JPH10228007A - 光導波路型電気制御可変アッティネータ - Google Patents

光導波路型電気制御可変アッティネータ

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JPH10228007A
JPH10228007A JP9044719A JP4471997A JPH10228007A JP H10228007 A JPH10228007 A JP H10228007A JP 9044719 A JP9044719 A JP 9044719A JP 4471997 A JP4471997 A JP 4471997A JP H10228007 A JPH10228007 A JP H10228007A
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JP
Japan
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optical waveguide
polarization
variable attenuator
output
electrically controlled
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JP9044719A
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English (en)
Inventor
Kenichi Nakaya
研一 中屋
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G02F1/225Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference in an optical waveguide structure
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】誘導体基板を用いた光導波路型電気制御可変ア
ッティネータにおいて、減衰特性の偏光依存性、およ
び、偏光無依存化を実現する場合の動作電圧の上昇を改
善する光導波路型電気制御可変アッティネータの提供。 【解決手段】入力ポート2aより入射された光3aは偏
光分岐器10aにより、TM偏光6a、TE偏光6bに
分岐され、各々方向性結合器スイッチ11a、11bに
て可変減衰されたのち偏光結合器によりTM偏光6c、
TE偏光6dは結合され、出力ポート2bより出力され
る。この時、両偏光6a、6bが等しい減衰特性を得る
ように、方向性結合器スイッチング11a、11bの制
御電圧9a、9bを一定比率に調節することにより偏光
無依存減衰特性を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は超高速基幹伝送通信
システムに使用される導波路型光デバイスに関し、特
に、光導波路型電気制御可変アッティネータに関する。
【0002】
【従来の技術】近年の、光通信システムの実用化に伴
い、大容量、且つ、多機能の高度な通信システムが求め
られており、より高速の光信号の発生、同一光伝送路内
の波長多重化、光伝送路の切り替え、交換等の新たな機
能の付加が必要とされている。
【0003】その中で、特に、光ファイバアンプの実用
化に伴い、多波長一括伝送(WDM;wavelength divi
sion multiplexing)方式への期待が高まりつつある。
【0004】このWDM伝送を実現するためには、光フ
ァイバアンプの利得の波長依存性の低減が不可欠であ
る。
【0005】光ファイバアンプの利得の波長依存性の低
減のための一つの方法として、エルビウム・ドープ・フ
ァイバ(EDF)の利得波長依存性の最適化があるが、
実現のためには、EDFの利得を一定に制御する必要が
ある。
【0006】しかしながら、EDFの利得を一定に制御
した場合、光ファイバアンプへの入力信号のレベル変動
が出力段にそのまま現れることになり、多段伝送を行っ
た場合、受信段におけるレベル変動が大きくなり、装置
への適用は困難である、という問題点がある。
【0007】この問題点を解決する従来の方式として、
例えば図4に示すように、フィードバック制御が可能な
電気制御型可変光アッティネータ404により、光ファ
イバアンプ403の出力レベル変動を補償するものがあ
る。入射光はWDMカプラで励起LD(レーザダイオー
ド)401からの励起光と多重されてエルビウム・ドー
プ・光ファイバで増幅され、出射光をモニタする光検出
器405の制御信号電圧により可変光アッティネータ4
04で可変に減衰し、タップカプラ406を経て出力さ
れる。
【0008】以下に、従来の光導波路電気制御可変光ア
ッティネータの構造、及び、機能について説明する。
【0009】図5に、従来の方向性結合器型光スイッチ
を用いた場合の光導波路型電気制御可変アッティネータ
の一例を示す。図5に示した構成は、文献(1)(近藤
充和、谷澤靖久、岩崎正明、太田義徳、青山勉、石川
朗、「LiNbO3光導波路スイッチの偏光無依存
化」、昭和62年電子情報通信学会半導体・材料部門全
国大会、発行年月日:1987.3、PP.2−14
0)に記載されたものである。
【0010】図5を参照して、アッティネータは、Z板
ニオブ酸リチウム(LiNbO3)からなる基板12a
の表面に導波路7が、図示のような形状に作製される。
なお、基板12aより僅かに高い屈折率をもつ部分が、
光導波路2となり、光導波路7はチタン(Ti)を基板
に熱拡散することにより形成される。また光導波路7上
には、二酸化珪素(SiO2)などで構成されるバッフ
ァ層13aが設けられ、バッファ層13aの上には、制
御電極8a、8bが設けられている。
【0011】この従来の光導波路電気制御可変光アッテ
ィネータでは、エルビウム・ドープド・ファイバからの
信号光3aは、入力ポート2aに入射される。ここで
は、光の電界が基板に対して平行な成分をTE偏光4、
光の電界が基板表面に対して垂直な成分をTM偏光5と
する。
【0012】入力ポート2aから入射された導波光6a
は、制御電極8a、8bに電圧が印加されていない場
合、方向性結合器スイッチ11aにおいて光導波路7b
から近接する光導波路7dに光パワーが移行し、出力側
光導波路7cを通過し、出力ポート2bより出力ファイ
バ1bへ出射される。
【0013】従来の光導波路電気制御可変光アッティネ
ータでは、このように、方向性結合器型スイッチ11a
は、光パワーが光導波路7a、7c間を完全移行される
ような方向性結合器型スイッチ部長(「完全結合長」と
もいう、光導波路7b、7dで規定されるスイッチ部の
長さ)に設計されている。このような構成における方向
性結合器型スイッチ部11aでは、制御電極8a、8b
に電圧V9aを印加すると、電気光学効果により電極値
直下の光導波路7b、7cの屈曲率が変化し、出力光3
aの光強度は変化する。
【0014】この制御電圧V9aに対する出力光3aの
光強度Pは、次式(1)で表せられる。例えば文献
(2)(西原他、光集積回路、オーム社、1985年)
等参照。
【0015】
【数1】
【0016】この制御電圧V9aに対する出力光3aの
減衰特性例を図6に示す。図6において、横軸は制御電
圧9a、縦軸は減衰量(デシベル表示)を示している。
【0017】ここで、光強度は導波光6aで規格化、印
加電圧はTM偏光成分が最大に減衰する電圧(「スイッ
チング電圧」とも呼ばれる)VTMにて規格化している。
【0018】従って、アッティネータは、制御電圧V9
aを制御することにより、入力光3aの減衰量を自在に
可変することが可能である。
【0019】また、図7に、従来の方向性結合器型光ス
イッチを用いた場合の光導波路型電気制御可変アッティ
ネータの別の構成例を示す。
【0020】図7を参照して、この従来のアッティネー
タは、X板ニオブ酸リチウム(LiNbO3)からなる
基板12aの表面に導波路7が、図示したような形状に
作製される。
【0021】なお、基板12aより僅かに高い屈折率を
もつ部分が光導波路2となり、光導波路7はチタン(T
i)を基板に熱拡散することにより形成される。また光
導波路7上には、二酸化珪素(SiO2)などで構成さ
れるバッファ層13aが設けられ、バッファ層13aの
上には、制御電極8a、8bが設けられている。
【0022】この従来の光導波路電気制御可変光アッテ
ィネータでは、図7に示す通り、エルビウム・ドープド
・ファイバからの信号光3aは、入力ポート2aに入射
される。
【0023】ここで、光の電界が基板に対して平行な成
分をTE偏光4、光の電界が基板表面に対して垂直な成
分をTM偏光5とする。
【0024】入力ポート2aから入射された導波光6a
は制御電極3a、3bに電圧が印加されていない場合、
方向性結合器スイッチ部11aにおいて光導波路7bか
ら近接する光導波路7cに光パワーが移行し、出力側光
導波路7dを通過し、出力ポート2bより出力ファイバ
1bへ出射される。
【0025】光導波路電気制御可変光アッティネータで
は、このように方向性結合器型スイッチ部11aは、光
パワーが光導波路7b、7c間を完全移行されるような
方向性結合器型スイッチ部長(「完全結合長」ともい
う、光導波路7b、7cで規定されるスイッチ型の長
さ)に設計されている。このような構成における方向性
結合器型スイッチ部11aでは、制御電極3a、3bに
電圧V9aを印加すると、電気光学効果により電極直下
の光導波路7b、7cの屈折率が変化し、出力光の3a
の光強度は変化する。
【0026】その制御電圧V9aに対するTE偏光成分
5a、TM偏光成分5bの減衰特性を図8に示す。
【0027】ここで、光強度は導波光6aで規格化、印
加電圧はTM偏光成分が最大に減衰する電圧(「スイッ
チング電圧」とも呼ばれる)VTMにて規格化している。
【0028】従って、本アッティネータは電圧V9aを
制御することにより、入力光3aの減衰量を自在に可変
することが可能である。
【0029】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術は下
記記載の問題点を有している。
【0030】図5に示した従来技術の問題点は、制御電
圧V9aに対する、出力光3bの減衰特性の偏光依存性
が大きい、ということである。
【0031】その理由は、基板12aにZ板Y伝搬Li
NbO3を使用しているため、減衰特性を得るために使
用する電気光学定数の大きさが、TM偏光4、及び、T
E偏光5では、 TE偏光電気光学定数 γ12≒9×10-12m/V TM偏光電気光学定数 γ33≒31×10-12m/V と異なるためである。
【0032】図7に示した従来技術の問題点は、偏光無
依存減衰特性を得るために、図5に示した従来技術に対
して制御電圧が増加することである。
【0033】その理由は、基板12aにX板Z伝搬Li
NbO3を使用しているため、減衰特性を得るために使
用する電気光学定数の大きさは、図5に示した従来技術
で、 TE偏光電気光学定数 γ12≒9×10-12m/V TM偏光電気光学定数 γ33≒31×10-12m/V 図7に示した従来技術で、 TE、TM偏光電気光学定数γ22≒3×10-12m/V であり、図5に示した従来技術に対して、電気光学定数
は、TE偏光では約1/3、TM偏光は約1/10と小
さくなるためである。
【0034】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、偏光無依存、低
電圧、且つ、高速動作が可能な光導波路型電気制御可変
光アッティネータを提供することにある。
【0035】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の光導波路型電気制御可変アッティネータは、誘電体
基板と、前記基板表面に形成された光導波路と、前記光
導波路に設けられた入出力ポートと、第1、第2の方向
性結合器スイッチと、偏光分岐器と、偏光結合器と、を
備えた光導波路型電気制御可変アッティネータにおい
て、前記偏光分岐器の入力部を前記入力ポートと設定
し、前記偏光分岐器の一方の出力部が前記第1の方向性
結合器スイッチの入力部と接続され、前記第1の方向性
結合器スイッチの出力部が前記偏光結合器の一方の入力
部と接続され、前記偏光分岐器の他方の出力部が前記第
2の方向性結合器スイッチの入力部と接続され、前記第
2の方向性結合器スイッチの出力部が前記偏光結合器の
他方の入力部に接続され、前記偏光結合器の出力を前記
出力ポートと設定している、ことを特徴とする。
【0036】[発明の概要]本発明は、Z板LiNbO
3を用い、偏光分離器、方向性結合器スイッチ、及び偏
光結合器を形成し、偏光分離器にてTE/TM偏光を分
離し、それぞれ、方向性結合器スイッチにて可変減衰さ
せたのち、偏光結合器にてTE/TM偏光を結合し、出
力する。
【0037】この時、両偏光が等しい減衰量を得るよう
に、各々の方向性結合器スイッチの制御電圧を調節する
ことにより、低電圧、偏光無依存、且つ、高速動作な可
変減衰を実現する。
【0038】また、減衰動作に大きい電気光学定数
γ13、及び、γ33を使用するため、X板LiNbO3
使用した場合に対し、低電圧化が可能である。
【0039】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明の光導波路型電気制御可変アッティ
ネータは、その好ましい実施の形態において、誘電体基
板(図1の12a)と、誘電体基板表面に形成された光
導波路(図1の7)と、光導波路に設けられた入出力ポ
ート(図1の2a、2b)と、第1、第2の方向性結合
器スイッチ(図1の11a、11b)と、偏光分岐器
(図1の10a)と、偏光結合器(図1の10b)と、
を備え、偏光分岐器(図1の10a)の入力部を入力ポ
ート(図1の2a)と設定し、偏光分岐器(図1の10
a)の一方の出力部が第1の方向性結合器スイッチの入
力部(図1の7d)と接続され、第1の方向性結合器ス
イッチの出力部が偏光結合器(図1の10b)の一方の
入力部(図1の7h)と接続され、偏光分岐器(図1の
10a)の他方の出力部が第2の方向性結合器スイッチ
(図1の11b)の入力部(7g)と接続され、第2の
方向性結合器スイッチの出力部が偏光結合器の他方の入
力部(図1の7i)に接続され、偏光結合器(図1の1
0b)の出力部が出力ポート(図1の2b)と設定され
ている。
【0040】本発明の実施の形態において、誘導体基板
(図1の12a)は、好ましくは、ニオブ酸リチウム
(LiNbO3)からなり、ニオブ酸リチウムが、Z−
cutである。
【0041】また本発明の実施の形態において、偏光分
岐器(図1の10a)は、好ましくは、Ti拡散、及
び、プロトン交換光導波路から構成される。
【0042】また本発明の実施の形態において、偏光結
合器(図1の10b)は、Ti拡散、及び、プロトン交
換光導波路から構成されている。
【0043】本発明の実施の形態においては、入力ポー
ト2aより入射された光3aは偏光分岐器10aによ
り、TM偏光6a、TE偏光6bに分岐され、各々方向
性結合器スイッチ11a、11bにて可変減衰されたの
ち偏光結合器によりTM偏光6c、TE偏光6dは結合
され、出力ポート2bより出力される。この時、両偏光
6a、6bが等しい減衰特性を得るように、方向性結合
器スイッチング11a、11bの制御電圧9a、9bを
一定比率に調節することにより偏光無依存減衰特性を得
ることができる。
【0044】
【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に詳
細に説明すべく、本発明の実施例について図面を参照し
て以下に説明する。
【0045】図1は、本発明の一実施例に係るTi拡散
型Z板Y軸伝搬LiNbO3光導波路電気制御可変光ア
ッティネータの構成を説明するための斜視図である。
【0046】まず、この光導波路型電気可変光アッティ
ネータの製造方法の一例について説明しておく。
【0047】図1を参照して、LiNbO3基板12a
上にTi膜を堆積し、光導波路パターンにパターニング
を行った後に、数時間熱拡散を行い光導波路7a、7
b、7d、7e、7f、7g、7i、7jを形成する。
【0048】その後、光導波路パターン7c、7hに、
Al(アルミニウム)マスクパターニングを行った後
に、数時間イオン交換を行い光導波路7c、7hを形成
する。
【0049】続いて、金属膜電極による導波光の吸収を
抑制するためにバッファ層13aを成膜し、更に光導波
路7d、7e上部に金属膜により電極8a、8bを形成
し、方向性結合器スイッチ11aを、光導波路7f、7
g上部に金属膜により電極8c、8dを形成し、方向性
結合器スイッチ11bを作製する。
【0050】方向性結合器スイッチ11aの入力光導波
路7dは、光導波路7b、7cから成る偏光分離器10
aのTM偏光出力光導波路7cと、方向性結合器スイッ
チ11aの出力光導波路7eは、光導波路7h、7iか
ら成る偏光結合器10bのTM偏光入力光導波路7hと
接続されている。
【0051】また、方向性結合器スイッチ11bの入力
光導波路7fは、光導波路7b、7cから成る偏光分離
器10aのTE偏光出力光導波路7cと、方向性結合器
スイッチ11bの出力光導波路7gは、光導波路7h、
7iから成る偏光結合器10bのTE偏光入力光導波路
7iと接続されている。
【0052】図1に示した本発明の一実施例の動作につ
いて以下に説明する。
【0053】図1において、入射ファイバ1aから入力
ポート2aに入射された光3aは光導波路7aを通り、
偏光分岐器10aへ進み、TM偏光6a、TE偏光6b
に偏光分岐され、それぞれ、TM偏光導波光6aは方向
性結合器スイッチ11aの入力光導波路7dへ、TE偏
光導波光6bは方向性結合器スイッチ11bの入力光導
波路7bへ入力される。
【0054】方向性結合器スイッチ11aは、制御電圧
19a無印加時にはクロス状態となるように作製され
ているため、V1=0Vの時はTM偏光6aは100%
光導波路7eに移行する。光導波路7eのTM導波光6
aの移行量は制御電圧V19aに応じて減少する。
【0055】図2に、方向性結合器スイッチ11aのク
ロスポート(光導波路7eの出力端)の減衰特性を示
す。ここで、減衰特性TM導波光6aで規格化、制御電
圧はTM偏光成分6aが最大に減衰する電圧(「スイッ
チング電圧」とも呼ばれる)VTMにて規格化している。
【0056】一方、方向性結合器スイッチ11bも同様
に制御電圧V29b無印加時にはクロス状態となるよう
に作製されているため、V2=0Vの時はTM偏光6b
は100%光導波路7gに移行する。
【0057】ここで、光導波路7gのTE導波光6bの
移行量は制御電圧V29bに応じて減少する。方向性結
合器スイッチ11bのクロスポート(光導波路7gの出
力端)の減衰特性も図2に示したものとされる。
【0058】方向性結合器スイッチ11a、11bのク
ロスポートの減衰量が最大となる電圧を、各々VTM、V
TEとすると、その比率はほぼVTM:VTE=1:3とな
る。
【0059】方向性結合器スイッチ11a、11bのク
ロスポートの減衰量が等しくなるような比率(約V1
2=1:3)にて、制御電圧V9a、9bを印加する
ことにより、減衰特性の偏光無依存化が可能となる。
【0060】図3に、クロスポートの減衰量が等しくな
る一定の比率(約V1:V2=1:3)にて、制御電圧V
9a、9bを印加した場合の、本発明の光導波路電気制
御可変光アッティネータの減衰特性例を示す。ここで、
減衰特性は入射光3aで規格化、制御電圧はTM偏光成
分6aが最大に減衰する電圧(スイッチング電圧とも呼
ばれる)VTMにて規格化している。
【0061】次に、上記した本発明の実施例のより詳細
な具体例について、図1を参照して説明する。
【0062】入出力ファイバ1a、1bは、1.55μ
mシングルモードファイバを使用した。入出力ポート2
a、2bと入出力ファイバ1a、1bの光軸固定にはU
V硬化型接着を使用した。
【0063】誘電体基板12aにはz−cut LiN
bO3を使用し、伝搬軸はY軸と設定した。光導波路7
a、7b、7d、7e、7f、7g、7i、7jは、T
i膜厚=50nm、Tiストライプ幅=10μm、拡散
温度/時間=1050℃/8時間wet雰囲気中にて熱
拡散により形成した。その後、光導波路7c、7hは、
Alマスク幅9μm、イオン交換温度=時間250℃/
3分にて安息香酸溶融塩内でプロトン交換を行い、更
に、360℃/2h dryO2雰囲気中にてアニール
を行い形成した。
【0064】このように、光導波路7形成後、スパッタ
リングにより二酸化珪素(SiO2)バッファ層13a
を膜厚300nmにて成膜した。
【0065】電極8はスパッタリングにてCr=30n
m、Au=300nmを成膜したのち、パターニングに
より電極8は電極幅12μm、電極間隔10μm、電極
長=40mmの形状にて形成した。
【0066】その結果、電圧無印加時の挿入損失は2.
7dBであり、制御電圧V19a=4.5V、制御電圧
29b=14.1V印加時において最大減衰量34.
2dBを得た。また制御電圧9a、9bに制御電圧
1;制御電圧V2=1:3.13の一定比率にて電圧を
印加した場合、減衰特性の偏光依存性は0.1dB以下
となった。
【0067】図4は、上記した本発明の一実施例の可変
光アッティネータを光ファイバ増幅器に適用した構成の
一例を示す図である。すなわち、図4を参照して、可変
光アッティネータ404として、図1に示した本実施例
のTi拡散型Z板Y軸伝搬LiNbO3光導波路電子制
御可変光アッティネータが用いられる。
【0068】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
下記記載の効果を奏する。
【0069】(1)本発明の第1の効果は、Z板LiN
bO3を用いた光導波路型電気制御可変光アッティネー
タにおいて偏光無依存の減衰特性を得ることができる、
ということである。
【0070】その理由は、本発明においては、偏光分岐
器によりTE/TM偏光を分離し、TE/TM両偏光に
対し等しい限界特性を得ることが可能であるためであ
る。
【0071】(2)本発明の第2の効果は、Z板LiN
bO3を用いた光導波路型電気制御可変アッティネータ
において偏光無依存動作を実現する場合、X板LiNb
3を用いた光導波路電気制御可変光アッティネータに
対して、低動作電圧化が実現できる、ということであ
る。
【0072】その理由は、本発明においては、減衰動作
に大きな電気光学定数を使用することができるためであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成を示す斜視図である。
【図2】本発明の一実施例において、方向性結合器スイ
ッチング11a、11bの制御電圧に対するクロスポー
トの減衰特性の一例を示す図である。
【図3】本発明の一実施例における減衰特性の一例を示
す図である。
【図4】本発明のアッティネータを光ファイバ増幅器に
適用した一実施例を示す光ファイバアンプの構成図であ
る。
【図5】従来の光導波路型電気制御可変アッティネータ
の構成の一例を示す図である。
【図6】図5に示した従来の光導波路型電気制御可変ア
ッティネータの制御電圧に対する減衰特性の一例を示す
図である。
【図7】従来の光導波路型電気制御可変アッティネータ
の構成の別の例を示す図である。
【図8】図7に示した従来の光導波路型電気制御可変ア
ッティネータの制御電圧に対する減衰特性の一例を示す
図である。
【符号の説明】
1a、1b 入出力ファイバ 2a、2b 入出力ポート 3a、3b 入出力光 4a、4b 入出力光TE偏光成分 5a、5b 入出力光TM偏光成分 6a、6b、6c、6d 導波光 7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h、7
i、7j 光導波路 8a、8b、8c、8d 金属電極 9a、9b 制御電圧 10a、10b 偏光分岐/結合器 11a、11b 方向性結合器スイッチ 12a LiNbO3基板 13a SiO2バッファ層

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】誘電体基板と、 前記基板表面に形成された光導波路と、 前記光導波路に設けられた入出力ポートと、 第1、第2の方向性結合器スイッチと、 偏光分岐器と、 偏光結合器と、 を備えた光導波路型電気制御可変アッティネータにおい
    て、 前記偏光分岐器の入力部を前記入力ポートと設定し、 前記偏光分岐器の一方の出力部が前記第1の方向性結合
    器スイッチの入力部と接続され、 前記第1の方向性結合器スイッチの出力部が前記偏光結
    合器の一方の入力部と接続され、 前記偏光分岐器の他方の出力部が前記第2の方向性結合
    器スイッチの入力部と接続され、 前記第2の方向性結合器スイッチの出力部が前記偏光結
    合器の他方の入力部に接続され、 前記偏光結合器の出力部を前記出力ポートと設定してい
    る、 ことを特徴とする光導波路型電気制御可変アッティネー
    タ。
  2. 【請求項2】前記誘導体基板が、ニオブ酸リチウム(L
    iNbO3)であることを特徴とする請求項1記載の光
    導波路型電気制御可変アッティネータ。
  3. 【請求項3】前記ニオブ酸リチウムが、Z−cut(カ
    ット)であることを特徴とする請求項2記載の光導波路
    型電気制御可変アッティネータ。
  4. 【請求項4】前記偏光分岐器が、Ti拡散、及び、プロ
    トン交換光導波路から構成されている請求項1記載の光
    導波路型電気制御可変アッティネータ。
  5. 【請求項5】前記偏光結合器が、Ti拡散、及び、プロ
    トン交換光導波路から構成されている請求項1記載の光
    導波路型電気制御可変アッティネータ。
  6. 【請求項6】前記第1、第2の方向性結合器スイッチの
    制御電圧の比率が、1:3から1:4の間にあることを
    特徴とする請求項1記載の光導波路型電気制御可変アッ
    ティネータ。
  7. 【請求項7】入力ポートより入射された光を、偏光分岐
    器によりTM偏光、TE偏光に分岐し、それぞれ第1、
    第2の方向性結合器スイッチにて可変減衰させ、前記第
    1、第2の方向性結合器スイッチからのTM偏光、TE
    偏光を偏光結合器により結合して出力ポートから出力
    し、これら両偏光が互いに等しい減衰特性を得るよう
    に、前記第1、第2の方向性結合器スイッチの制御電圧
    を所定の比率に調節し、偏光無依存型減衰特性を得る、
    ようにしたことを特徴とする光導波路型電気制御可変ア
    ッティネータ。
  8. 【請求項8】前記偏光結合器、前記第1、第2の方向性
    結合器スイッチ、及び前記偏光結合器がその上に形成さ
    れる誘電体基板としてZ板Y軸伝搬型ニオブ酸リチウム
    (LiNbO3)を用いたことを特徴とする請求項7記
    載の光導波路型電気制御可変アッティネータ。
  9. 【請求項9】入射光を励起光と波長多重して希土類添加
    型光ファイバで増幅し、前記希土類添加型光ファイバの
    出力光を監視し、該監視結果に応じて可変アッティネー
    タにて前記希土類添加型光ファイバの出力光の減衰率を
    可変させてなる光ファイバ増幅器が、前記可変アッティ
    ネータとして、請求項1乃至請求項8のいずれか一に記
    載の光導波路型電気制御可変アッティネータを備えたこ
    とを特徴とする光ファイバ増幅器。
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