JPH0682645A - 光方向性結合器及び光フィルタの製造方法 - Google Patents
光方向性結合器及び光フィルタの製造方法Info
- Publication number
- JPH0682645A JPH0682645A JP23566592A JP23566592A JPH0682645A JP H0682645 A JPH0682645 A JP H0682645A JP 23566592 A JP23566592 A JP 23566592A JP 23566592 A JP23566592 A JP 23566592A JP H0682645 A JPH0682645 A JP H0682645A
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- Japan
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- core
- refractive index
- optical
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- forming
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は光導波路型の光方向性結合器及び光フ
ィルタの製造方法に関し、均一な波長特性を得ることが
できる製造方法の提供を目的とする。 【構成】アンダークラッド２４上にコア層２６を形成
し、コア層２６をエッチングにより部分的に除去して光
方向性結合部となる第１コア部４及び第２コア部６を形
成し、オーバークラッド２８を形成し、光方向性結合部
の波長特性を実測し、光方向性結合部に沿って溝３０，
３２を形成し、実測された波長特性に応じて屈折率が調
整された充填物を溝３０，３２に充填する。
ィルタの製造方法に関し、均一な波長特性を得ることが
できる製造方法の提供を目的とする。 【構成】アンダークラッド２４上にコア層２６を形成
し、コア層２６をエッチングにより部分的に除去して光
方向性結合部となる第１コア部４及び第２コア部６を形
成し、オーバークラッド２８を形成し、光方向性結合部
の波長特性を実測し、光方向性結合部に沿って溝３０，
３２を形成し、実測された波長特性に応じて屈折率が調
整された充填物を溝３０，３２に充填する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路型の光方向性
結合器及び光フィルタの製造方法に関する。近年、光通
信システムを加入者系に適用するための研究及び開発が
実用化レベルで行われている。加入者系に於いて波長分
割多重を利用した双方向光通信を実現するためには、光
方向性結合器や光フィルタが必要不可欠であり、これら
の量産技術の確立が、加入者系光通信システムを実用化
するうえでのキーテクノロジーの一つとなっている。
結合器及び光フィルタの製造方法に関する。近年、光通
信システムを加入者系に適用するための研究及び開発が
実用化レベルで行われている。加入者系に於いて波長分
割多重を利用した双方向光通信を実現するためには、光
方向性結合器や光フィルタが必要不可欠であり、これら
の量産技術の確立が、加入者系光通信システムを実用化
するうえでのキーテクノロジーの一つとなっている。
【０００２】
【従来の技術】従来、光方向性結合器の製造方法とし
て、アンダークラッド上にコア層を形成するステップ
と、コア層をエッチングにより部分的に除去して光方向
性結合部となる第１コア部及び第２コア部を形成するス
テップと、第１及び第２コア部を覆うようにアンダーク
ラッド上にオーバークラッドを形成するステップとを含
む方法が知られている。
て、アンダークラッド上にコア層を形成するステップ
と、コア層をエッチングにより部分的に除去して光方向
性結合部となる第１コア部及び第２コア部を形成するス
テップと、第１及び第２コア部を覆うようにアンダーク
ラッド上にオーバークラッドを形成するステップとを含
む方法が知られている。
【０００３】又、同じようにしてマッハツェンダー型の
光干渉部を形成するようにした光フィルタの製造方法も
提案されている。
光干渉部を形成するようにした光フィルタの製造方法も
提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光方向性結
合器や光フィルタを従来方法により製造する場合、第１
及び第２コア部の形状等について高い寸法精度が要求さ
れ、量産に際して均一な波長特性を得ることが困難であ
るという問題があった。
