JP2011071957A - 表面実装用水晶振動子の製造方法 - Google Patents
表面実装用水晶振動子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011071957A JP2011071957A JP2010077207A JP2010077207A JP2011071957A JP 2011071957 A JP2011071957 A JP 2011071957A JP 2010077207 A JP2010077207 A JP 2010077207A JP 2010077207 A JP2010077207 A JP 2010077207A JP 2011071957 A JP2011071957 A JP 2011071957A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- support
- crystal
- base
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 124
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 165
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 28
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 18
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 18
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 4
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】第1支持部16aで第1水晶ウェハ15aに接続する枠付き水晶板7と、第2支持部16bで第2水晶ウェハ15bに接続するカバー8と、第3支持部16cで第3水晶ウェハ15cに接続するベース9とを形成したとき、第1〜3支持部16a〜16cの少なくとも一つの厚さは接続する水晶ウェハ15a〜15cより薄い表面実装振動子の製造方法。
【選択図】図1
Description
表面実装用水晶振動子(以下、表面実装振動子とする)は小型・軽量であることから、特に携帯型の電子機器に周波数や時間の基準源として広く採用される。近年では、情報化社会に応じて表面実装振動子の消費量も多く、生産性が求められている。このようなものの一つに、振動部と振動部を取り囲んだ枠部とからなる枠付き水晶板の両主面にベース及びカバーを積層した表面実装振動子がある。
第12図〜第15図は一従来例を説明する表面実装振動子の図であり、第12図は組立分解図、第13図(a)はカバーが形成されたウェハの平面図、同図(b)は枠付き水晶板が形成されたウェハの平面図、同図(c)はベースが形成されたウェハの平面図、第14図はウェハ重ね合わせ時の組立分解図、第15図はウェハ重ね合わせ時の第14図におけるA−A断面図である。
しかしながら、上記構成の表面実装振動子1では、製造工程で水晶ウェハ15(abc)を重ね合わせたとき、支持部16(abc)の厚さの合計が表面実装振動子1の厚さに等しくなる(第15図参照)。よって、水晶ウェハ15(abc)に接続した表面実装振動子1を折り取る時に強い力を加える必要があり、表面実装振動子1の支持部16(abc)が形成された外側面等が破損するおそれがあった。
本発明は水晶ウェハから表面実装振動子を容易に折り取ることができて、外側面等が破損するおそれを低減する表面実装振動子の製造方法の提供を目的とする。
本発明は、特許請求の範囲(請求項1)に示したように、水晶からなる第1ウェハをエッチングして、振動部を枠部が取り囲み前記振動部が連結部によって前記枠部に接続した枠付き水晶板と前記枠付き水晶板を前記第1ウェハに接続する第1支持部とを形成する工程と、第2ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の一主面に接合されるカバーと前記カバーを前記第2ウェハに接続する第2支持部とを形成する工程と、第3ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の他主面に接合されるベースと前記ベースを前記第3ウェハに接続する第3支持部とを形成する工程と、前記第1ウェハの両主面に前記第2、第3ウェハを重ね合わせて、前記枠付き水晶板における前記枠部の両主面に前記カバー及びベースを接合し前記振動部を密閉封入して、前記第1ないし第3ウェハに前記第1ないし第3支持部によって接続した表面実装用水晶振動子を形成する工程と、前記第1ないし第3ウェハに接続した前記表面実装用水晶振動子を折り取る工程とを有する表面実装用水晶振動子の製造方法において、前記第1ないし第3支持部の少なくとも1つの厚さは前記枠付き水晶板、前記カバー又は前記ベースにおける前記第1ないし第3支持部との接続部の厚さより薄い製造方法とする。
また、本発明は、特許請求の範囲(請求項3)に示したように、水晶からなる第1ウェハをエッチングして、振動部を枠部が取り囲み前記振動部が連結部によって前記枠部に接続した枠付き水晶板と前記枠付き水晶板を前記第1ウェハに接続する第1支持部とを形成する工程と、第2ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の一主面に接合されるカバーと前記カバーを前記第2ウェハに接続する第2支持部とを形成する工程と、第3ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の他主面に接合されるベースと前記ベースを前記第3ウェハに接続する第3支持部とを形成する工程と、前記第1ウェハの両主面に前記第2、第3ウェハを重ね合わせて、前記枠付き水晶板における前記枠部の両主面に前記カバー及びベースを接合し前記振動部を密閉封入して、前記第1ないし第3ウェハに前記第1ないし第3支持部によって接続した表面実装用水晶振動子を形成する工程と、前記第1ないし第3ウェハに接続した前記表面実装用水晶振動子を折り取る工程とを有する表面実装用水晶振動子の製造方法において、前記第1ないし第3ウェハを重ね合わせたとき、前記第1支持部における前記第1ウェハの厚さ方向に対する斜め方向に前記第2支持部及び又は前記第3支持部が配置された製造方法とする。
第1解決手段の製造方法であれば、第1支持部の厚さは枠付き水晶板における第1支持部との接続部の厚さより薄い、及び又は、第2支持部の厚さはカバーにおける第2支持部との接続部の厚さより薄い、及び又は、第3支持部の厚さはベースにおける第3支持部との接続部の厚さより薄い構成となる。よって、第1ないし第3支持部の厚さの合計が、第1ないし第3支持部をエッチングしない場合と比べて小さくなる。したがって、第1ないし第3支持部をエッチングしない場合より小さい力で第1ないし第3ウェハから表面実装振動子を折り取ることができる。ゆえに、表面実装振動子をウェハから容易に折り取ることができ、さらに、折り取るときに表面実装振動子における支持部が形成された外側面等が破損するおそれが低減する。
