JP2011064612A - ロータリエンコーダ、ロータリモータ、ロータリモータシステム、ディスク及びロータリエンコーダの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エンコーダ100は、回転軸AX周りに回転可能に配置され、回転格子Lがそれぞれ形成されたリング状の1以上のトラックTA〜TCを有する円板状のディスク110と、回転格子Lと回折干渉光学系を構成するようにディスク110に対向して固定配置され1以上の固定格子G1,G2が形成されたマスク120と、を備え、少なくとも1の回転格子LA,LBに含まれる複数のスリットSLA,SLBは、該スリットSLA,SLBのピッチpLA,pLBを所定の値に設定可能なように、回転軸AXを中心とした複数の放射状線LINE1を所定の湾曲度合いCで周方向に向けて湾曲させた湾曲線LINE2に沿って形成される。
【選択図】図3
Description
このエンコーダは、移動体の移動方向に応じて、主に回転型(以下「ロータリ」ともいう。)と直線型(以下「リニア」ともいう。)に大別される。
光学式エンコーダとして、複数のスリット(反射型及び透過型を含む。)で形成された格子を利用したものが開発されている。この光学格子を利用したエンコーダは、単に格子を透過又は反射した光を利用する「幾何光学型」と、複数の格子による回折干渉光を利用する「回折干渉光学型」とに大別される(特許文献1,2参照。)。
上記回転格子と回折干渉光学系を構成するように上記ディスクに対向して固定配置され、光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、
を備え、
少なくとも1の上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、上記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ロータリエンコーダが提供される。
1の当該回転格子に対応する2の上記固定格子は、上記ディスクの同一面側に配置されてもよい。
上記回転シャフトに連結されて上記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、
を備え、
上記ロータリエンコーダは、
上記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有する円板状のディスクと、
上記回転格子と回折干渉光学系を構成するように上記ディスクに対向して固定配置され、光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、
を備え、
少なくとも1の上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、上記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ロータリモータが提供される。
上記回転シャフトに連結されて上記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、
上記ロータリエンコーダが検出した位置に基づいて、上記モータ部の回転を制御する制御部と、
を備え、
上記ロータリエンコーダは、
上記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有する円板状のディスクと、
上記回転格子と回折干渉光学系を構成するように上記ディスクに対向して固定配置され、光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、
を備え、
少なくとも1の上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、上記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ロータリモータシステムが提供される。
光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと対向して回転軸周りに回転可能に配置されてロータリエンコーダに使用された場合に、上記固定格子と回折干渉光学系を形成する光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有し、
少なくとも1の上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、上記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ディスクが提供される。
上記1又は2以上のトラックそれぞれの回折格子に含まれる複数のスリットの数を、所望の周期信号が得られるように決定するスリット数決定ステップと、
少なくとも1の上記トラックについて、上記回転軸を中心として、上記スリット数決定ステップで決定したスリットの数と等しい複数の放射状線を、上記回転軸を中心に等角度で設定する放射状線設定ステップと、
上記少なくとも1のトラックについて、上記複数のスリットのピッチが所定の値になるように、上記複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲して、複数の湾曲線を設定する湾曲線設定ステップと、
上記少なくとも1のトラックの上記複数のスリットを、上記複数の湾曲線に沿って形成するスリット形成ステップと、
を有することを特徴とする、ロータリエンコーダの製造方法が提供される。
<1.第1実施形態>
(1−1.第1実施形態に係るロータリモータシステム)
(1−2.第1実施形態に係るロータリエンコーダ)
(1−2−1.ディスク110)
(トラックTA〜TC)
(スリットSの形状)
(磁石MG)
(1−2−2.検出部MX,検出部130A〜130C)
(1X検出機構)
(光学検出機構)
(1−2−3.湾曲スリットの構成)
(一のトラックT内の湾曲スリット)
(湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係)
(複数のトラック間の関係における湾曲スリット)
(1−2−4.位置データ生成部140)
(1−3.第1実施形態に係るロータリモータシステムの動作)
(1−4.第1実施形態に係るロータリエンコーダの製造方法)
(1−5.第1実施形態に係るロータリエンコーダシステムによる効果の例)
(1−6.第1実施形態に係るロータリエンコーダの実施例)
<2.第2実施形態>
<3.第3実施形態>
(1−1.第1実施形態に係るロータリモータシステム)
まず、図1を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムの構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムの構成について説明するための説明図である。
次に、図2及び図3を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ100の構成について説明する。図2は、本実施形態に係るロータリエンコーダの構成について説明するための説明図である。図3は、本実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクについて説明するための説明図である。
ディスク110は、図3に示すように円板状に形成され、ディスク中心Oが回転軸AXとほぼ一致するように配置される。そして、ディスク110は、この回転軸AX周りに回転可能な回転シャフト101を介して、モータ部200の回転シャフト201に対応した回転シャフト202に連結される。従って、ディスク110は、モータ部200の回転に応じて回転軸AX周りに回転可能に配置されることとなる。
トラックTA〜TCは、それぞれディスク110のディスク中心Oを中心とするリング状に所定の幅wA〜wCで設定される。本実施形態では、各トラックTA〜TCの幅wA〜wCは同一の幅wに設定される(w=wA=wB=wC)。
反射スリットとして形成される場合、スリットSLは、例えば反射率の高い材質を蒸着するなどの方法により形成されてもよい。一方、ディスク110におけるスリットSLA〜SLC以外の部位は、例えば、蒸着等の方法により光を吸収する材質を配置したり、ディスク110自体に光を透過する材質を使用するなどの方法で形成されてもよい。また、ディスク110自体に光を反射する材質を使用して、スリットSLA〜SLC以外の部位をエッチング等により加工することも可能である。更に、スリットSLA〜SLCもSLA〜SLC以外の部位も反射率の高い材料で形成した上で、スリットSLA〜SLCとSLA〜SLC以外の部位とにギャップ方向の段差を設けて位相回折格子としてスリット形成することも可能である。
一方、透過スリットとして形成される場合、ディスク110自体を光が透過する材質で形成し、スリットSLA〜SLC以外の部位に、吸収又は反射するなどにより光を遮蔽する物質を配置したり光を遮蔽する加工を施すなどの方法で形成されてもよい。ただし、スリットSLA〜SLCの形成方法は特に限定されるものではない。
要するに、反射型スリットの場合、スリットSLA〜SLCは、光を反射し、それ以外の部位は、光を反射せず、透過型スリットの場合、スリットSLA〜SLCは、光を透過し、それ以外の部位は、光を遮蔽することとなる。
ここで、各トラックTA〜TCそれぞれにおけるスリットSLA〜SLCの形状について説明する。
磁石MGは、1回転内の大まかな絶対位置xを検出するための1回転検出機構の一例の一部を構成する。磁石MGは、両磁極(N極及びS極)がディスク面と平行な方向でディスク中心O(回転軸AX)を挟んで対称に位置するように配置される。この磁石MGは、本実施形態と異なる1回転検出機構が使用される場合、その機構に応じた構成に変更されてもよい(例えば第3実施形態など)。
一方、本実施形態では、トラックTA〜TCのスリット本数nA〜nCは、上述の通り、nA<nB<nCに設定される。そして、各トラックTA〜TCから得られる周期信号の周期数mA〜mBは、各トラックTA〜TC毎の位置検出精度を表し、それぞれスリット本数nA〜nCに対応する。
一方、トラックTAによる検出機構は、1回転よりも狭い範囲内での絶対位置xを、1X検出機構よりも高い精度で検出することができる。このトラックTAによる検出機構をここでは「ミドルL(ロー)検出機構」ともいう。
そして、トラックTBによる検出機構は、ミドルL検出機構よりも更に狭い範囲内での絶対位置xを、ミドルL検出機構よりも高い精度で検出することができる。このトラックTBによる検出機構をここでは「ミドルH(ハイ)検出機構」ともいう。
更に、トラックTCによる検出機構は、ミドルH検出機構よりも更に狭い範囲内での絶対位置xを、ミドルH検出機構よりも高い精度で検出することができる。このトラックTCによる検出機構をここでは「インクレ検出機構」ともいう。
次に、図2〜図5を参照しつつ、検出部MX及び検出部130A〜130Cについて説明しつつ、これらの検出機構についてより具体的に説明する。図4及び図5は、本実施形態に係るロータリエンコーダが有する光学検出機構について説明するための説明図である。
検出部MXは、磁石MGに対向して配置され、磁石MGと共に1X検出機構を構成する。検出部MXと磁石MGとの間のギャップgは、図2に示すように、他の検出部130A〜130Cとディスク110との間のギャップgと同一に設定される。その結果、検出器MX,130A〜130Cのギャップgを同時に調整することが可能になり、製造等が容易になる。ただし、この検出部MXのギャップgを、検出器130A〜130Cのギャップgと異なる値にすることも可能である。
検出部130Aは、トラックTAに対向して配置され、トラックTAと共にミドルL検出機構を構成する。検出部130Bは、トラックTBに対向して配置され、トラックTBと共にミドルH検出機構を構成する。検出部130Cは、トラックTCに対向して配置され、トラックTCと共にインクレ検出機構を構成する。
これと同様に、回転格子Lで反射した光は、回転格子Lに入射する際の入射角に応じて、回転格子Lの幅方向に広がる。従って、後述する固定格子G2のスリットSG2の幅も、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、回転格子LのスリットSLの幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、固定格子G2のスリットSLの幅を、更に、回転格子Lで反射した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、固定格子G2と回転格子Lとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能であることも同様である。
ただし、固定格子G1と固定格子G2と回転格子Lそれぞれのスリットの幅の関係は、十分な信号強度が確保でき、また、取り付け誤差に対する信号の安定性も十分に確保できる場合には、特に限定されるものではないことは言うまでもない。
以上、本発明の第1実施形態に係るロータリエンコーダ100の構成について説明した。次に、図5及び図6を参照しつつ、上記回転格子LA,LBに使用される湾曲スリットについて、詳しく説明する。図6は、本実施形態に係るロータリエンコーダが有する湾曲スリットについて説明するための説明図である。
まず、図6を参照しつつ、どちらか一方の湾曲スリット、つまり、トラックTAの回転格子LAのスリットSLA、又は、トラックTBの回転格子LBのスリットSLBを例に挙げて説明する。そして、スリットSLAとスリットSLBとで異なる点については、個別に説明することとする。
ディスク中心Oを原点とし、原点からの距離をlとし、原点を通る基準線からの角度をθとし、トラックTの内径及び外径をrIN,rOUTとする。そして、トラックTの回転格子Lが含むスリット本数をnとし、各スリットをj(j=0,1,2…,n−1)で識別するものとする。すると、放射状線LINE1は、極座標で下記式1で表される。
LINE1=(l,j×2π/n) …(式1)
ただしrIN≦l≦rOUT
LINE2=(r0(1−Cθ),θ+j×2π/n) …(式2)
ただしrIN≦r0(1−Cθ)≦rOUT
C=tan[sin−1{pL×n/(2πr0}] …(式3)
なお、トラックTは、回折格子G2を透過した後に受光素子で受光した回転格子Lからの反射光が、十分な光量となるだけの幅w(=rOUT−rIN)で形成されることが望ましい。本実施形態に係る回折干渉光学系では、トラックTの幅wを例えば回転格子LのピッチpLの20倍〜50倍程度に設定すれば、十分な光量が得られる。従って、湾曲スリットであるスリットSLは、式3から判るように、トラック内径(rIN)の位置から角度θで180°以内の位置でトラック外径(rOUT)に到達する。湾曲したスリットSLの1本1本は、それぞれ角度θで180°以内となり、トラックTを1回転も周回しないように形成される。このように湾曲スリットを形成することにより、ディスク110の強度を高めたり、スリットSLの形成を容易にすることが可能である。
g=(2×k−1)×pL 2/4λ …(式4)
g=(2×k)×pL 2/λ …(式5)
pL=f(n,r,C) …(式6)
=(2πr/n)×sin(tan−1C)
固定格子G1,G2として平行スリットを使用する場合、図5に示すように、固定格子G1,G2は、対応する回転格子LのスリットSLの湾曲線LINE2の接線LINE3と各スリットSG1,SG2が平行になるように、配置される。本実施形態のような湾曲スリットであれば、固定格子G1,G2の配置位置が多少ずれた場合でも、湾曲スリットのピッチpLの上記変化量が比較的小さいため、平行スリットである固定格子G1,G2と回転格子Lとが平行になる領域を大きく確保することができる。よって、周期信号の検出精度を更に向上させつつ、製造等を非常に容易にすることができる。
以上、一のトラックT内の湾曲スリットについて説明した。ここで、複数のトラックTA〜TB間の関係における湾曲スリットについて、図2及び図3を参照しつつ説明する。
次に、図2及び図7A〜図7Dを参照しつつ、エンコーダ100の残りの構成である位置データ生成部140について説明する。
図7Bでは、ミドルL信号として、位置xが360°回転する毎に、電気角φAが4回転する例、つまり、4回単調増加を繰り返す例を示している。
図7Cでは、ミドルH信号として、位置xが360°回転する毎に、電気角φCが16回転する例、つまり、16回単調増加を繰り返す例を示している。
図7Dでは、インクレ信号として、位置xが360°回転する毎に、電気角φBが64回転する例、つまり、64回単調増加を繰り返す例を示している。
つまり、ミドルL信号、ミドルH信号、インクレ信号は、それぞれ1X信号、ミドルL信号、ミドルH信号の4倍の位置分解能を有することを意味する。
そして、位置データ生成部140は、ミドルL信号を使用して、その90°内における(90/4)°毎の位置を特定する。
次に、位置データ生成部140は、ミドルH信号を使用して、その(90/4)°内における(90/16)°毎の位置を特定する。
そして最後に、位置データ生成部140は、インクレ信号を使用して、その(90/16)°内における(90/64)°毎の位置を特定する。
その結果、位置データ生成部140は、最外のインクレ検出機構の分解能と同様の分解能において、モータ部200の絶対位置xを特定することが可能となる。そして、位置データ生成部140は、このように特定した絶対位置xを表す位置データを制御部20に出力する。
次に、本実施形態に係るモータシステム1の動作について説明する。なお、各構成における動作や作用等については、各構成の説明で詳しく説明したので適宜省略して説明する。
以上、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムについて説明した。
次に、図8を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ100の製造方法について説明する。図8は、本実施形態に係るロータリエンコーダの製造方法について説明するための説明図である。
以上、本発明の第1実施形態に係るロータリエンコーダ、ロータリモータ、ロータリモータシステム、ディスク及びロータリエンコーダの製造方法について説明した。
ここで、本実施形態に係るエンコーダ100等による効果がより明確になるように、本実施形態に係るエンコーダ100による実施例と、本実施形態とは異なる構成のエンコーダによる比較例とを比較しつつ、上記効果についてより詳細に説明する。
比較例2では、比較例1における放射状線LINE1を、湾曲させるのではなくトラックTの周方向にΔθ=0.35度傾け、その線に沿ってスリットSL4を形成した。
この比較例1,2では、固定格子G1,G2は、平行スリットとして形成され、少なくとも一部の回転格子L3,L4と略平行になるように配置される。
一方、比較例3では、512本のスリットSL5を、上記トラックT5内に納まるように、ディスク中心Oを中心に螺旋状に1回転以上巻きつけて形成した。ただし、図13では512本のスリットSL5を適宜省略して概念的に記載している。この比較例3では、固定格子G1,G2は、平行スリットとして形成され、ディスク510の螺旋の接線と平行に配置される。
比較例1,2では、ピッチpLが98μmと大きくなるため、上記回折干渉現象を利用したエンコーダを構成することが難しい。一方、比較例3では、ピッチpLが0.98μmと小さくなるため、回転格子L及び固定格子G1,G2に対して高い製作精度が要求され、製造が困難になる。また、これらのピッチpLは、ギャップgに対して最適な値(20μm)に設定することができない。
これに対して、本実施例では、湾曲度合いC等を調整することにより、ピッチpLをギャップgに対して最適な値20μmに調整することが可能である。
以上、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムについて説明した。
次に、図13を参照しつつ、本発明の第2実施形態に係るロータリモータシステムについて説明する。図13は、本発明の第2実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクの構成について説明するための説明図である。
以上、本発明の第2実施形態に係るロータリモータシステムについて説明した。
次に、図14を参照しつつ、本発明の第3実施形態に係るロータリモータシステムについて説明する。図14は、本発明の第3実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクの構成について説明するための説明図である。
10 モータ
20 制御部
100 エンコーダ
110,610,710 ディスク
120 マスク
130,130A,130B,130C,130X,130Y 検出部
131 発光部
132 受光部
140 位置データ生成部
200 モータ部
201,202 シャフト
310,410,510 ディスク
a 加速度
AX 回転軸
G1,G2 固定格子
G2A,G2B 領域
L,LA,LB,LC 回転格子
L3,L4,L5 回転格子
LINE1 放射状線
LINE2 湾曲線
LINE3 接線
LX1,LX2 回転格子
m,mA,mB,mC 周期数
MG 磁石
MX 検出部
n,nA,nB,nC スリット本数
O ディスク中心
p ピッチ
pG1,pG2 ピッチ
pL,pLA,pLB,pLB,pLX,pLY ピッチ
r,rA,rB,rC トラック半径
rIN トラック内径
rOUT トラック外径
S1,S2 スリット
SG1,SG2 スリット
SL,SLA,SLB,SLC スリット
SL3,SL4,SL5 スリット
T,TA,TB,TC トラック
T3,T4,T5 トラック
v 速度
w,wA,wB,wC トラック幅
x 位置
θ,θ4 角度
φX,φA,φB,φC 電気角
g ギャップ
Claims (13)
- 回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有する円板状のディスクと、
前記回転格子と回折干渉光学系を構成するように前記ディスクに対向して固定配置され、光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、
を備え、
少なくとも1の前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、前記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ロータリエンコーダ。 - 前記少なくとも1のトラックのスリットにおける湾曲度合いは、該トラックにおけるスリットのピッチが1以上の他の前記トラックのスリットのピッチと等しくなるように、設定されることを特徴とする、請求項1に記載のロータリエンコーダ。
- 前記少なくとも1のトラックの回転格子と該回転格子に対応する少なくとも1の前記固定格子との間のギャップは、前記他のトラックの回転格子と該回転格子に対応する少なくとも1の前記固定格子との間のギャップと等しいことを特徴とする、請求項2に記載のロータリエンコーダ。
- 前記少なくとも1のトラックの前記スリットにおける湾曲度合いは、前記他のトラックの前記スリットにおける湾曲度合いと異なることを特徴とする、請求項2又は3に記載のロータリエンコーダ。
- 前記少なくとも1のトラックのスリットにおける湾曲方向は、該トラックに隣接する他のトラックの前記スリットにおける湾曲方向と逆の周方向であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかの1項に記載のロータリエンコーダ。
- 前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットは、反射スリットであり、
1の当該回転格子に対応する2の前記固定格子は、前記ディスクの同一面側に配置されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のロータリエンコーダ。 - 前記湾曲線に沿って前記スリットが形成された前記トラックに対応した前記固定格子は、前記湾曲線の接線と平行に形成されることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載のロータリエンコーダ。
- 回転シャフトを回転させるモータ部と、
前記回転シャフトに連結されて前記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、
を備え、
前記ロータリエンコーダは、
前記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有する円板状のディスクと、
前記回転格子と回折干渉光学系を構成するように前記ディスクに対向して固定配置され、光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、
を備え、
少なくとも1の前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、前記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ロータリモータ。 - 回転シャフトを回転させるモータ部と、
前記回転シャフトに連結されて前記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、
前記ロータリエンコーダが検出した位置に基づいて、前記モータ部の回転を制御する制御部と、
を備え、
前記ロータリエンコーダは、
前記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有する円板状のディスクと、
前記回転格子と回折干渉光学系を構成するように前記ディスクに対向して固定配置され、光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、
を備え、
少なくとも1の前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、前記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ロータリモータシステム。 - 円板状に形成され、
光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと対向して回転軸周りに回転可能に配置されてロータリエンコーダに使用された場合に、前記固定格子と回折干渉光学系を形成する光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有し、
少なくとも1の前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチを所定の値に設定可能なように、前記回転軸を中心とした複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されることを特徴とする、ディスク。 - 回転軸周りに回転可能に配置され光学的な回転格子がそれぞれ形成されたリング状の1又は2以上のトラックを有する円板状のディスクと、前記回転格子と回折干渉光学系を構成するように前記ディスクに対向して固定配置され光学的な1又は2以上の固定格子が形成されたマスクと、を有するロータリエンコーダの製造方法であって、
前記1又は2以上のトラックそれぞれの回折格子に含まれる複数のスリットの数を、所望の周期信号が得られるように決定するスリット数決定ステップと、
少なくとも1の前記トラックについて、前記回転軸を中心として、前記スリット数決定ステップで決定したスリットの数と等しい複数の放射状線を、前記回転軸を中心に等角度で設定する放射状線設定ステップと、
前記少なくとも1のトラックについて、前記複数のスリットのピッチが所定の値になるように、前記複数の放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲して、複数の湾曲線を設定する湾曲線設定ステップと、
前記少なくとも1のトラックの前記複数のスリットを、前記複数の湾曲線に沿って形成するスリット形成ステップと、
を有することを特徴とする、ロータリエンコーダの製造方法。 - 前記湾曲線設定ステップでは、前記少なくとも1のトラックのスリットにおける湾曲度合いを、該トラックにおけるスリットのピッチが1以上の他の前記トラックのスリットのピッチと等しくなるように設定することを特徴とする、請求項11に記載のロータリエンコーダの製造方法。
- 前記少なくとも1のトラックの回転格子と該回転格子に対応する少なくとも1の前記固定格子との間のギャップが、前記他のトラックの回転格子と該回転格子に対応する少なくとも1の前記固定格子との間のギャップと等しくなるように、前記マスクを配置するマスク配置ステップを更に有することを特徴とする、請求項12に記載のロータリエンコーダの製造方法。
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