合器や光フィルタを従来方法により製造する場合、第１
及び第２コア部の形状等について高い寸法精度が要求さ
れ、量産に際して均一な波長特性を得ることが困難であ
るという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、均一な波長特性を得るこ
とができる光方向性結合器及び光フィルタの製造方法を
提供することにある。尚、ここで言う波長特性の一例と
しては、光方向性結合器にあっては、所要の結合比（例
えば０％，５０％，１００％）を与える波長があり、光
フィルタにあっては、最大透過率または最小透過率を与
える波長がある。
とができる光方向性結合器及び光フィルタの製造方法を
提供することにある。尚、ここで言う波長特性の一例と
しては、光方向性結合器にあっては、所要の結合比（例
えば０％，５０％，１００％）を与える波長があり、光
フィルタにあっては、最大透過率または最小透過率を与
える波長がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光方向性結合器
の製造方法は、比較的低屈折率なアンダークラッド上に
比較的高屈折率なコア層を形成するステップと、該コア
層をエッチングにより部分的に除去して光方向性結合部
となる第１コア部及び第２コア部を形成するステップ
と、該第１及び第２コア部を覆うように上記アンダーク
ラッド上に比較的低屈折率なオーバークラッドを形成す
るステップと、上記光方向性結合部の波長特性を実測す
るステップと、上記光方向性結合部に沿って上記オーバ
ークラッド及び上記アンダークラッドを部分的に除去し
て溝を形成するステップと、上記実測された波長特性に
応じて屈折率が調整された充填物を上記溝に充填するス
テップとを含む。
の製造方法は、比較的低屈折率なアンダークラッド上に
比較的高屈折率なコア層を形成するステップと、該コア
層をエッチングにより部分的に除去して光方向性結合部
となる第１コア部及び第２コア部を形成するステップ
と、該第１及び第２コア部を覆うように上記アンダーク
ラッド上に比較的低屈折率なオーバークラッドを形成す
るステップと、上記光方向性結合部の波長特性を実測す
るステップと、上記光方向性結合部に沿って上記オーバ
ークラッド及び上記アンダークラッドを部分的に除去し
て溝を形成するステップと、上記実測された波長特性に
応じて屈折率が調整された充填物を上記溝に充填するス
テップとを含む。
【０００７】本発明の光フィルタの製造方法は、比較的
低屈折率なアンダークラッド上に比較的高屈折率なコア
層を形成するステップと、該コア層をエッチングにより
部分的に除去してマッハツェンダー型の光干渉部となる
第１コア部及び第２コア部を形成するステップと、該第
１及び第２コア部を覆うように上記アンダークラッド上
に比較的低屈折率なオーバークラッドを形成するステッ
プと、上記光干渉部の波長特性を実測するステップと、
上記光干渉部における上記第１コア部又は第２コア部に
沿って上記オーバークラッド及び上記アンダークラッド
を部分的に除去して溝を形成するステップと、上記実測
された波長特性に応じて屈折率が調整された充填物を上
記溝に充填するステップとを含む。
低屈折率なアンダークラッド上に比較的高屈折率なコア
層を形成するステップと、該コア層をエッチングにより
部分的に除去してマッハツェンダー型の光干渉部となる
第１コア部及び第２コア部を形成するステップと、該第
１及び第２コア部を覆うように上記アンダークラッド上
に比較的低屈折率なオーバークラッドを形成するステッ
プと、上記光干渉部の波長特性を実測するステップと、
上記光干渉部における上記第１コア部又は第２コア部に
沿って上記オーバークラッド及び上記アンダークラッド
を部分的に除去して溝を形成するステップと、上記実測
された波長特性に応じて屈折率が調整された充填物を上
記溝に充填するステップとを含む。
【０００８】
【作用】本発明の方法によると、波長特性を実測するス
テップと、オーバークラッド及びアンダークラッドを部
分的に除去して溝を形成するステップと、実測された波
長特性に応じて屈折率が調整された充填物を溝に充填す
るステップとを従来方法に付加しているので、量産に際
して寸法精度等のばらつきにより波長特性がばらついた
としても、均一な波長特性を得ることができるようにな
る。
テップと、オーバークラッド及びアンダークラッドを部
分的に除去して溝を形成するステップと、実測された波
長特性に応じて屈折率が調整された充填物を溝に充填す
るステップとを従来方法に付加しているので、量産に際
して寸法精度等のばらつきにより波長特性がばらついた
としても、均一な波長特性を得ることができるようにな
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の第１実施例を示す光方向性結合器
の平面図である。
する。図１は本発明の第１実施例を示す光方向性結合器
の平面図である。
【００１０】この光方向性結合器は、導波路本体基板２
と、本体基板２に埋設された第１コア部１４及び第２コ
ア部１６と、導波路基板２に形成された溝に所定屈折率
の充填物を充填してなる異屈折率部８及び１０とを備え
ている。第１コア部４の概略中央の一部分は第２コア部
６に対してほぼ平行に近接しており、この近接部分が光
方向性結合部１２となる。異屈折率部８及び１０は光方
向性結合部１２に近接してその両側にそれぞれ設けられ
る。以下の説明では、第１コア部４及び第２コア部６の
一端をそれぞれポート１４及び１６と称し、第１コア部
４及び第２コア部６の他端をそれぞれポート１８及び２
０と称する。
と、本体基板２に埋設された第１コア部１４及び第２コ
ア部１６と、導波路基板２に形成された溝に所定屈折率
の充填物を充填してなる異屈折率部８及び１０とを備え
ている。第１コア部４の概略中央の一部分は第２コア部
６に対してほぼ平行に近接しており、この近接部分が光
方向性結合部１２となる。異屈折率部８及び１０は光方
向性結合部１２に近接してその両側にそれぞれ設けられ
る。以下の説明では、第１コア部４及び第２コア部６の
一端をそれぞれポート１４及び１６と称し、第１コア部
４及び第２コア部６の他端をそれぞれポート１８及び２
０と称する。
【００１１】いま、ポート１４に供給された予め定めら
れた波長λ1 の光のパワーの大部分が光方向性結合部１
２で第１コア部４から第２コア部６に移行しこの光がポ
ート２０から出力するように、この光方向性結合器が設
計されているものとする場合、光方向性結合部１２にお
ける第１コア部４及び第２コア部６の形状寸法等のばら
つきにより波長特性がばらつくことは前述した通りであ
る。即ち、このような結合比１００％を与える波長が波
長λ1 に対してばらつくのである。
れた波長λ1 の光のパワーの大部分が光方向性結合部１
２で第１コア部４から第２コア部６に移行しこの光がポ
ート２０から出力するように、この光方向性結合器が設
計されているものとする場合、光方向性結合部１２にお
ける第１コア部４及び第２コア部６の形状寸法等のばら
つきにより波長特性がばらつくことは前述した通りであ
る。即ち、このような結合比１００％を与える波長が波
長λ1 に対してばらつくのである。
【００１２】第１コア部４の側の異屈折率部８の屈折率
が本体基板２のクラッド部の屈折率よりも高い場合、光
方向性結合部１２における光の電界分布は異屈折率部８
の側に引き寄せられ、これとは逆に、異屈折率部８の屈
折率がクラッド部の屈折率よりも低い場合には、光方向
性結合部１２における光の電界分布は異屈折率部８から
遠ざかる方向に移動する。従って、異屈折率部８の屈折
率を適当に調整することによって、所望の波長特性を得
ることができる。
が本体基板２のクラッド部の屈折率よりも高い場合、光
方向性結合部１２における光の電界分布は異屈折率部８
の側に引き寄せられ、これとは逆に、異屈折率部８の屈
折率がクラッド部の屈折率よりも低い場合には、光方向
性結合部１２における光の電界分布は異屈折率部８から
遠ざかる方向に移動する。従って、異屈折率部８の屈折
率を適当に調整することによって、所望の波長特性を得
ることができる。
【００１３】本実施例においては、第２コア部６の側に
も異屈折率部１０を設けているので、異屈折率部８及び
１０の屈折率のバランスを取りながら波長特性を補正し
て、所望の特性を得ることができる。例えば、ポート１
４（１６）に供給された波長λ1 （例えば１．５５μ
ｍ）の光を１００％ポート２０（１８）から出力させ、
且つ、ポート１４（１６）に供給された波長λ2 （例え
ば１．３μｍ）の光をほぼ１００％ポート１８（２０）
から出力させるように機能する光方向性結合器型の光合
分波器を、波長特性のばらつきを生じさせることなしに
量産することができる。
も異屈折率部１０を設けているので、異屈折率部８及び
１０の屈折率のバランスを取りながら波長特性を補正し
て、所望の特性を得ることができる。例えば、ポート１
４（１６）に供給された波長λ1 （例えば１．５５μ
ｍ）の光を１００％ポート２０（１８）から出力させ、
且つ、ポート１４（１６）に供給された波長λ2 （例え
ば１．３μｍ）の光をほぼ１００％ポート１８（２０）
から出力させるように機能する光方向性結合器型の光合
分波器を、波長特性のばらつきを生じさせることなしに
量産することができる。
【００１４】図２により図１の光方向性結合器の製造プ
ロセスの一例を説明する。まず、図２（Ａ）に示すよう
に、Ｓｉ、石英ガラス等からなる導波路基板２２上にア
ンダークラッド２４を形成する。アンダークラッド２４
の厚みは例えば約２０μｍである。
ロセスの一例を説明する。まず、図２（Ａ）に示すよう
に、Ｓｉ、石英ガラス等からなる導波路基板２２上にア
ンダークラッド２４を形成する。アンダークラッド２４
の厚みは例えば約２０μｍである。
【００１５】続いて、図２（Ｂ）に示すように、アンダ
ークラッド２４上にアンダークラッド２４の屈折率より
も高い屈折率を有するコア層２６を形成する。次に、フ
ォトリソグラフィー法、リアクティブイオンエッチング
法等を用いて、コア層２６をエッチングにより部分的に
除去し、図２（Ｃ）に示すように、第１コア部４及び第
２コア部６を形成する。
ークラッド２４上にアンダークラッド２４の屈折率より
も高い屈折率を有するコア層２６を形成する。次に、フ
ォトリソグラフィー法、リアクティブイオンエッチング
法等を用いて、コア層２６をエッチングにより部分的に
除去し、図２（Ｃ）に示すように、第１コア部４及び第
２コア部６を形成する。
【００１６】その後、図２（Ｄ）に示すように、第１コ
ア部４及び第２コア部６を覆うようにアンダークラッド
２４上にオーバークラッド２８を形成する。オーバーク
ラッド２８の屈折率は第１コア部４及び第２コア部６の
屈折率よりも高い。オーバークラッド２８の屈折率は例
えばアンダークラッド２４の屈折率と等しい。そしてこ
の段階で波長特性を実測しておく。
ア部４及び第２コア部６を覆うようにアンダークラッド
２４上にオーバークラッド２８を形成する。オーバーク
ラッド２８の屈折率は第１コア部４及び第２コア部６の
屈折率よりも高い。オーバークラッド２８の屈折率は例
えばアンダークラッド２４の屈折率と等しい。そしてこ
の段階で波長特性を実測しておく。
【００１７】然る後、図２（Ｅ）に示すように、図１の
異屈折率部８及び１０を形成すべき部分にそれぞれ溝３
０及び３２を形成する。この実施例では、溝３０及び３
２はオーバークラッド２８及びアンダークラッド２４を
貫通しているが、溝３０，３２はアンダークラッド２４
の途中部分まで形成されていても良い。
異屈折率部８及び１０を形成すべき部分にそれぞれ溝３
０及び３２を形成する。この実施例では、溝３０及び３
２はオーバークラッド２８及びアンダークラッド２４を
貫通しているが、溝３０，３２はアンダークラッド２４
の途中部分まで形成されていても良い。
【００１８】次いで、図２（Ｆ）に示すように、図２
（Ｄ）の工程で実測された波長特性に応じて決定される
屈折率を有する充填物３４及び３６をそれぞれ溝３０及
び３２に充填する。
（Ｄ）の工程で実測された波長特性に応じて決定される
屈折率を有する充填物３４及び３６をそれぞれ溝３０及
び３２に充填する。
【００１９】各クラッド層及びコア層の形成並びに溝へ
の充填物の充填は、例えば、析出物の主成分がＳｉＯ2
である火炎堆積法により行うことができる。又、各層及
び充填物の屈折率の調整は、ＳｉＯ2 にドープされるド
ーパントの種類や量を変化させることで行うことができ
る。ドーパントの例としては、ＧｅＯ2 ，Ｐ2 Ｏ5 ，Ｂ
2 Ｏ3 等がある。
の充填物の充填は、例えば、析出物の主成分がＳｉＯ2
である火炎堆積法により行うことができる。又、各層及
び充填物の屈折率の調整は、ＳｉＯ2 にドープされるド
ーパントの種類や量を変化させることで行うことができ
る。ドーパントの例としては、ＧｅＯ2 ，Ｐ2 Ｏ5 ，Ｂ
2 Ｏ3 等がある。
【００２０】図３は本発明の第２実施例を示す光フィル
タの平面図である。この光フィルタは、導波路本体基板
３８と、本体基板３８内に埋設された第１コア部４０及
び第２コア部４２と、第１コア部４０の概略中央部を挟
むように本体基板３８に形成された一対の溝にそれぞれ
充填物を充填してなる異屈折率部４４及び４６とを備え
ている。
タの平面図である。この光フィルタは、導波路本体基板
３８と、本体基板３８内に埋設された第１コア部４０及
び第２コア部４２と、第１コア部４０の概略中央部を挟
むように本体基板３８に形成された一対の溝にそれぞれ
充填物を充填してなる異屈折率部４４及び４６とを備え
ている。
【００２１】第１コア部４０の一方の端部は第２コア部
４２に対して結合比がほぼ５０％になるように光方向性
結合され、第１コア部４０の他方の端部も第２コア部４
２に対して結合比がほぼ５０％になるように光方向性結
合され、これによりマッハツェンダー型光干渉部が形成
されている。以下、第２コア部４２の両端をそれぞれポ
ート４８及び５０と称する。
４２に対して結合比がほぼ５０％になるように光方向性
結合され、第１コア部４０の他方の端部も第２コア部４
２に対して結合比がほぼ５０％になるように光方向性結
合され、これによりマッハツェンダー型光干渉部が形成
されている。以下、第２コア部４２の両端をそれぞれポ
ート４８及び５０と称する。
【００２２】ポート４８に供給された光は、図中の左側
に位置する光方向性結合部でほぼ１：１で第１分岐光及
び第２分岐光に分岐され、これら第１及び第２分岐光は
それぞれ第１コア部４０及び第２コア部４２により導波
される。第１コア部４０及び第２コア部４２にそれぞれ
導波された第１及び第２分岐光は、図中の右側に位置す
る光方向性結合部で第１及び第２分岐光間の位相差に応
じて干渉する。
に位置する光方向性結合部でほぼ１：１で第１分岐光及
び第２分岐光に分岐され、これら第１及び第２分岐光は
それぞれ第１コア部４０及び第２コア部４２により導波
される。第１コア部４０及び第２コア部４２にそれぞれ
導波された第１及び第２分岐光は、図中の右側に位置す
る光方向性結合部で第１及び第２分岐光間の位相差に応
じて干渉する。
【００２３】位相差が０または２πの整数倍である場合
には、干渉の結果第１及び第２分岐光は互いに強め合
い、ポート５０から出力される光の強度は最大になる。
一方、位相差がπの奇数倍である場合には、干渉の結果
第１及び第２分岐光は互いに相殺され、ポート５０から
出力される光の強度は最小、即ち０になる。
には、干渉の結果第１及び第２分岐光は互いに強め合
い、ポート５０から出力される光の強度は最大になる。
一方、位相差がπの奇数倍である場合には、干渉の結果
第１及び第２分岐光は互いに相殺され、ポート５０から
出力される光の強度は最小、即ち０になる。
【００２４】この位相差はポート４８に供給される光の
波長に依存する。従って、正しく設計された導波路の構
造パラメータが得られている限りにおいては所要の波長
特性を有する光フィルタが提供されることになるが、第
１コア部４０及び第２コア部４２の形状寸法等のばらつ
きにより最大透過率を与える波長及び最小透過率を与え
る波長がばらつく。
波長に依存する。従って、正しく設計された導波路の構
造パラメータが得られている限りにおいては所要の波長
特性を有する光フィルタが提供されることになるが、第
１コア部４０及び第２コア部４２の形状寸法等のばらつ
きにより最大透過率を与える波長及び最小透過率を与え
る波長がばらつく。
【００２５】本実施例においては、異屈折率部４４，４
６の屈折率を適当に調整しておくことによって、コア部
における光の電界分布をシフトさせて所要の波長特性を
得ることができる。第１コア部４２に対して異屈折率部
４６と反対の側に更に異屈折率部を設けておいても良
い。
６の屈折率を適当に調整しておくことによって、コア部
における光の電界分布をシフトさせて所要の波長特性を
得ることができる。第１コア部４２に対して異屈折率部
４６と反対の側に更に異屈折率部を設けておいても良
い。
【００２６】尚、図３の光フィルタは図２の製造プロセ
スに準じて製造することができるので、その製造プロセ
スについての説明は省略する。
スに準じて製造することができるので、その製造プロセ
スについての説明は省略する。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
均一な波長特性を得ることができる量産に適した光方向
性結合器及び光フィルタの製造が可能になるという効果
を奏する。
均一な波長特性を得ることができる量産に適した光方向
性結合器及び光フィルタの製造が可能になるという効果
を奏する。
【図１】本発明の第一実施例を示す光方向性結合器の平
面図である。
面図である。
【図２】図１の光方向性結合器の製造プロセスの一例を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図３】本発明の第二実施例を示す光フィルタの平面図
である。
である。
４，４０ 第１コア部 ６，４２ 第２コア部 ８，１０，４４，４６ 異屈折率部 １２ 光方向性結合部 ２２ 導波路基板 ２４ アンダークラッド ２６ コア層 ２８ オーバークラッド ３４，３６ 充填物
Claims (4)
- 【請求項１】 比較的低屈折率なアンダークラッド(24)
上に比較的高屈折率なコア層(26)を形成するステップ
と、 該コア層(26)をエッチングにより部分的に除去して光方
向性結合部となる第１コア部(4) 及び第２コア部(6) を
形成するステップと、 該第１及び第２コア部(4,6) を覆うように上記アンダー
クラッド(24)上に比較的低屈折率なオーバークラッド(2
8)を形成するステップと、 上記光方向性結合部の波長特性を実測するステップと、 上記光方向性結合部に沿って上記オーバークラッド(28)
及び上記アンダークラッド(24)を部分的に除去して溝(3
0,32) を形成するステップと、 上記実測された波長特性に応じて屈折率が調整された充
填物を上記溝(30,32)に充填するステップとを含むこと
を特徴とする光方向性結合器の製造方法。 - 【請求項２】 比較的低屈折率なアンダークラッド上に
比較的高屈折率なコア層を形成するステップと、 該コア層をエッチングにより部分的に除去してマッハツ
ェンダー型の光干渉部となる第１コア部(40)及び第２コ
ア部(42)を形成するステップと、 該第１及び第２コア部(40,42) を覆うように上記アンダ
ークラッド上に比較的低屈折率なオーバークラッドを形
成するステップと、 上記光干渉部の波長特性を実測するステップと、 上記光干渉部における上記第１コア部(40)又は第２コア
部(42)に沿って上記オーバークラッド及び上記アンダー
クラッドを部分的に除去して溝を形成するステップと、 上記実測された波長特性に応じて屈折率が調整された充
填物を上記溝に充填するステップとを含むことを特徴と
する光フィルタの製造方法。 - 【請求項３】 上記溝が複数形成されることを特徴とす
る請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項４】 上記アンダークラッドは、析出物の主成
分がＳｉＯ2 である火炎堆積法により導波路基板状に形
成され、 上記コア層、上記オーバークラッド及び上記充填物は、
析出物の主成分がＳｉＯ2 である火炎堆積法により形成
されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23566592A JPH0682645A (ja) | 1992-09-03 | 1992-09-03 | 光方向性結合器及び光フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23566592A JPH0682645A (ja) | 1992-09-03 | 1992-09-03 | 光方向性結合器及び光フィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682645A true JPH0682645A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=16989388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23566592A Withdrawn JPH0682645A (ja) | 1992-09-03 | 1992-09-03 | 光方向性結合器及び光フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682645A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441242B1 (ko) * | 2002-10-22 | 2004-07-21 | 이형종 | 다중박막필터 증착형 평판 광도파로를 이용한 광대역파장분할다중화기 제조방법 |
| US6862141B2 (en) | 2002-05-20 | 2005-03-01 | General Electric Company | Optical substrate and method of making |
-
1992
- 1992-09-03 JP JP23566592A patent/JPH0682645A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6862141B2 (en) | 2002-05-20 | 2005-03-01 | General Electric Company | Optical substrate and method of making |
| KR100441242B1 (ko) * | 2002-10-22 | 2004-07-21 | 이형종 | 다중박막필터 증착형 평판 광도파로를 이용한 광대역파장분할다중화기 제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |