JP5292558B2 - イオンガン - Google Patents
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Description
特許文献1には、複数のイオンビーム引出し孔が配置され、対応する電流密度ピークを持つイオンビームを出射するイオンガンが開示されている。
図11Bに示すように、グリッド30は、アノード20の周縁で画定される領域にx軸方向に配列される複数のイオンビーム引出し孔31を有する。
図11Dはこの構成における、グリッド面から25mmの位置、即ち、処理基板が配置される位置におけるイオンビームの電流密度を示すものである。図示するように、各ピークはイオンビーム引出し孔31に対応し、中心付近の電流密度ピークに対して端部側の電流密度ピークが大きく減少してしまう。このように、図11A及び11Bの構成にはイオンビーム電流密度が不均一なものとなってしまうという問題があった。
処理基板側において均一なイオン電流密度分布を得るには、イオンビームの射出に寄与する引き出し孔付近におけるプラズマ密度が均一である必要がある。図1のような構成を持つイオンガンの場合、フィラメント端部の放熱により凸型の(即ち、中心部から外側に向かって温度が低い)温度分布が形成されプラズマ生成のおよび持続に必要な電子がアノードの端部に向かうにつれて不足する。
その結果、プラズマ密度は図12の曲線aで示すように、相対的にアノード中心のプラズマ密度が高く端部に近づくにつれて低くなる傾向にある。この傾向は、イオンビームの射出に寄与する引き出し孔の領域に限定した場合においても同様のことが言え、図11Dのように中心付近の電流密度ピークに対して端部の電流密度が低くなってしまう。
そこで、複数のイオンビーム引出し孔が整列されたイオンガンにおいて、端部側のイオンビームの電流密度が小さくなってしまうという問題を、フィラメントへの電力供給態様を変えずに解決することが望ましい。
図2A及び2Bに第1の実施例のイオンガンにおけるアノード20周辺の図を示す。なお、本発明のイオンガンにおけるフィラメント(カソード)10、グリッド30、本体40及び第1の磁石50の構成は前述した図1、図11A及び11Bに示したものと同様であるので説明を省略する。
例えば、図4A及び4Bに示すように、第2の磁石60をグリッド30の外側に配置してもよい。この構成においても同様の作用・効果を奏することができる。
図5A及び5Bに本発明の第2の実施例を示す。実施例1では第2の磁石60に永久磁石を用いたが、本実施例では電磁石を用いる。図5A及び5Bにおいて、第2の磁石60は、磁性材料の芯にコイル(斜線部)が巻かれ、これに電源(不図示)から通電することによって磁力を発生させるものである。なお、本実施例でも第2の磁石60は中心側がS極、他方がN極となっている。
この構成においても、上記実施例1と同様の効果が得られる。
図8A及び8Bは第2の磁石60について、N極をx軸原点方向に、S極をその逆方向にして配置したものである(図2A及び2Bと極性が逆である)。これによりイオンビーム引出し孔31の端部付近ではx軸外側方向の磁場が与えられる。
図8Cに示すように、第2の磁石60によって複数のイオンビーム引出し孔31の端部付近での磁場がイオンビーム引出し孔31の外側に向けられる。
図8Dに示すように、イオンビーム電流密度はその不均一性が増すばかりか、電流密度が全体的に減殺されてしまう。
図9A及び9Bは第2の磁石60について、S極をz軸正方向に、N極をその逆方向にして配置したものである。これにより、図9Cに示すように、イオンビーム引出し孔31の端部付近ではz軸正方向の磁場が与えられる。この構成の概念(即ち、磁場のベクトルの向きではなく大きさを変える概念)は特許文献2の端部側フィラメントの電力を増大させるものと類似する。
図9Dに示すように、そのイオンビーム電流密度は図11Dのものと比べて全体的に高くなっているものの、その不均一性はほとんど解消されていない。
上記実施例1及び2では第2の磁石60を固定のものとしたが、本実施例では参考例1及び2を踏まえた上で、その設置角度を可変とするものを示す。
第2の磁石60各々のz軸方向に対する設置角度を可変とし、x軸原点方向への磁場を調整することができる。具体的には、第2の磁石60をz軸方向に対して90°に設置した場合のx軸原点方向の磁場が強すぎる場合は、図10Aに示すように、第2の磁石60のz軸方向に対する角度を90°よりも小さくすればよい。
なお、4個の第2の磁石60の設置角度が連動するものであってもよいし、x軸対称位置、y軸対称位置又は対角位置にある対が連動するものであってもよいし、4個の設置角度が個々に調整可能なものであってもよい。
図10Bは、この場合のイオンビーム引出し方法のフローチャートである。
ステップS100において、ガス導入口41からアルゴン等の放電ガスが導入され、フィラメント(カソード)10に負電圧、アノード20に正電圧が印加され、この間の放電によりプラズマが生成される。
ステップS110において、第1の磁石50によってz軸正方向に、第2の磁石60によってx軸原点方向に磁場が与えられている状態で、グリッド30に電圧が印加されてプラズマからイオンが引き出され、加速される。
この時点でイオンビーム電流密度の端部側ピークが中央部ピークよりも高い場合、ステップS120において、第2の磁石60の設置角度が調整され、電流密度ピークの分布が調整される。また、第2の磁石60を電磁石とした場合は、所望の電流密度ピーク分布となるようにコイルに通電する電流を調整してもよい。
なお、各図は必ずしも寸法通りではない。
20.アノード
30.グリッド
31.イオンビーム引出し孔
40.本体
41.ガス導入口
50.第1の磁石
60.第2の磁石
Claims (5)
- カソード及びアノードからなるプラズマ生成手段並びにプラズマからイオンビームを引き出すグリッドを備えたイオンガンにおいて、
該グリッドが長手方向に複数又は一連のイオンビーム引出し孔を有し、
該複数又は一連のイオンビーム引出し孔の中心部を原点として、該長手方向をx軸方向、イオンビーム出射方向をz軸正方向として、
該複数又は一連のイオンビーム引出し孔の周辺に配置され、該複数又は一連のイオンビーム引出し孔にz軸正方向の磁場を与える第1の磁石、及び
該複数又は一連のイオンビーム引出し孔の長手方向端部に配置され、該端部付近にx軸原点方向の磁場を与えて該端部付近におけるプラズマ密度を高める第2の磁石
をさらに備えたイオンガン。 - 請求項1記載のイオンガンにおいて、
前記カソードが、前記イオンビーム引出し孔の長手方向に沿って架設されたフィラメントであるイオンガン。 - 請求項2記載のイオンガンにおいて、
前記アノードが、前記フィラメントに平行な長手方向を有する環状のアノードであり、前記第2の磁石により、前記アノード長手方向端部の磁力線を前記アノード中心側に向けたイオンガン。 - 請求項2又は3記載のイオンガンにおいて、
前記カソードが、一対のフィラメント電極間に架設されたフィラメントからなるイオンガン。 - 請求項1乃至4のいずれか1項記載のイオンガンにおいて、
x軸及びz軸に垂直な軸をy軸として、少なくとも4個の前記第2の磁石が、前記複数又は一連のイオンビーム引出し孔を囲むx軸対称位置及びy軸対称位置に配置され、該第2の磁石各々が、S極をx軸原点方向に、N極をその逆方向に向けて配置されたイオンガン。
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