本発明の請求項2では、請求項1の表面実装用水晶振動子の製造方法において、前記第2ウェハをエッチングする工程では、前記第2支持部における前記第1ウェハとの対向面の反対面をエッチングして、前記第2支持部の厚さを前記カバーにおける前記第2支持部との接続部の厚さより薄くし、前記第3ウェハをエッチングする工程では、前記第3支持部における前記第1ウェハとの対向面の反対面をエッチングして、前記第3支持部の厚さを前記ベースにおける前記第3支持部との接続部の厚さより薄くした製造方法とする。
第2解決手段の製造方法であれば、第1ないし第3支持部の全てが重なり合うことがない。よって、表面実装振動子をウェハから折り取るときに、第1ないし第3支持部はたわみやすい。したがって、第1ないし第3支持部の全てが重なり合う場合と比較して、小さい力で容易に表面実装振動子を折り取ることができ、このとき表面実装振動子における第1ないし第3支持部が形成された外側面等が破損するおそれが低減する。
本発明の請求項4では、請求項3に記載の表面実装用水晶振動子の製造方法において、前記第1ないし第3ウェハを重ね合わせたとき、前記第1ないし第3支持部は前記表面実装用水晶振動子における同一外側面の対角線上に配置されるように形成された製造方法とする。これにより、前記第1ないし第3支持部の配置を具体的にする。
第1図〜第3図は第1実施形態を説明する表面実装振動子の図であり、第1図はウェハ重ね合わせ時の第2図におけるB−B断面図、第2図はウェハの一部平面図であり、同図(a)はカバーが形成されたウェハ、同図(b)は枠付き水晶板が形成されたウェハ、同図(c)はベースが形成されたウェハ、第3図は表面実装振動子の斜視図である。なお、従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
第4図は、第1実施形態の第1変形例を説明するウェハの平面図であり、(a)はカバーが形成されたウェハ、(b)は枠付き水晶板が形成されたウェハ、(c)はベースが形成されたウェハである。
第5図は、第1実施形態の第2変形例を説明するウェハ重ね合わせ時の断面図である。本変形例における第1実施形態との相違点は、支持部16(abc)の厚さである。第1実施形態では、第1図に示すように、支持部16(bc)の一主面のみをハーフエッチングして薄くした。しかし、本変形例では、支持部16(abc)の両主面をハーフエッチングする。これにより、第1実施形態より小さい力で表面実装振動子1を折り取ることができる。
第6図、第7図は第2実施形態を説明するウェハの図であり、第6図(a)はカバーが形成されたウェハの一部平面図、同図(b)は枠付き水晶板が形成されたウェハの一部平面図、同図(c)はベースが形成されたウェハの一部平面図、第7図はウェハ重ね合わせ時の第6図におけるC−C断面図である。なお、前実施形態と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
第8図は、第2実施形態の変形例を説明するウェハ重ね合わせ時の第6図におけるC−C断面図である。なお、前実施形態と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。本変形例における第2実施形態との相違点は、支持部16(abc)をハーフエッチングして厚さを薄くした点にある。これにより、第2実施形態より小さい力で表面実装振動子1を折り取ることができる。
第9図、第10図は第3実施形態を説明するウェハの図であり、第9図(a)はカバーが形成されたウェハの一部平面図、同図(b)は枠付き水晶板が形成されたウェハの一部平面図、同図(c)はベースが形成されたウェハの一部平面図、第10図はウェハ重ね合わせ時の第9図におけるD−D断面図である。なお、前実施形態と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
第11図は、第3実施形態の変形例を説明するウェハ重ね合わせ時の第9図におけるD−D断面図である。なお、前実施形態と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。本変形例における第3実施形態との相違点は、支持部16(abc)をハーフエッチングして厚さを薄くした点にある。これにより、第3実施形態より小さい力で表面実装振動子1を折り取ることができる。
上記各実施形態における支持部16(bc)のハーフエッチングは、カバー8の凹部12a及びベース9の凹部12bと同時に行う。したがって、水晶ウェハ15(bc)表面から支持部16(bc)までの深さ(第1図の符号F)と凹部12(ab)の深さ(第1図の符号G)とが等しくなる。しかし、当該ハーフエッチングの後に、支持部16(bc)のみをハーフエッチングしたり、凹部12(ab)のみをハーフエッチングしたりすることで、水晶ウェハ15(bc)表面から支持部16(bc)までの深さと凹部12(ab)の深さと異ならせてもよい。
Claims (6)
- 水晶からなる第1ウェハをエッチングして、振動部を枠部が取り囲み前記振動部が連結部によって前記枠部に接続した枠付き水晶板と前記枠付き水晶板を前記第1ウェハに接続する第1支持部とを形成する工程と、
第2ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の一主面に接合されるカバーと前記カバーを前記第2ウェハに接続する第2支持部とを形成する工程と、
第3ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の他主面に接合されるベースと前記ベースを前記第3ウェハに接続する第3支持部とを形成する工程と、
前記第1ウェハの両主面に前記第2、第3ウェハを重ね合わせて、前記枠付き水晶板における前記枠部の両主面に前記カバー及びベースを接合し前記振動部を密閉封入して、前記第1ないし第3ウェハに前記第1ないし第3支持部によって接続した表面実装用水晶振動子を形成する工程と、
前記第1ないし第3ウェハに接続した前記表面実装用水晶振動子を折り取る工程とを有する表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記第1ないし第3支持部の少なくとも1つの厚さは前記枠付き水晶板、前記カバー又は前記ベースにおける前記第1ないし第3支持部との接続部の厚さより薄いことを特徴とする表面実装用水晶振動子の製造方法。 - 請求項1の表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記第2ウェハをエッチングする工程では、前記第2支持部における前記第1ウェハとの対向面の反対面をエッチングして、前記第2支持部の厚さを前記カバーにおける前記第2支持部との接続部の厚さより薄くし、
前記第3ウェハをエッチングする工程では、前記第3支持部における前記第1ウェハとの対向面の反対面をエッチングして、前記第3支持部の厚さを前記ベースにおける前記第3支持部との接続部の厚さより薄くした表面実装用水晶振動子の製造方法。 - 水晶からなる第1ウェハをエッチングして、振動部を枠部が取り囲み前記振動部が連結部によって前記枠部に接続した枠付き水晶板と前記枠付き水晶板を前記第1ウェハに接続する第1支持部とを形成する工程と、
第2ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の一主面に接合されるカバーと前記カバーを前記第2ウェハに接続する第2支持部とを形成する工程と、
第3ウェハをエッチングして、後工程で前記枠部の他主面に接合されるベースと前記ベースを前記第3ウェハに接続する第3支持部とを形成する工程と、
前記第1ウェハの両主面に前記第2、第3ウェハを重ね合わせて、前記枠付き水晶板における前記枠部の両主面に前記カバー及びベースを接合し前記振動部を密閉封入して、前記第1ないし第3ウェハに前記第1ないし第3支持部によって接続した表面実装用水晶振動子を形成する工程と、
前記第1ないし第3ウェハに接続した前記表面実装用水晶振動子を折り取る工程とを有する表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記第1ないし第3ウェハを重ね合わせたとき、前記第1支持部における前記第1ウェハの厚さ方向に対する斜め方向に前記第2支持部及び又は前記第3支持部が配置されたことを特徴とする表面実装用水晶振動子の製造方法。 - 請求項3に記載の表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記第1ないし第3ウェハを重ね合わせたとき、前記第1ないし第3支持部は前記表面実装用水晶振動子における同一外側面の対角線上に配置されるように形成された表面実装用水晶振動子の製造方法。 - 請求項3に記載の表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記第1ないし第3ウェハを重ね合わせたとき、前記第1ないし第3支持部は前記表面実装用水晶振動子の異なる外側面に配置されるように形成された表面実装用水晶振動子の製造方法。 - 請求項3ないし5のいずれかに記載の表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記第1ないし第3支持部の少なくとも1つの厚さは前記枠付き水晶板、前記カバー又は前記ベースにおける前記第1ないし第3支持部との接続部の厚さより薄い表面実装用水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010077207A JP5113870B2 (ja) | 2009-08-27 | 2010-03-30 | 表面実装用水晶振動子の製造方法 |
US12/806,968 US8390176B2 (en) | 2009-08-27 | 2010-08-25 | Stacked crystal resonator and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009197113 | 2009-08-27 | ||
JP2009197113 | 2009-08-27 | ||
JP2010077207A JP5113870B2 (ja) | 2009-08-27 | 2010-03-30 | 表面実装用水晶振動子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011071957A true JP2011071957A (ja) | 2011-04-07 |
JP5113870B2 JP5113870B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=43623306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010077207A Expired - Fee Related JP5113870B2 (ja) | 2009-08-27 | 2010-03-30 | 表面実装用水晶振動子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8390176B2 (ja) |
JP (1) | JP5113870B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017118307A (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | 株式会社大真空 | 水晶ウエハ |
JP2017135512A (ja) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 株式会社大真空 | 水晶振動デバイスの製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513553A (en) * | 1978-07-14 | 1980-01-30 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
JPS55166321A (en) * | 1979-06-13 | 1980-12-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Ultrathin type quartz oscillator and its manufacture |
JPS5644213A (en) * | 1979-07-06 | 1981-04-23 | Ebauches Sa | Sealed type piezoelectric oscillator and producing same |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JP2007142526A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Epson Toyocom Corp | 圧電ウエハおよび圧電デバイス |
JP2008148351A (ja) * | 2001-10-16 | 2008-06-26 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその加工方法 |
JP2009100436A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-05-07 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6960429B2 (en) * | 1997-11-12 | 2005-11-01 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Inhibition of viral gene activities |
US6496085B2 (en) * | 2001-01-02 | 2002-12-17 | Nokia Mobile Phones Ltd | Solidly mounted multi-resonator bulk acoustic wave filter with a patterned acoustic mirror |
US20060255691A1 (en) * | 2005-03-30 | 2006-11-16 | Takahiro Kuroda | Piezoelectric resonator and manufacturing method thereof |
JP5085240B2 (ja) | 2007-09-03 | 2012-11-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
JP5362643B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2013-12-11 | 日本電波工業株式会社 | 積層型の水晶振動子 |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010077207A patent/JP5113870B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-08-25 US US12/806,968 patent/US8390176B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5513553A (en) * | 1978-07-14 | 1980-01-30 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
JPS55166321A (en) * | 1979-06-13 | 1980-12-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Ultrathin type quartz oscillator and its manufacture |
JPS5644213A (en) * | 1979-07-06 | 1981-04-23 | Ebauches Sa | Sealed type piezoelectric oscillator and producing same |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JP2008148351A (ja) * | 2001-10-16 | 2008-06-26 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及びその加工方法 |
JP2007142526A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Epson Toyocom Corp | 圧電ウエハおよび圧電デバイス |
JP2009100436A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-05-07 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017118307A (ja) * | 2015-12-24 | 2017-06-29 | 株式会社大真空 | 水晶ウエハ |
JP2017135512A (ja) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 株式会社大真空 | 水晶振動デバイスの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110049093A1 (en) | 2011-03-03 |
US8390176B2 (en) | 2013-03-05 |
JP5113870B2 (ja) | 2013-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4885206B2 (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
CN109075761B (zh) | 压电振动器件 | |
JP2011066566A (ja) | 圧電振動デバイス及び圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP4864152B2 (ja) | 表面実装用の水晶振動子 | |
JP2009060479A (ja) | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 | |
JP5708079B2 (ja) | 水晶振動子 | |
JP2012054893A (ja) | 音叉型水晶振動片及び水晶デバイス | |
WO2017077972A1 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP5991452B2 (ja) | 水晶振動装置及びその製造方法 | |
JP5113870B2 (ja) | 表面実装用水晶振動子の製造方法 | |
JP2011091586A (ja) | 圧電振動子、電子部品 | |
JP2009246583A (ja) | 圧電振動デバイス | |
WO2018042994A1 (ja) | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス | |
JP5239784B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
WO2020174915A1 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2009065522A (ja) | 圧電デバイスおよびその製造方法 | |
JP6696378B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2009165102A (ja) | 圧電発振器および圧電発振器の製造方法 | |
JP2009232449A (ja) | 圧電振動子及び発振器 | |
WO2021059731A1 (ja) | 圧電振動板、圧電振動デバイス、及び、圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP2008252442A (ja) | 圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP5599057B2 (ja) | パッケージおよび圧電振動子 | |
WO2013128496A1 (ja) | 水晶振動子及びその製造方法 | |
JP2007184810A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP2015226300A (ja) | 圧電振動片および当該圧電振動片を用いた圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110520 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120724 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120918 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121012 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |