JP2011065187A - 導波路型可変光減衰器 - Google Patents
導波路型可変光減衰器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011065187A JP2011065187A JP2010280942A JP2010280942A JP2011065187A JP 2011065187 A JP2011065187 A JP 2011065187A JP 2010280942 A JP2010280942 A JP 2010280942A JP 2010280942 A JP2010280942 A JP 2010280942A JP 2011065187 A JP2011065187 A JP 2011065187A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- optical
- type variable
- variable optical
- optical attenuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/06—Polarisation independent
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/48—Variable attenuator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】基板上に形成された導波路で構成される導波路型可変光減衰器において、前記可変光減衰器が、入力導波路、第1の光カプラ、第2の光カプラ、前記第1と第2の光カプラを結ぶ2本のアーム導波路、および出力導波路から構成されており、前記第1と第2の光カプラは前記2本のアーム導波路が近接する領域を含み構成される方向性結合器であって、特に、前記アーム導波路の長さを、使用光波長を導波路複屈折で割って求められるビート長の整数倍に設計する。
【選択図】図1
Description
は、本発明は、その構成要素である光カプラにおける導波路複屈折を一定の値以上に設定
して偏波モード結合を抑制するか、もしくはアーム導波路の長さを複屈折ビート長の整数
倍に設定することにより、偏波依存性を抑制した偏波無依存導波路型可変光減衰器に関す
る。
システム)の開発が盛んである。光波長多重通信システムでは、非線形抑圧やクロストー
ク抑圧の観点から、各波長信号のレベルを等しくすることが求められる。現在、このレベ
ル等化のために導波路型可変光減衰器が広く用いられようとしている。導波路型可変光減
衰器は、アレイ化などの集積化が容易であるため、経済化や小型化の観点で、それ以外の
バルク型・磁気光学型・MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)型可変光減衰器
よりも有利である。
光減衰器の平面図を示す。この導波路型可変光減衰器100は、入力導波路101a、1
01b、第1の光カプラ102、2本のアーム導波路103,104、それらアーム導波
路上に配置された位相制御器105、第2の光カプラ106、出力導波路107a、10
7b、および薄膜ヒータ108を有する。110は後述する応力解放溝である。
−IX切断線に沿う拡大断面図である。図9に示すように、導波路型可変光減衰器100の
基板として熱伝導性に優れたシリコン基板109が使われ、埋め込まれた石英系導波路1
03,104の表面に薄膜ヒータ108が配置された構成となっている。
1aから入射された光は、第1の光カプラ102で2分岐されて2本のアーム導波路10
3,104に分かれる。そして、位相制御器105を具備したアーム導波路103,10
4を伝搬した光は再度第2の光カプラ106で合波されることにより互いに干渉して、互
いの位相が一致している場合にはクロスポート出力導波路107bに、互いの位相がπず
れている場合にはスルーポート出力導波路107aに、そして、その中間の状態の場合に
は互いの位相差に応じて両方の出力導波路107a,107bからそれぞれ光が出力され
る。第2の光カプラ106に入射するときの2つの光の位相関係は、アーム導波路104
に設けた位相制御器105で制御される。位相制御器105として、石英系導波路103
,104上に配置された薄膜ヒータ108からなる熱光学位相制御器がよく用いられる。
熱光学効果は、原理的には偏波依存性のない現象であるため、電気光学効果や光弾性効果
に比べて、偏波依存性が少ないという特徴を有している。
化が容易であるため、電気光学効果や光弾性効果などの他技術を用いた可変光減衰器に比
べて、経済化・小型化の観点から有利である。
減衰器の減衰量を増やしたときに、偏波依存性(polarization dependent loss :PDL
)が大きくなるという問題点を有していた。図9の断面構造を有する可変光減衰器の光減
衰量とPDLとの関係を図10に示す。図10に示すように、15dBの光減衰量におい
て4dB近くの大きなPDLが発生している。光減衰時のPDLが大きいということは、
光ファイバ中の偏波状態を規定しない現行の光通信システム運用上極めて大きな問題であ
り、これが導波路型可変光減衰器の普及を妨げている最大の原因であった。
、光減衰器の偏波依存性が大きいという解決すべき点を有していた。
波依存性の小さな導波路型可変光減衰器を提供することである。
れる導波路型可変光減衰器において、前記可変光減衰器が、入力導波路、第1の光カプラ
、第2の光カプラ、前記第1と第2の光カプラを結ぶ2本のアーム導波路、および出力導
波路から構成されており、前記第1と第2の光カプラは前記2本のアーム導波路が近接す
る領域を含み構成される方向性結合器であって、特に、前記アーム導波路の長さが、使用光波長を導波路複屈折で割って求められるビート長の整数倍に設計されていることを特徴とする。
おり、可変光減衰器もしくは光スイッチとして機能するとすることができる。
であるとすることができる。
可変光減衰器、光スイッチおよび、光フィルタを実現することが可能となる。この結果と
して、本発明によれば、小型で集積性に優れた導波路型可変光減衰器、光スイッチおよび
、光フィルタが実用的になり、そのため、本発明は、光波長多重通信システムの通信装置
等の経済化等に寄与する。
具体的な本発明の実施形態を説明する前に、導波路型可変光減衰器の偏波依存性の原因
を解析した結果を述べる。
術の項に述べた。では何故、導波路型可変光減衰器が偏波依存性を有するかを、図8と図
9を用いて以下に説明する。偏波依存性の主たる原因としては次の2つが考えられる。1
つは、熱光学位相制御器105の偏波依存性であり、もう1つは光カプラ102,106
における偏波モード結合である。
なされている。その報告内容を簡単に説明すると、次の通りである。薄膜ヒータ108で
局所的に加熱された石英系導波路103,104は膨張しようとする。その場合、基板1
09と垂直な方向(図9の上方向)へは膨張することができるが、基板109と平行方向
(図9の横方向)へは、周囲を加熱されない石英系ガラス(クラッド)111で囲まれて
いるため、膨張することができない。この結果として、基板109の表面と平行方向に強
い圧縮応力が発生する。この圧縮応力は、光弾性効果のために導波路(コア)103,1
04の屈折率を増加させる。従って、薄膜ヒータ108の直下の導波路103,104は
、温度上昇に伴う熱光学効果とともに、局所的なガラスの熱膨張に起因する光弾性効果に
より屈折率が増加する。このため、熱光学効果自体には偏波依存性がないにかかわらず、
熱膨張で生じる応力に異方性があるため、光弾性効果による屈折率変化が偏波依存性を有
することとなる。
位相制御器105(並びに薄膜ヒータ108)の両側に応力解放溝110を形成すること
で、ある程度抑制できる。図11に示す応力解放溝110を形成した可変光減衰器の光減
衰量とPDLとの関係を図12に示す。図9の断面構造の可変光減衰器では15dB減衰
時のPDLが3.8dBであったものが(図10を参照)、図11の応力解放溝付き可変
光減衰器では1.7dBと、PDLが半分以下の値に低減できている。しかしながら、1
5dB減衰時のPDLが1.7dBという値は、現行の光通信システムの運用上充分な値
ではなく、更なるPDLの抑圧が必要であった。本発明では、15dB減衰時のPDLが
、実際に現行の光通信システムの運用上必要な値と要求されている、0.5dB以下とな
ることを目標とした(非特許文献2)。
生じた熱が導波路以外の領域を加熱するのを抑制する断熱溝としての機能も有しているた
め、熱光学位相制御器の低消費電力化にも有効である。
プラとして、図8に示すような、2本の導波路を近接して構成される方向性結合器102
,106を想定する。一般に、平面基板上の導波路では、擾乱が無い限り、偏波モード間
の結合は生じない。しかし、方向性結合器部ではコアが近接するため、コアを上部クラッ
ド層で埋め込む時に、その2つのコアがお互いに近づく方向に力を受ける。更に具体的に
は説明する以下のとおりである。火炎堆積法を用いて上部クラッドを形成するときに、ガ
ラス微粒子をコアの上や周囲に堆積した後に行う透明化熱処理の過程で、ガラス微粒子が
溶けて収縮しながらコアを覆う。ところが、2つのコアに挟まれた領域ではガラス微粒子
の供給が不足するため、ガラスが粗になり、2つのコアは両外側から内側に押される。こ
の圧力が導波路の光学主軸を傾けるため、偏波モード間の結合が生じる。そのため、方向
性結合器で結合したクロスポート光の一部が偏波モード結合を起こす。一方、2つのコア
が離れるに従い、光学主軸は元通り上下左右に戻るため、スルーポート光は偏波モード結
合を生じない。このような現象は、方向性結合器の場合に限らず、2本のアーム導波路が
近接する場合には必ず起こる。つまり、多モード干渉カプラや非対称X型分岐器において
も入出力端では、2本のアーム導波路が近接するため、偏波モード結合が起こる。次に、
光カプラにおける偏波モード結合が存在する場合の光の伝搬を解析する。この場合を、以
下、図8を用いて説明する。第1の入力導波路(入力ポート)101aから第1のアーム
導波路103を経て第1の出力導波路(出力ポート)107aに伝搬する光は次式(1)
に、第1の入力導波路101aから第2のアーム導波路104を経て第1の出力導波路1
07aに伝搬する光は次式(2)に、第1の入力導波路101aから第1のアーム導波路
103を経て第2の出力導波路107bに伝搬する光は次式(3)に、第1の入力導波路
101aから第2のアーム導波路104を経て第2の出力導波路107bに伝搬する光は
次式(4)に、それぞれ書き表される。
:入力光のTE(TM)成分、κ:光カプラの結合効率、α:光カプラにおける光学主軸
の傾き、θ1(2)TE(TM):第1(2)のアーム導波路103,104におけるT
E(TM)成分の位相変化量と定義する。ここで、光カプラにおけるクロスポート偏波モ
ード結合量はsin2αで表される。
式(1)と上式(2)の和をとって、次式(5)となる。
定する。
ら、その条件は次式(7)で表される。
(5)=0が成り立つための条件を求める。これが偏波無依存条件となる。ここで偏光状
態に依存しないとはITEとITMの強度比および位相差に依存しないという意味である
。
これら式(10)、(11)を上記式(9)の下段の式(以下、第2式と称する)に代
入し、式(12)を適用すると、次式(13)が得られる。
2α)が0になるか、もしくはアーム導波路の長さ(L)が使用光波長(λ)を導波路複
屈折(B)で割って求められるビート長の整数倍(m)であればスルーポート出力の偏波
依存性は解消される。
力は上式(3)と上式(4)の和をとって次式(14)となる。
2波長の場合である。この条件は次式(15)で表される。
=0が成り立つための条件を求める。これが偏波無依存条件となる。
られる。すなわち、光カプラにおける偏波モード結合(sin 2α)が0になるか、も
しくはアーム導波路の長さ(L)が使用光波長(λ)を導波路複屈折(B)で割って求め
られるビート長の整数倍(m)であればスルーポート出力およびクロスポート出力の偏波
依存性は解消される。
めの必要条件が求められる。
[第1の実施形態]
図1に、本発明の第1の実施形態である導波路型可変光源衰器の構成を示す。この導波
路型可変光減衰器100は、入力導波路101a、第1の光カプラ102、2本のアーム
導波路103,104、それらアーム導波路上に配置された位相制御器105、第2の光
カプラ106、出力導波路107b、薄膜ヒータ108、および応力解放溝110を有す
る。本実施形態では、入力導波路101aに対してクロスポートに位置する導波路107
bを出力導波路として用いる。クロスポート出力を用いる理由は、第1および第2の光カ
プラ102,106として用いる方向性結合器を同一設計とした場合に、両者の結合率が
ほぼ等しくなり、その結果として、高い可変光減衰量が得られるためである。
べた図11の構成と同じである。本実施形態と従来技術との相違点は、第1および第2の
光カプラを構成する方向性結合器102,106の導波路複屈折率の絶対値を3.5×1
0−4以上に設定していることである。ここで、導波路複屈折Bは、式(12)で定義し
たように、TMモードの実効屈折率nTMとTEモードの実効屈折率nTEとの差(B=
nTM−nTE)である。
コン基板109上に、火炎堆積法(FHD)でSiO2を主成分にした下部クラッドガラ
ス微粒子301、SiO2にGeO2を添加したコアガラス微粒子302をそれぞれ堆積
する(図3A参照)。この段階では、ガラス微粒子301と302は、光を散乱するため
、白い膜に見える。
02を表面に堆積したシリコン基板109を徐々に加熱していくと、ガラス微粒子が溶け
て、透明なガラス膜が形成される。この時に、下部クラッドガラス層303の厚さが30
μmなるように、またコアガラス層304の厚さが7μmなるように、ガラス微
粒子の堆積量をそれぞれ調整している(図3B参照)。
アガラス層304のパターン化を行なう。これにより、下部クラッドガラス層303上に
コア305が形成される(図3C参照)。
ッドガラス層303とコア305の上部に堆積する(図3D参照)。
導波路を作製する(図3E参照)。上部クラッドガラス層307にはドーパントを添加す
ることでガラス転移温度を下げ、上部クラッドガラス層307の高温透明化の工程でコア
305が変形しないようにしている。なお、図3Eに示す上部クラッドガラス層(以下、
上部クラッド層と称する)307と下部クラッドガラス層(以下、下部クラッド層と称す
る)303が図2のクラッド111に対応し、コア305が図2の導波路(コア)103
,104に対応している。
ラス303,307等の熱膨張係数、およびこれらのガラスの軟化温度に依存する。その
ため、これらの値を適宜選ぶことにより導波路複屈折を制御することができる。
クラッド層307の表面へ図1と図2に図示した薄膜ヒータ108および配線電極を形成
し、更に熱光学位相制御器105で発生する熱応力による偏波依存性を抑制するために図
1と図2に図示した応力解放溝110を形成する。
るために、まず方向性結合器部での偏波モード結合を評価した。また、その偏波モード結
合量が導波路複屈折に依存するのではないかという観点で、それら両者の相関関係を求め
た。方向性結合器部での偏波モード結合量と導波路複屈折の関係を図4に示す。ここで、
横軸は導波路複屈折を、縦軸は方向性結合器1段を透過した後のクロスポート出力におけ
る偏波モード結合量を示す。図4から、クロスポート出力における偏波モード結合量と導
波路複屈折との間に強い相関があることが分かる。この現象は、「モード結合量は結合を
起こす2モード(ここでは2つの偏波モード)間の伝搬定数差(導波路複屈折)に反比例
するため」であると解釈できる。また、図4において、同一の導波路複屈折に対して偏波
モード結合量がある程度ばらついているのは、偏波モード結合が様々な攪乱により変動す
るためと解釈できる。
dB以下とすれば、上式(16)の左辺の値は最大でも入力レベルに対して−25dB以
下となる。言い換えれば、入力光の偏波に依存した光レベルは、入力レベルに対して−2
5dBである。したがって、光減衰量15dBでのPDLは次式(18)で求められるP
DL以下に抑圧できる。
すなわち、光源推量15dBでのPDLを0.5dB以下に抑圧できる。
モード結合量を−25dB以下にすることができる。すなわち、光減衰量15dBでのP
DLを0.5dB以下に抑圧できる。よって、本実施形態の特徴を、第1および第2の光
カプラ102,106の偏波モード結合量を−25dB以下にすることであり、更には第
1および第2の光カプラを構成する方向性結合器の導波路複屈折率(絶対値)を3.5×
10−4以上にすることができる。
量とPDLとの相関関係を示す。本実施形態では、後述の第3の実施形態との比較のため
に、敢えてアーム導波路長をビート長の整数倍の条件から最も離れている約2.5倍の1
1mmとした。
ろ3.5×10−4であった。このとき、図5に示すように、15dB減衰時のPDLは
0.4dBとなり、当初目標とした0.5dB以下を実現した。
を行っているが、第2の光カプラ106に入射するときの2つの光の位相差を0もしくは
πの2値で使用することにより、図1と図2に示すデバイスは光スイッチとしても利用で
きる。これと同様に、以下に述べる本発明の他の実施形態も光スイッチとしても利用でき
る。
本発明の第2の実施形態は、上述の本発明の第1の実施形態と同じく、入力導波路に対
して、クロスポート出力を出力導波路として用いる可変光減衰器であり、その基本構成は
図1および図2と同じである。第1の実施形態と第2の実施形態の相違点は、第1の実施
形態の特徴が、「第1および第2の光カプラを構成する方向性結合器の導波路複屈折率の
絶対値を3.5×10−4以上に設定したこと」であったのに対して、第2の実施形態の
特徴は、「アーム導波路の長さを、使用光波長を導波路複屈折で割って求められるビート
長の整数倍に設定していること」である。
路複屈折で使用光波長1.55μm偏波が一回転するビート長は12.9mmと計算さ
れる。そこで、本実施形態では、アーム導波路104の長さをビート長に相当する12.
9mmと設計した。
減衰量とPDLとの相関関係を示す。図6から、15dB減衰時のPDLが0.9dBと
、従来例に比較すると小さな値に抑制できたことが分かる。
本発明の第3の実施形態も、上述の本発明の第1と第2の実施形態と同じく、入力導波
路101aに対して、クロスポート出力107aを出力導波路として用いる可変光減衰器
である。その基本構成は図1および図2と同じである。第3の実施形態の特徴は、第1の
実施形態の特徴である「第1および第2の光カプラを構成する方向性結合器の導波路複屈
折率(絶対値)を3.5×10−4以上に設定したこと」と第2の実施形態の特徴である
「アーム導波路の長さを、使用光波長を導波路複屈折で割って求められるビート長の整数
倍に設定していること」の両方を兼ね備えていることである。
ビート長の3倍である13.3mmに設定した。
相関関係を示す。15dB減衰時のPDLは0.2dB、更に25dB減衰時でもPDL
は0.6dBと極めて小さい値に抑制できていることが分かる。このように、「第1およ
び第2の光カプラを構成する方向性結合器の導波路複屈折率(絶対値)を3.5×10−
4以上に設定すること」と「アーム導波路の長さを、使用光波長を導波路複屈折で割って
求められるビート長の整数倍に設定すること」は独立に設計できることなので、好ましく
は両者を同時に満足するよう可変光減衰器を作製することが好ましい。
上記では、本発明の好適な実施形態を例示して説明したが、本発明の実施形態は上記例
示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内であれば、その構成部材等
の置換、変更、追加、個数の増減、形状の設計変更等の各種変形は、全て本発明の実施形
態に含まれる。
埋め込み導波路の作製法としては火炎堆積法以外にもCVD法(Chemical Vapor Deposit
ion)、VPE法(Vapor Phase Epitaxy)などの気相成長法や、スパッタ法などの物理堆
積法もあり、それら作製法を適用した場合においても本発明は有効である。
、多モード干渉型(Multi-Mode Interference)合分波器、非対称X型分岐器などにおい
てもコアが近接する領域において、偏波モード結合が発生し、本発明を構成する光カプラ
として有効である。つまり、光合分波器において偏波モード結合を生じる光カプラに対し
てはその形状に依存せずに有効である。
を用いた光干渉計を示したが、その導波路材料がガラス以外の例えばポリイミド、シリコ
ーン(silicone)、半導体、LiNbO3などであっても本発明の上記の原理は適用可能
である。また、基板の材質もシリコンに限定されるものではない。
Claims (3)
- 基板上に形成された導波路で構成される導波路型可変光減衰器において、
前記可変光減衰器が、入力導波路、第1の光カプラ、第2の光カプラ、前記第1と第2の光カプラを結ぶ2本のアーム導波路、および出力導波路から構成されており、前記第1と第2の光カプラはそれぞれ前記2本のアーム導波路が近接する領域を含み構成される方向性結合器であって、特に、
前記アーム導波路の長さが、使用光波長を導波路複屈折で割って求められるビート長の整数倍に設計されていることを特徴とする導波路型可変光減衰器。 - 前記2本のアーム導波路の少なくとも一方に位相制御器を具備しており、可変光減衰器もしくは光スイッチとして機能することを特徴とする請求項1に記載の導波路型可変光減衰器。
- 前記基板がシリコン基板であり、前記導波路が石英系ガラス導波路であることを特徴とする請求項1または2に記載の導波路型可変光減衰器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010280942A JP4932029B2 (ja) | 2005-01-14 | 2010-12-16 | 導波路型可変光減衰器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005008207 | 2005-01-14 | ||
JP2005008207 | 2005-01-14 | ||
JP2010280942A JP4932029B2 (ja) | 2005-01-14 | 2010-12-16 | 導波路型可変光減衰器 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006552984A Division JP4675336B2 (ja) | 2005-01-14 | 2006-01-13 | 導波路型可変光減衰器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011065187A true JP2011065187A (ja) | 2011-03-31 |
JP4932029B2 JP4932029B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=36677725
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006552984A Active JP4675336B2 (ja) | 2005-01-14 | 2006-01-13 | 導波路型可変光減衰器 |
JP2010280942A Active JP4932029B2 (ja) | 2005-01-14 | 2010-12-16 | 導波路型可変光減衰器 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006552984A Active JP4675336B2 (ja) | 2005-01-14 | 2006-01-13 | 導波路型可変光減衰器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7389033B2 (ja) |
EP (2) | EP2447761B1 (ja) |
JP (2) | JP4675336B2 (ja) |
KR (1) | KR100724683B1 (ja) |
CN (1) | CN100437212C (ja) |
WO (1) | WO2006075702A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015504182A (ja) * | 2012-01-19 | 2015-02-05 | イクスブルー | 横断する減衰域を含む光集積回路 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100284645A1 (en) * | 2009-05-07 | 2010-11-11 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Semiconductor thermooptic phase shifter |
US8380023B2 (en) | 2010-07-14 | 2013-02-19 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Waveguide-type optical circuit |
US9221074B2 (en) | 2012-10-11 | 2015-12-29 | Octrolix Bv | Stress-tuned planar lightwave circuit and method therefor |
JP6157250B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2017-07-05 | 三菱電機株式会社 | 量子暗号装置および量子暗号装置に用いられる送信信号光処理方法 |
CN103941427B (zh) * | 2014-04-30 | 2017-08-04 | 河南仕佳光子科技股份有限公司 | 高制作容差的平面波导型可调光衰减器 |
US10302975B2 (en) | 2016-12-21 | 2019-05-28 | Neophotonics Corporation | Compact, energy efficient Mach-Zehnder interferometers and optical attenuators |
US10754221B2 (en) * | 2018-01-24 | 2020-08-25 | Lumentum Operations Llc | Polarization multiplexer/demultiplexer with reduced polarization rotation |
WO2021100101A1 (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 三菱電機株式会社 | 光周波数制御装置、光発振装置、周波数変換装置及び電波発生装置 |
KR102316988B1 (ko) | 2020-02-17 | 2021-10-26 | 주식회사 피피아이 | 열효율이 개선된 열광학 소자 및 열광학 소자 제조방법 |
EP4325285A1 (en) * | 2022-08-18 | 2024-02-21 | Accelink Denmark A/S | A variable optical attenuator |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63147145A (ja) * | 1986-12-11 | 1988-06-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波形マツハ・ツエンダ光干渉計 |
JPS6477002A (en) * | 1987-06-29 | 1989-03-23 | Nippon Telegraph & Telephone | Integrated optical device and its manufacture |
JPH07281041A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Hitachi Cable Ltd | 導波路及びそれを用いたマッハツェンダ型光回路 |
JP2002267862A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光デバイス |
JP2004347619A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-12-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光回路装置および光回路装置の制御方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1018044A4 (en) * | 1997-01-02 | 2002-04-03 | Univ Leland Stanford Junior | STABLE NON-LINEAR MACH-TENDER FIBER SWITCH |
JPH10228007A (ja) * | 1997-02-13 | 1998-08-25 | Nec Corp | 光導波路型電気制御可変アッティネータ |
JP2001083349A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光平面導波路型回路モジュール |
JP3567901B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2004-09-22 | 日本電気株式会社 | 導波路型光制御デバイスおよびその製造方法 |
JP3703013B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2005-10-05 | 日本電信電話株式会社 | 干渉計光回路及びその製造方法 |
US6760499B2 (en) * | 2001-07-31 | 2004-07-06 | Jds Uniphase Corporation | Birefringence compensated integrated optical switching or modulation device |
CN1188740C (zh) * | 2001-12-17 | 2005-02-09 | 中国科学院半导体研究所 | 多模干涉型光学衰减器 |
AU2003221717A1 (en) * | 2002-04-17 | 2003-11-03 | Hrl Laboratories, Llc | Method and apparatus for producing an optical output |
JP2004133389A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-04-30 | Fujikura Ltd | 偏波保持光ファイバカプラおよびその製造方法 |
JP3912674B2 (ja) * | 2002-10-08 | 2007-05-09 | 日本電信電話株式会社 | 導波路型光減衰器 |
JP4086226B2 (ja) * | 2002-11-20 | 2008-05-14 | 日本電信電話株式会社 | 導波路型光可変減衰器 |
US7376310B2 (en) * | 2002-12-20 | 2008-05-20 | International Business Machines Corporation | Optical waveguide element with controlled birefringence |
CN1299139C (zh) * | 2003-10-30 | 2007-02-07 | 孙德贵 | 波导式可调光衰减器及其偏振相关损耗的补偿方法 |
-
2006
- 2006-01-13 US US10/598,856 patent/US7389033B2/en active Active
- 2006-01-13 JP JP2006552984A patent/JP4675336B2/ja active Active
- 2006-01-13 WO PCT/JP2006/300372 patent/WO2006075702A1/ja active Application Filing
- 2006-01-13 KR KR1020067018761A patent/KR100724683B1/ko active IP Right Grant
- 2006-01-13 EP EP12151909.4A patent/EP2447761B1/en active Active
- 2006-01-13 CN CNB2006800000999A patent/CN100437212C/zh active Active
- 2006-01-13 EP EP06711657A patent/EP1837700A4/en not_active Ceased
-
2010
- 2010-12-16 JP JP2010280942A patent/JP4932029B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63147145A (ja) * | 1986-12-11 | 1988-06-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波形マツハ・ツエンダ光干渉計 |
JPS6477002A (en) * | 1987-06-29 | 1989-03-23 | Nippon Telegraph & Telephone | Integrated optical device and its manufacture |
JPH07281041A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Hitachi Cable Ltd | 導波路及びそれを用いたマッハツェンダ型光回路 |
JP2002267862A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光デバイス |
JP2004347619A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-12-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光回路装置および光回路装置の制御方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015504182A (ja) * | 2012-01-19 | 2015-02-05 | イクスブルー | 横断する減衰域を含む光集積回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7389033B2 (en) | 2008-06-17 |
CN100437212C (zh) | 2008-11-26 |
EP2447761B1 (en) | 2016-03-30 |
JP4675336B2 (ja) | 2011-04-20 |
EP1837700A4 (en) | 2010-03-31 |
JP4932029B2 (ja) | 2012-05-16 |
KR20060132937A (ko) | 2006-12-22 |
US20070212012A1 (en) | 2007-09-13 |
CN1942809A (zh) | 2007-04-04 |
EP2447761A1 (en) | 2012-05-02 |
KR100724683B1 (ko) | 2007-06-04 |
JPWO2006075702A1 (ja) | 2008-06-12 |
EP1837700A1 (en) | 2007-09-26 |
WO2006075702A1 (ja) | 2006-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4932029B2 (ja) | 導波路型可変光減衰器 | |
US6704487B2 (en) | Method and system for reducing dn/dt birefringence in a thermo-optic PLC device | |
Kawachi | Silica waveguides on silicon and their application to integrated-optic components | |
KR100972677B1 (ko) | 실리콘 구조물 및 이를 제조하는 방법 | |
JP2002221630A (ja) | 干渉計光回路及びその製造方法 | |
JP4405978B2 (ja) | 光信号処理器 | |
Memon et al. | Recent advances in mode converters for a mode division multiplex transmission system | |
JP2007047326A (ja) | 熱光学光変調器および光回路 | |
JP6798313B2 (ja) | リブ型光導波路およびそれを用いた光合分波器 | |
US8380023B2 (en) | Waveguide-type optical circuit | |
JP4405976B2 (ja) | 光信号処理器 | |
US7099548B2 (en) | Reduction of polarization dependence in planar optical waveguides | |
CN105549151A (zh) | 一种基于平面波导的光开关及其制造方法 | |
JP4267888B2 (ja) | 光回路および光回路装置ならびに光回路の製造方法 | |
WO1999021038A1 (en) | Phased array wavelength multiplexer | |
JP4086485B2 (ja) | 偏光無依存方向性結合器及びこれを用いた光回路 | |
KR101174239B1 (ko) | 열광학 효과를 이용한 평면 광도파로형 가변 광 감쇠기 | |
JP5053301B2 (ja) | 導波路型光回路 | |
JP2011232458A (ja) | 位相制御回路 | |
JP5019649B2 (ja) | 導波路型光回路 | |
Iftikhar et al. | Efficient Thermal Tunning of Photonic Devices | |
JP5275951B2 (ja) | 光導波路 | |
Wang et al. | Low-power and wide-band 1× 8 silica waveguide optical switch | |
WO2024037885A1 (en) | A variable optical attenuator | |
JPH0682645A (ja) | 光方向性結合器及び光フィルタの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4932029 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |