KR101175987B1 - 전자선 발생 모듈 - Google Patents

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박재우
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(주) 브이에스아이
(주)선재하이테크
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Abstract

본 발명은 전자선 발생 모듈을 제공한다. 상기 전자선 발생 모듈은, 일단부에 광 방사창이 마련되며, 절연재로 이루어지는 원통 형상의 절연관과; 상기 절연관의 내부에 배치되며, 외부로부터 전원을 인가 받아 전자선을 발생시켜 상기 광 방사창을 따라 가속시키는 전자선 발생부; 및 상기 절연관의 타단부에 배치되며, 상기 전자선 발생부로 전원을 인가하도록 외부의 전원 공급 전극이 끼워지지는 전극 연결부를 포함한다. 따라서, 이온 발생 장치로부터 용이하게 탈착 가능함과 아울러, 전원 공급 전극과의 탈착의 용이성을 부여할 수 있다.

Description

전자선 발생 모듈{MODULE FOR GENERATING ELECTRON BEAM}
본 발명은 전자선 발생 모듈에 관한 것으로서, 이온 발생 장치로부터 용이하게 탈착 가능함과 아울러, 전원 공급 전극과의 탈착의 용이성을 부여할 수 있는 전자선 발생 모듈을 제공함에 있다.
전형적으로, 제전 대상물의 대전량을 제로에 가깝게 하기 위한 수단으로서 전극침에 고전압 발생부로부터의 직류 고전압 또는 교류 고전압을 인가하여 코로나 방전시키고, 상기 전극침에 의해 정 또는 부극성의 이온을 출력시켜 이 이온을 대전체에 공기유(空氣流)로 내뿜도록 하기 위하여 이오나이저가 사용된다.
종래의 이오나이저는 개략적으로 전원부를 구비하는 본체와, 상기 본체에 설치되는 전자선 발생기로 구성된다.
종래의 전자선 발생기는 내부에 진공 공간을 제공하는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버의 내부에 설치되는 필라멘트와, 상기 진공 챔버에 설치되는 타켓 및 광 방사창과, 상기 필라멘트로 전압을 인가하는 전극들로 구성된다.
종래의 전자선 발생기의 전극들은 통상 상기 진공 챔버로부터 돌출되는 로드 형상으로 제조된다.
따라서, 상기 일정 길이를 갖는 로드 형상의 전극은 본체에 설치되는 전원부와 전선을 통하여 연결되는 일반적이다. 또는 상기 전극이 연결되는 방식이 종래에는 본체에 설치되는 다른 구성을 포함하여 이루지기도 한다.
그러나, 종래의 전자선 발생기는 상기 광 방사창을 제외한 영역이 본체의 내부에 내장되기 때문에, 전원부 자체의 이상을 제외한, 전자선 발생기에서의 장치 이상이 발생되는 경우에, 상기 전자선 발생기가 상기 본체에 내장되는 이유로, 상기 본체 전체를 교체하거나 수리해야하는 문제점이 있다.
즉, 종래에는, 상기 전자석 발생기가 본체에 내장 설치되기 때문에, 탈착이 어렵고, 탈착을 하더라도 전원부와의 연결 문제를 상기 탈착에 의하여 해결할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 필라멘트에 전원을 공급할 수 있는 외부의 전원 공급 전극과 전기적으로 연결될 수 있도록 외부의 이온 발생 장치의 소켓부에서의 탈착을 선택적으로 실시할 수 있도록 한 전자선 발생 모듈을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 외부의 이온 발생 장치에서 전자선 발생 모듈 자체의 교체를 용이하게 실시 할 수 있는 전자선 발생 모듈을 제공함에 있다.
일 양태에 있어서, 본 발명은 전자선 발생 모듈을 제공한다.
상기 전자선 발생 모듈은, 일단부에 광 방사창이 마련되며, 절연재로 이루어지는 원통 형상의 절연관과; 상기 절연관의 내부에 배치되며, 외부로부터 전원을 인가 받아 전자선을 발생시켜 상기 광 방사창을 따라 가속시키는 전자선 발생부; 및 상기 절연관의 타단부에 배치되며, 상기 전자선 발생부로 전원을 인가하도록 외부의 전원 공급 전극이 끼워지지는 전극 연결부를 포함한다.
여기서, 상기 절연관의 일단부에는 캡이 마련되되,
상기 캡은 상기 전자선이 충돌되는 타켓이 형성되는 상기 광 방사창을 갖는 원판형의 캡 몸체와, 상기 절연관의 일단을 따라 상기 캡 몸체의 일면으로부터 연장되며 외주에 나사산이 형성되는 원통 형상의 연장 몸체와, 외면이 상기 연장 몸체의 내주에 밀착되고 끝단이 상기 절연관의 일단면에 지지되는 지지 전극을 구비하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 지지 전극은,
일단이 상기 캡 몸체의 일면에 접촉되고, 상기 연장 몸체의 내주에 밀착되어 일정 길이 연장되는 원통 형상의 제 1지지 전극과, 상기 제 1지지 전극의 타단 외주를 따라 일정 길이 연장되고 저면이 상기 절연관의 일단면에 밀착되는 제 2지지 전극과, 상기 제 2지지 전극의 외주에 형성되어 상기 절연관의 일단 외주를 감싸도록 벤딩되는 제 3지지 전극을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 전자선 발생부는,
상기 절연관의 내부에 배치되는 원통 형상의 초점 전극관과, 상기 초점 전극관의 내부에 배치되며 전원을 인가 받는 한 쌍의 접지 로드를 갖는 필라멘트를 구 비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 전극 연결부는,
상기 절연관의 타단 내주에 배치되며 상기 한 쌍의 접지 로드 중 어느 하나와 연결되고 상기 초점 전극관의 타단과 연결되는 중공 형상의 제 1전극부와, 상기 제 1전극부의 내부에 배치되며, 홈 형상을 이루고 상면이 상기 한 쌍의 접지 로드 중 다른 하나와 연결되는 제 2전극부와, 상기 제 1전극부와 상기 제 2전극부를 서로 고정하며 절연재로 이루어지는 원통 형상의 고정 부재를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1전극부는,
외면이 상기 한 쌍의 접지 로드 중 어느 하나와 연결되고 상기 초점 전극관의 타단과 연결되며 내면에 상기 고정 부재의 상단부가 지지되는 제 1상단 전극과, 상기 제 1상단 전극의 하단으로부터 상기 절연관의 타단 내주를 따라 벌어지도록 일정 길이 연장되는 제 1연장 전극과, 외면이 상기 제 1연장 전극의 하단으로부터 연장되며 외면이 상기 절연관의 내주에 밀착되고 상기 절연관의 타단면을 감싸도록 벤딩되는 제 1하단 전극을 구비하고,
상기 제 2전극부는,
상면이 상기 한 쌍의 접지 로드 중 다른 하나와 연결되는 원판형의 제 2상단 전극과, 상기 제 2상단 전극의 외주에서 상기 제 1전극부의 내주를 따라 벌어지도록 일정 길이 연장되는 제 2연장 전극과, 상기 제 2연장 전극의 하단으로부터 일정 길이 연장되어 상기 제 2연장 전극의 외측으로 벌어지도록 벤딩되어 상기 고정 부 재의 하단부를 지지하는 제 2하단 전극을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1전극부의 내주와 상기 제 2전극부의 외주의 사이에는 전원 공급 전극이 끼워지는 환형의 갭이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 원통 형상의 고정 부재는, 상기 갭에 끼워져 고정 설치되되,
상기 제 1상단 전극은, 상기 고정 부재의 상면을 밀착 지지하는 환형의 제 1메인 지지 몸체와, 상기 제 1상단 지지 몸체의 외주로부터 연장되어 상기 고정 부재의 상단부 외주를 밀착하여 감싸는 제 1서브 지지 몸체로 형성되고,
상기 제 2하단 전극은, 상기 고정 부재의 하단부 내주를 밀착하는 제 2메인 지지 몸체와, 상기 제 2메인 지지 몸체의 외주로부터 벌어지도록 연장되어 상기 고정 부재의 하단면을 밀착 지지하는 제 2서브 지지 몸체로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 2연장 전극은 적어도 하나 이상의 벤딩 포인트를 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 초점 전극관의 타단은 상기 제 1상단 전극의 외면을 감싸도록 벤딩되어 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명은 필라멘트에 전원을 공급할 수 있는 외부의 전원 공급 전극이 끼워져 전기적으로 연결될 수 있는 전극 결합홀을 형성하여 필라멘트를 갖는 전자선 발생 모듈이 전원 공급 전극과 용이하게 탈착될 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 전자선 발생 모듈을 외부의 이온 발생 장치에서 용이하게 탈착 가능하도록 하여 전자선 발생 모듈 자체의 교체를 용이하게 할 수 있는 효과를 갖는다.
이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 전자선 발생 모듈을 설명하도록 한다.
도 1a은 본 발명의 전자선 발생 모듈을 보여주는 분해 사시도이다. 도 1b는 도 1a의 전자선 발생 모듈을 보여주는 다른 분해 사시도이다. 도 2a는 본 발명의 전자선 발생 모듈을 보여주는 단면도이다. 도 2b는 본 발명의 전자선 발생 모듈이 끼워져 설치되는 광 이온 발생 장치의 일 예를 보여주는 단면도이다. 도 3은 도 2a의 표시 부호 A의 확대 단면도이다. 도 4는 도 2a의 표시 부호 B의 확대 단면도이다. 도 5는 본 발명의 전자선 발생 모듈이 도 2b의 장치의 소켓부에 결합된 것을 보여주는 단면도이다. 도 6은 본 발명의 전자선 발생 모듈이 외부의 장치의 소켓부에 결합된 것을 보여주는 사시도이다.
도 1a 내지 도 6을 참조 하면, 본 발명의 전자선 발생 모듈(100)은 크게 캡(200)과, 절연관(300)과, 전자선 발생부(400) 및 전극 연결부(500)로 구성된다. 여기서 전자선은 특히, X선 발생을 포함하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 상기 전자선 발생 모듈(100)이 외부의 광 이온 발생 장치(800)에서 선택적으로 탈착 가능하도록 구성되는 것이다. 전자선 발생모듈(100)은 광 이온 발생장치(800)에 나사결합되어 탈착 가능하거나, 캡 몸체(210)의 가장자리에 광 이온 발생장치(800)와 결합시키기 위한 나사홀을 형성하여 나사결합 함에 의해서 탈착 가 능할 수 있다. 이 외에도 다양한 방식에 의해서 결합 및 분리가 가능하게 할 수 있으며, 이러한 방식은 당업자라면 이해할 수 있을 것이므로 상세한 설명을 생략한다.
이어, 상기 전자선 발생 모듈(100)의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.
도 2a에 도시되는 바와 같이 상기 절연관(300)은 일정 길이를 갖는 원통 형상으로 형성된다. 바람직하게는, 상기 절연관(300)의 길이는 도 2b에 도시되는 광 이온 발생 장치(800)에 형성되는 소켓부(600)에 끼워질 수 있도록 형성되는 것이 좋다.
여기서, 상기 광 이온 발생 장치(800)는 금속으로 이루어지고, 상기 소켓부(600)의 소켓부 몸체(610)는 부도체로 이루어진다. 이에 따라, 상기 전자선 발생 모듈(100)은 상기 소켓부 몸체(610)에 끼워질 수 있다. 상기 소켓부 몸체(610)에는 내부 공간(601)이 형성되고, 내측면에는 외부로 관통되는 제 1관통홀(621)과 제 2관통홀(622)이 형성된다. 그리고, '611'은 돌기로서, 하기에 기술되는 제 1전극부(510)와 고정 부재(530)의 사이 공간에 끼워지는 부재이다.
도 2b를 참조 하면, 본 발명의 전자선 발생 모듈(100)이 끼워져 결합되는 광 이온 발생 장치(800)에는 전원 인가부(700)가 마련된다. 실질적으로 상기 전원 인가부(700)는 상기 전자선 발생 모듈(100)로 전원을 인가하는 역할을 할 수 있다.
상기 전원 인가부(700)는 상기 소켓부 몸체(610)에 마련되며 상기 제 1관통홀(621)에 끼워져 고정되는 제 1전원 인가부(710)와 상기 제 2관통홀(621)에 끼워져 고정되는 제 2전원 인가부(720)로 구성될 수 있다. 상기 제 1전원 인가부(710) 는 제 1몸체(711), 제 1'몸체(712), 제 1탄성 부재(713)로 구성되고, 상기 제 2전원 인가부(720)는 제 2몸체(721), 제 2'몸체(722), 제 2탄성 부재(723)로 구성될 수 있다. 그리고, 도 2b에 도시된 '711a','712a' '721a','722a'는 각 탄성 부재가 위치되는 공간이다.
이어, 상기 절연관(300)은 실리콘 재질의 절연재로 이루어지는 것이 좋다.
상기 절연관(300)의 일단에는 상기 캡(200)이 설치된다.
상기 캡(200)은 캡 몸체(210)와, 상기 캡 몸체(210)의 일면으로부터 연장되는 연장 몸체(220)와, 상기 연장 몸체(220)와 연결되는 지지 전극(230)으로 구성된다.
상기 캡 몸체(210)는 원판형으로 형성된다. 그리고, 상기 캡 몸체(210)에는 타켓(212)을 갖는 광 방사창(211)이 형성된다.
상기 연장 몸체(220)는 원통 형상으로 형성되어, 상기 캡 몸체(210)의 일면으로부터 일정 길이 돌출되도록 형성된다. 그리고, 상기 연장 몸체(220)의 외주에는 나사산(221)이 형성된다. 여기서, 상기 나사산(221)은 상기 소켓부(600)에서 나사 결합될 수 있는 기능을 수행하는 부재이다.
그리고, 상기 지지 전극(230)은 외면이 상기 연장 몸체(220)의 내주에 밀착되고 끝단이 상기 절연관(300)의 일단면에 지지될 수 있는 구조를 가진다.
상기 지지 전극(230)은 일단이 상기 캡 몸체(210)의 일면에 접촉되고, 상기 연장 몸체(220)의 내주에 밀착되어 일정 길이 연장되는 원통 형상의 제 1지지 전극(231)과, 상기 제 1지지 전극(231)의 타단 외주를 따라 일정 길이 연장되고 저면 이 상기 절연관(300)의 일단면에 밀착되는 제 2지지 전극(232)과, 상기 제 2지지 전극(232)의 외주에 형성되어 상기 절연관(300)의 일단 외주를 감싸도록 벤딩되는 제 3지지 전극(233)을 구비하여, 서로 일체로 이루어진다.
따라서, 상기 지지 전극(230)은 상기 캡 몸체(210)와 상기 연장 몸체(220)를 지지하여 상기 절연관(300)의 일단부에 부착시키는 역할을 할 수 있다.
상기 절연관(300)의 내부에는 전자선 발생부(400)가 배치된다.
상기 전자선 발생부(400)는 상기 절연관(300)의 내부에 배치되는 원통 형상의 초점 전극관(410)과, 상기 초점 전극관(410)의 내부에 배치되며 전원을 인가 받는 한 쌍의 접지 로드(431,432)를 갖는 필라멘트(420)로 구성된다.
여기서, 상기 한 쌍의 접지 로드(431,432)는 제 1접지 로드(431)와 제 2접지로드(432)로 구성된다. 그리고, 상기 한 쌍의 접지 로드(431,432)는 외부에서 공급되는 전류가 흐를 수 있는 전극의 역할을 한다. 따라서, 상기 한 쌍의 접지 로드(431,432)는 상기 전류를 상기 한 쌍의 접지 로드(431,432)의 단부를 잇도록 설치되는 필라멘트(420)로 인가할 수 있다.
따라서, 상기 필라멘트(420)는 일정 온도로 가열됨과 아울러, 전자를 외부로 방출한다.
그리고, 상기 초점 전극관(410)은 상기 방출되는 전자를 가속시키어 상기 캡 몸체(210)에 마련되는 타켓(212)을 타격할 수 있도록 한다.
또한, 상기 초점 전극관(410)의 타단은 하기에 기술되는 제 1전극부(510)의 제 1상단 전극(511)의 외면을 감싸도록 벤딩되어 형성될 수 있다. 따라서, 상기 초 점 전극관(410)은 상기 제 1전극부(510)에서 안정적으로 고정 설치될 수 있다.
이에 따라, 양극을 형성하는 캡 몸체(210)의 타켓(212)을 타격함으로써, 광 방사창(211)을 통하여 외부로 전자선을 발생시킬 수 있다.
상기 절연관(300)의 타단부에는 전극 연결부(500)가 설치된다.
상기 전극 연결부(500)는 제 1전극부(510)와 제 2전극부(520)로 구성된다.
상기 제 1전극부(510)는 상기 절연관(300)의 타단 내주에 배치되며 상기 한 쌍의 접지 로드(431,432) 중 어느 하나(제 1접지 로드(431))와 연결되고 상기 초점 전극관(410)의 타단과 연결되는 중공 형상으로 이루어진다.
그리고, 상기 제 2전극부(520)는 상기 제 1전극부(510)의 내부에 배치되며, 홈 형상을 이루고 상면이 상기 한 쌍의 접지 로드(431,432) 중 다른 하나(제 2접지 로드(432))와 연결될 수 있다.
이에 더하여, 상기 전극 연결부(500)는 상기 제 1전극부(510)와 상기 제 2전극부(520)를 서로 고정하며 절연재로 이루어지는 원통 형상의 고정 부재(530)를 갖는다.
상기 원통 형상의 고정 부재(530)는 상기 절연관(300)의 내부를 외부로부터 기밀시키는 역할을 할 수 있다. 즉, 상기 절연관(300)의 내부를 진공 상태를 유지할 수 있도록 한다.
여기서, 상기 제 1전극부(510)와 상기 제 2전극부(520)를 더 상세하게 설명하도록 한다.
상기 제 1전극부(510)는 외면이 상기 제 1접지 로드(431)와 연결되고 상기 초점 전극관(410)의 타단과 연결되며 내면에 상기 고정 부재(530)의 상단부가 지지되는 제 1상단 전극(511)과, 상기 제 1상단 전극(511)의 하단으로부터 상기 절연관(300)의 타단 내주를 따라 벌어지도록 일정 길이 연장되는 제 1연장 전극(512)과, 외면이 상기 제 1연장 전극(512)의 하단으로부터 연장되며 외면이 상기 절연관(300)의 내주에 밀착되고 상기 절연관(300)의 타단면을 감싸도록 벤딩되는 제 1하단 전극(513)으로 구성된다.
따라서, 상기 제 1전극부(510)는 음극 전극으로서, 외부로부터 공급되는 전원을 상기 제 1접지 로드(431)로 인가하는 역할을 한다.
그리고, 상기 제 2전극부(520)는 상면이 상기 제 2접지 로드(432)와 연결되는 원판형의 제 2상단 전극(521)과, 상기 제 2상단 전극(521)의 외주에서 상기 제 1전극부(510)의 내주를 따라 벌어지도록 일정 길이 연장되는 제 2연장 전극(522)과, 상기 제 2연장 전극(522)의 하단으로부터 일정 길이 연장되어 상기 제 2연장 전극(522)의 외측으로 벌어지도록 벤딩되어 상기 고정 부재(530)의 하단부를 지지하는 제 2하단 전극(523)으로 구성된다.
따라서, 상기 제 2전극부(520)는 음극 전극으로서, 외부로부터 공급되는 전원을 상기 제 2접지 로드(432)로 인가하는 역할을 할 수 있다.
여기서, 상기 제 1전극부(510)와 상기 제 2전극부(520)는 원통 형상의 전극을 이루고, 다만, 상기 제 2전극부(520)는 원통형을 이루되 상면이 제 1상단 전극(511)이 형성되는 홈 형상을 이룬다.
한편, 상기 제 1전극부(510)의 내주와 상기 제 2전극부(520)의 외주의 사이 에는 전원 공급 전극(미도시)이 끼워지는 환형의 갭(G)이 형성된다.
여기서, 상기의 절연관(300)로 사용되는 원통 형상의 고정 부재(530)는 상기 갭(G)에 끼워져 고정 설치되는 것이 좋다. 따라서, 상기 고정 부재(530)는 상기 절연관(300)의 내부 공간 즉, 상기 전자선 발생부(400)가 위치되는 공간을 외부로부터 기밀시켜 진공 상태를 용이하게 유지함과 아울러, 음극 전극인 제 1전극부(510) 및 제 2전극부(520)를 서로 절연시키는 역할을 한다.
상기와 같이 고정 설치되는 고정 부재(530)의 고정 방식을 설명하도록 한다.
상기 제 1전극부(510) 중, 상기 제 1상단 전극(511)은 상기 고정 부재(530)의 상면을 밀착 지지하는 환형의 제 1메인 지지 몸체(511a)와, 상기 제 1상단 지지 몸체(511a)의 외주로부터 연장되어 상기 고정 부재(530)의 상단부 외주를 밀착하여 감싸는 제 1서브 지지 몸체(511b)로 형성된다.
그리고, 상기 제 2전극부(520) 중, 상기 제 2하단 전극(523)은 상기 고정 부재(530)의 하단부 내주를 밀착하는 제 2메인 지지 몸체(523a)와, 상기 제 2메인 지지 몸체(523a)의 외주로부터 벌어지도록 연장되어 상기 고정 부재(530)의 하단면을 밀착 지지하는 제 2서브 지지 몸체(523b)로 형성된다.
따라서, 상기와 같이, 상기 고정 부재(530)의 외주, 내주, 상단면 및 하단면은 상기 제 1,2전극부(510,520)에 의하여 그 위치가 고정되어 설치될 수 있다.
여기서, 상기 제 1전극부(510)와 상기 고정 부재(530)의 외주의 사이에는 일정 공간이 더 형성된다. 이는 상기 절연관(300)의 타단으로부터 외부에 노출되는 공간으로써, 환형의 공간을 이룬다. 그리고, 상기 환형의 공간에는 외부에서의 환 형의 지지 돌기(611)가 끼워지기 때문에, 본 발명의 전자선 발생 모듈(100)은 상기 지지 돌기(611)에 의하여 그 위치가 고정될 수도 있다. 바람직하게는, 상기 지지 돌기(611)는 상기 소켓부(600)의 내부 공간의 내측면에 형성될 수 있기 때문에, 본 발명의 전자선 발생 모듈(100)은 상기 소켓부(600)에 끼워져 용이하게 고정될 수 있는 것이다.
또 한편, 본 발명에 따르는 상기 제 2연장 전극(522)은 적어도 하나 이상의 벤딩 포인트가 형성될 수 있다. 따라서, 외부에서 상기 제 2전극부(520)로 충격이 가해지는경우에 상기 충격은 상기 벤딩 포인트에 의하여 용이하게 흡수될 수 있기 때문에, 실질적으로 상기 제 2전극부(520)의 형상 변형은 최소화될 수 있다.
물론, 상기에 언급되는 벤딩 포인트는 상기 제 1전극부(510)에도 상기와 동일한 방식으로 채택될 수 있다.
여기서, 도시되지 않은 도번 700, 710, 720은 전자선 발생 모듈로 전원을 공급하는 전극이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형 가능함은 물론이다.
따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허 청구 범위뿐만 아니라, 이 특허 청구 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1a은 본 발명의 전자선 발생 모듈을 보여주는 분해 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 전자선 발생 모듈을 보여주는 다른 분해 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 전자선 발생 모듈을 보여주는 단면도이다.
도 2b는 본 발명의 전자선 발생 모듈이 끼워져 설치되는 광 이온 발생 장치의 일 예를 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 2a의 표시 부호 A의 확대 단면도이다.
도 4는 도 2a의 표시 부호 B의 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 전자선 발생 모듈이 도 2b의 장치의 소켓부에 결합된 것을 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 전자선 발생 모듈이 외부의 장치의 소켓부에 결합된 것을 보여주는 사시도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호설명*
100 : 전자선 발생 모듈 200 : 캡
210 : 캡 몸체 220 : 연장 몸체
230 : 지지 전극 300 : 절연관
400 : 전자선 발생부 410 : 초점 전극관
420 : 필라멘트 431 : 제 1접지 로드
432 : 제 2접지 로드 500 : 전극 연결부
510 : 제 1전극부 520 : 제 2전극부
530 : 고정 부재

Claims (10)

  1. 일단부에 광 방사창이 마련되며, 절연재로 이루어지는 원통 형상의 절연관;
    상기 절연관의 내부에 배치되며, 외부로부터 전원을 인가 받아 전자선을 발생시켜 상기 광 방사창을 따라 가속시키는 전자선 발생부; 및
    상기 절연관의 타단부에 배치되며, 상기 전자선 발생부로 전원을 인가하도록 외부의 전원 공급 전극이 끼워지지는 전극 연결부를 포함하고,
    상기 절연관의 일단부에는 캡이 마련되되,
    상기 캡은 상기 전자선이 충돌되는 타켓이 형성되는 상기 광 방사창을 갖는 원판형의 캡 몸체와, 상기 절연관의 일단을 따라 상기 캡 몸체의 일면으로부터 연장되며 외주에 나사산이 형성되는 원통 형상의 연장 몸체와, 외면이 상기 연장 몸체의 내주에 밀착되고 끝단이 상기 절연관의 일단면에 지지되는 지지 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 전극은,
    일단이 상기 캡 몸체의 일면에 접촉되고, 상기 연장 몸체의 내주에 밀착되어 일정 길이 연장되는 원통 형상의 제 1지지 전극과, 상기 제 1지지 전극의 타단 외주를 따라 일정 길이 연장되고 저면이 상기 절연관의 일단면에 밀착되는 제 2지지 전극과, 상기 제 2지지 전극의 외주에 형성되어 상기 절연관의 일단 외주를 감싸도록 벤딩되는 제 3지지 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 전자선 발생부는,
    상기 절연관의 내부에 배치되는 원통 형상의 초점 전극관과, 상기 초점 전극관의 내부에 배치되며 전원을 인가 받는 한 쌍의 접지 로드를 갖는 필라멘트를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 전극 연결부는,
    상기 절연관의 타단 내주에 배치되며 상기 한 쌍의 접지 로드 중 어느 하나와 연결되고 상기 초점 전극관의 타단과 연결되는 중공 형상의 제 1전극부와, 상기 제 1전극부의 내부에 배치되며, 홈 형상을 이루고 상면이 상기 한 쌍의 접지 로드 중 다른 하나와 연결되는 제 2전극부와, 상기 제 1전극부와 상기 제 2전극부를 서로 고정하며 절연재로 이루어지는 원통 형상의 고정 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1전극부는,
    외면이 상기 한 쌍의 접지 로드 중 어느 하나와 연결되고 상기 초점 전극관의 타단과 연결되며 내면에 상기 고정 부재의 상단부가 지지되는 제 1상단 전극과, 상기 제 1상단 전극의 하단으로부터 상기 절연관의 타단 내주를 따라 벌어지도록 일정 길이 연장되는 제 1연장 전극과, 외면이 상기 제 1연장 전극의 하단으로부터 연장되며 외면이 상기 절연관의 내주에 밀착되고 상기 절연관의 타단면을 감싸도록 벤딩되는 제 1하단 전극을 구비하고,
    상기 제 2전극부는,
    상면이 상기 한 쌍의 접지 로드 중 다른 하나와 연결되는 원판형의 제 2상단 전극과, 상기 제 2상단 전극의 외주에서 상기 제 1전극부의 내주를 따라 벌어지도록 일정 길이 연장되는 제 2연장 전극과, 상기 제 2연장 전극의 하단으로부터 일정 길이 연장되어 상기 제 2연장 전극의 외측으로 벌어지도록 벤딩되어 상기 고정 부재의 하단부를 지지하는 제 2하단 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1전극부의 내주와 상기 제 2전극부의 외주의 사이에는 환형의 갭이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 원통 형상의 고정 부재는, 상기 갭에 끼워져 고정 설치되되,
    상기 제 1상단 전극은, 상기 고정 부재의 상면을 밀착 지지하는 환형의 제 1메인 지지 몸체와, 상기 제 1상단 지지 몸체의 외주로부터 연장되어 상기 고정 부재의 상단부 외주를 밀착하여 감싸는 제 1서브 지지 몸체로 형성되고,
    상기 제 2하단 전극은, 상기 고정 부재의 하단부 내주를 밀착하는 제 2메인 지지 몸체와, 상기 제 2메인 지지 몸체의 외주로부터 벌어지도록 연장되어 상기 고정 부재의 하단면을 밀착 지지하는 제 2서브 지지 몸체로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 제 2연장 전극은 적어도 하나 이상의 벤딩 포인트를 갖는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 초점 전극관의 타단은 상기 제 1상단 전극의 외면을 감싸도록 벤딩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 전자선 발생 모듈.
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