JP2011076736A - プラズマ源およびそれを備えるイオン源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このイオン源を構成するプラズマ源2は、プラズマ生成容器4と、その内部に配置された複数のフィラメント10とを有している。そして各フィラメント10をタンタル製とし、かつ各フィラメント10を沿直下向きに(即ち重力G方向に向けて)配置している。
【選択図】 図4
Description
4 プラズマ生成容器
10 フィラメント
12 脚部
14 接続部
16 湾曲部
20 電流導入端子
28 プラズマ
30 引出し電極系
32 イオンビーム
G 重力
Claims (9)
- プラズマ生成容器と、その内部に配置された1以上のフィラメントとを有していて、プラズマ生成容器内に導入された原料ガスを電離させてプラズマを生成するプラズマ源において、
前記各フィラメントをタンタル製とし、かつ当該各フィラメントを沿直下向きに配置していることを特徴とするプラズマ源。 - 前記各フィラメントは、沿直下向きに湾曲した湾曲部を有している請求項1記載のプラズマ源。
- 前記各フィラメントは、沿直下向きに延びた二つの脚部と、両脚部の先端部間を接続している前記湾曲部とを有している請求項2記載のプラズマ源。
- 前記各フィラメントの湾曲部は懸垂曲線状をしている請求項2または3記載のプラズマ源。
- 前記プラズマ生成容器内に複数の前記フィラメントを有している請求項1ないし4のいずれかに記載のプラズマ源。
- 前記複数のフィラメントを沿直方向に並べて配置している請求項5記載のプラズマ源。
- 前記複数のフィラメントを、沿直方向に複数列に、かつ千鳥状に並べて配置している請求項5記載のプラズマ源。
- 前記原料ガスは少なくともヘリウムガスを含んでいる請求項1ないし7のいずれかに記載のプラズマ源。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載のプラズマ源と、当該プラズマ源において生成したプラズマからイオンビームを引き出す引出し電極系とを備えていることを特徴とするイオン源。
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