押圧固定部40の構造例を示しており、図5(A)は、押圧固定部40がフィルタを押し付けて固定していない自由状態を示している。図5(B)は、図4のD部分付近において、押圧固定部40がフィルタ3をフィルタ取付枠50側に押し付けて固定している状態を示している。
図5に示すように、押圧固定部40は、弾性押圧部40Bと、回転体としてのローラ65を有する。弾性押圧部40Bは、ケーシング2内に設けられてフィルタ3をフィルタ取付枠50に弾性力で押圧して、フィルタ3のガスケット3Cをフィルタ取付枠50に密着させる機能を有する。ローラ65は、弾性押圧部40Bに設けられてフィルタ3に当接される。
第1部材61と第2部材62の開き側の間にはコイルバネ64が取り付けられており、このコイルバネ64の弾性力は、第2部材62をZ2方向に付勢するようになっている。第2部材62の先端部にはローラ65が回転可能に取り付けられている。このローラ65が設けられていることで、フィルタ3が挿入された際に押圧固定部40とフィルタ3との間における摩擦力を低減でき、押圧固定部40がケーシング2内に複数箇所設けられていても、フィルタ40が挿入される際の挿入抵抗を軽減できる。
まず、ケーシング2内に、フィルタ3を挿入して押し付けて固定する操作を説明する。
作業者が図1に示す点検扉4,5を開く。すなわち、図4に示すように作業者が点検扉4,5を開くと、図1のフィルタ3は開口部4A、5Aを通じて図1のケーシング2内のフィルタ取付枠50に対して、Y1方向に沿って挿入して収容できる。
なお、フィルタ3が固定された状態では、図3に示すように、フィルタ3とフィルタ30はX方向に沿って平行であり、フィルタ3とフィルタ30の間には空間99が形成されている。
作業者が、図4の破線から実線で示すように、点検扉4を開けて使用済みのフィルタ3を、第1部分11と第2部分12の中からY2方向から開口部4A、4Bを通じて外部に取り出す。
図4の実線から破線で示すように、作業者が点検扉4により開口部4Aを閉じることにより、点検扉4のフィルタ位置決め部材59が、フィルタ3のもう一つの側面部3KをY1方向に押す。フィルタ3が図4に示すフィルタ位置決め部材59,60によりY1、Y2方向について位置決めされ、しかも図3に示すように左右の押圧固定部保持枠51,51によりX方向についての位置決めがされる。
次に、図6を参照して、本発明の実施形態2を説明する。
図6は、本発明の実施形態2の押圧固定部40Bを示している。この押圧固定部40Bは、図1に示す本発明の実施形態2に適用できる。
図6に示す押圧固定部40Gが図5に示す押圧固定部40と異なる点は、コイルバネ64に代えて、付勢部材としての板状のスプリング164を用いており、蝶番63を用いていないことである。押圧固定部40Bでは、第1部材61と第2部材62は板材であり、スプリング164により開閉可能に連結されている。スプリング164は第2部材62をZ2方向に付勢するようになっている。第2部材62の先端部にはローラ65が回転可能に取り付けられている。この押圧固定部40Bを用いることで、部品点数を減らし構造を簡単化できる。これにより、第2部材62の先端部にはローラ65が回転可能に取り付けられている。これにより、このローラ65が設けられていることで、押圧固定部40とフィルタ3との間における摩擦力を低減でき、押圧固定部40が複数箇所設けられていても、フィルタ3が挿入される際の挿入抵抗を軽減できる。
次に、図7と図8を参照して、本発明の実施形態3を説明する。
図7は、本発明の実施形態3であるフィルタ装置101を示す正面図である。図8は、図7のフィルタ装置のC−C線における断面図である。
図7と図8に示すフィルタ装置101は、好ましくはビル空調、工場空調等の交換頻度の高い粗塵・中性能フィルタ装置である。フィルタ装置101は、直方体形状を有するケーシング(もしくはチャンバーともいう)102と、1つのフィルタ3を有している。このフィルタ103は、例えば長方形状の板状の部材であり、ケーシング102内に挿入して着脱可能に固定される。
上面部102Eには開口部190が設けられ、底面部102Fには、開口部191が設けられている。開口部190は上流側のダクトに接続され、開口部191は下流側のダクトに接続される。上面部102Eと底面部102Fは対面しており、底面部102Fは気流の下流側であり、上面部102Eは気流の上流側である。従って、気流はZ2方向に流れる。ケーシング102内には、四角の枠状のフィルタ取付枠162が配置され、さらに、直線枠状のガイド部142が上側と下側に配置されている。
図7に示す正面部102Aには、点検扉104を有しており、蝶番105により開閉可能になっている。ケーシング102内には、フィルタ103が配置されている。フィルタ103は、プレフィルタ103Aと、中性能フィルタ103Bと、ガスケット103Cを有しており、ガスケット103Cは、ケーシング102内のフィルタ取付枠162側に押し付けられている。
これにより、作業者がケーシング102内にプレフィルタ103Aと中性能フィルタ103Bとガスケット103Cから成るユニットを図12に示すY1方向に沿って挿入するだけで、4つの押圧固定部40はプレフィルタ103Aと中性能フィルタ103Bのガスケット103Cは、フィルタ取付枠162に対してZ2方向に沿って押し付けて確実に固定することができる。ローラ65が設けられていることで、押圧固定部40とプレフィルタ103Aとの間における摩擦力を低減でき、押圧固定部40が複数箇所設けられていても、フィルタ103が挿入される際の挿入抵抗を軽減できる。
なお、プレフィルタ103Aの周囲部分と中性能フィルタ103Bの周囲部分には、それぞれフィルタ取付けフレームが取り付けられている。各押圧固定部40のローラ65は、プレフィルタ103Aのフィルタ取付けフレームに当接されている。これにより、ローラ65がプレフィルタ103A自体を直接加圧することがないようにしている。
本発明の実施形態のフィルタ装置では、ビル空調、工場空調などの数ヶ月サイクルと交換頻度の高い粗塵・中性能フィルタが容易に着脱でき、フィルタの交換作業性が向上できる。しかも、多数のフィルタ装置が工場等の取り付け対象建物に装着されている場合には、特にフィルタの交換作業性が向上できる。
ところで、本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変形例を採用することができる。押圧固定部が押し付けるフィルタのフィルタ枠の押し付ける箇所は、フィルタのフィルタ枠の四箇所だけでなく、さらに追加しても良い。あるいは本発明の各実施形態では、フィルタは、フィルタ枠の四箇所においてフィルタ取付枠に対して均等圧力で押し付けて固定されているが、2点の配置ポジションにおいてフィルタ取付枠に対して押し付けて固定するようにしても良い。
フィルタ装置のケーシングは、例えば上流側のダクトと、このダクトに直交する方向に空気を流す下流側のダクトの間に配置するようにしても良い。フィルタ装置のケーシングは、ダクトの途中に配置するのではなく、ダクトの先端部に配置するようにしても良い。フィルタ装置のケーシングの上流側には、ダクトを接続し、しかもフィルタ装置のケーシングの下流側には、ファンを配置しても良い。
フィルタ装置は、例えば局所クリーン用のファンフィルタユニットであるが、空調ダクト用のファンユニットにも適用できる。
図1〜図6と、図7と図8に示す本発明のフィルタ装置は、主にビル空調、工場空調などのプレフィルタと中性能フィルタをユニットすることで構成されたフィルタを装着するのに適用できるが、フィルタ枠の四箇所の配置ポジションの押圧固定部40の圧着力や気密性能等を適宜調整することによって、本発明のフィルタ装置は、高性能フィルタを装着するのにも適用することができる。
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用される点検扉、ケーシング、フィルタ枠の四箇所の押圧固定部等の部品の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板(亜鉛、アルミ合金)、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
本発明は、使用材料に特徴があるわけではないので、記載していないものでも使用することができる。
ケミカルフィルタは、活性炭粒状、活性炭素繊維などの物理吸着による有機系ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、強酸性陽イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着による酸性ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、弱塩基性陰イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着によるアルカリガス除去フィルタの一種あるいはその複数を積層したり、平面分割したりした組合せで使用することができる。
特に、薄型低圧損という観点からすると、活性炭粒状あるいはイオン交換樹脂を不織布でサンドイッチした構造の濾材をジグザグ状に折り畳んだものが好ましい。
塵埃除去フィルタは、ガラス繊維不織布、エレクトレット不織布、PTFE膜等からなる濾材をジグザグ状に折り畳み、セパレータあるいは樹脂リボンで間隔保持して、フィルタ枠にウレタン樹脂等の気密剤で気密固化した高性能フィルタを使用することができる。
特に、ボロン、有機ガス等の発生が少ない低発ガスのという観点からするとPTFE膜濾材のフィルタが好ましい。
ファンは、軸流ファン、斜流ファン、遠心ファン、シロッコファンなどを使用することができる。
特に、薄型、軽量化などの観点からすると、軸流ファンが好ましい。
ガスケットは、クロロプレン樹脂、EPDM樹脂などを使用することができる。
特に、発ガス性などの観点からすると、EPDM樹脂が好ましい。
弾性押圧部の第一部材と第二部材の材質は、フィルタを押圧したときの反発力に耐え得るものであれば良く、例えばケーシングで使用するようなガルバニウム鋼板、メッキ鋼板(亜鉛アルミ合金)、ステンレス鋼板または樹脂を使用することができる。
また、第一部材と押圧固定部保持枠の接合方法としては、ネジ、リベット、溶接等を使用することができる。
また、蝶板と第一部材、第二部材の接合方法としては、ネジ、リベット、溶接等を使用することができる。
また、回転体の材質は、スチールや樹脂等を使用することができる。
Claims (4)
- ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、
前記ケーシング内で前記フィルタを取り付け固定するフィルタ取付枠と、
前記フィルタ取付枠に沿って挿入された前記フィルタのフィルタ枠の複数箇所を前記フィルタ取付枠側に押し付けて密着させる押圧固定部と、
を有し、
前記押圧固定部は、
前記ケーシング内に設けられ、前記フィルタを前記フィルタ取付枠に弾性力で押圧して前記フィルタのガスケットを前記フィルタ取付枠に密着させる弾性押圧部と、
前記弾性押圧部に設けられて前記フィルタ枠に当接される回転体と
を有することを特徴とするフィルタ装置。 - 前記押圧固定部の前記弾性押圧部が押し付ける前記フィルタのフィルタ枠は、前記フィルタのフィルタ枠の四箇所であることを特徴とする請求項1に記載のフィルタ装置。
- 前記押圧固定部の前記弾性押圧部は、前記ケーシング側に固定される第1部材と、第2部材と、前記第2部材を前記第1部材に対して弾性変形可能に支持する付勢部材と、を有し、前記回転体は、前記第2部材の先端部において回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のフィルタ装置。
- 前記ケーシングには、前記フィルタを前記ケーシング内に挿入するための開口部を開閉する扉が設けられ、前記扉は蝶番により前記ケーシングに対して開閉可能に取り付けられており、
前記扉の内面には、前記フィルタの端部を押して前記フィルタの挿入する方向に関して前記フィルタの位置を固定するフィルタ位置決め部材が設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のフィルタ装置。
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