JP3509830B2 - 光学式ロータリエンコーダ - Google Patents
光学式ロータリエンコーダInfo
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- JP3509830B2 JP3509830B2 JP28975695A JP28975695A JP3509830B2 JP 3509830 B2 JP3509830 B2 JP 3509830B2 JP 28975695 A JP28975695 A JP 28975695A JP 28975695 A JP28975695 A JP 28975695A JP 3509830 B2 JP3509830 B2 JP 3509830B2
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- slits
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学式ロータリエン
コーダに関する。
コーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】第１のスリット、第２のスリット、第３
のスリットを用いた光学式エンコーダの光学系は３格子
システムと呼ばれ、基本原理はSPIC Vol.136 1st Europ
ean Congress on Optics Applied to Metrology (197
7), pp.325-332に示されている。
のスリットを用いた光学式エンコーダの光学系は３格子
システムと呼ばれ、基本原理はSPIC Vol.136 1st Europ
ean Congress on Optics Applied to Metrology (197
7), pp.325-332に示されている。
【０００３】図５は上記論文に開示された光学系の原理
図である。第１のスリット１１と光源３との間に第２の
スリット２１（光源スリット）が配置され、第１のスリ
ット１１に対して第２のスリットと反対位置に第３のス
リット２２（インデックススリット）が配置されてい
る。ここで、第１のスリット１１と第２のスリット２１
間の距離をｕ、第１のスリット１１と第３のスリット２
２間の距離をｖとする。第１のスリット１１のピッチを
ｄとし、ｕ＝ｖとした場合、第１のスリット１１のピッ
チと第２のスリット２１のピッチと第３のスリット２２
のピッチの比を１：１：１とすると、第３のスリット２
２上に第１のスリット１１のピッチと同じピッチの縞像
が形成され、検出信号の周期はｄ／２となる。この光学
系は回折効果的システムと呼ばれている。また、第１の
スリット１１のピッチと第２のスリット２１のピッチと
第３のスリット２２のピッチの比を１：２：２とする
と、第３のスリット２２上に第１のスリット１１のピッ
チの２倍のピッチの縞像が形成され、検出信号の周期は
ｄとなる。この光学系は幾何光学的システムと呼ばれて
いる。この光学系でｕ＝ｖの条件を得るための方法とし
ては、図６に示すように、拡散光源３を用いて固定スケ
ール２５上に第２のスリット２１と第３のスリット２２
を配置し、拡散光源３から出た光が第２のスリット２１
を透過し、移動スケール１３上の第１のスリット１１で
反射した光が第３のスリット２２を透過するような反射
型光学系を形成すればよく、これも先に述べた論文に開
示されている。 第１のスリット（光源スリット）は線
光源列を作る働きをしており、１つの線光源からの拡散
光が回転スリットを反射および透過することにより縞像
が形成されるが、第１のスリット、第２のスリット、第
３のスリットのピッチの比として上記した２通りの比を
とることにより、Ｓ／Ｎ比の高い信号が得られる。
図である。第１のスリット１１と光源３との間に第２の
スリット２１（光源スリット）が配置され、第１のスリ
ット１１に対して第２のスリットと反対位置に第３のス
リット２２（インデックススリット）が配置されてい
る。ここで、第１のスリット１１と第２のスリット２１
間の距離をｕ、第１のスリット１１と第３のスリット２
２間の距離をｖとする。第１のスリット１１のピッチを
ｄとし、ｕ＝ｖとした場合、第１のスリット１１のピッ
チと第２のスリット２１のピッチと第３のスリット２２
のピッチの比を１：１：１とすると、第３のスリット２
２上に第１のスリット１１のピッチと同じピッチの縞像
が形成され、検出信号の周期はｄ／２となる。この光学
系は回折効果的システムと呼ばれている。また、第１の
スリット１１のピッチと第２のスリット２１のピッチと
第３のスリット２２のピッチの比を１：２：２とする
と、第３のスリット２２上に第１のスリット１１のピッ
チの２倍のピッチの縞像が形成され、検出信号の周期は
ｄとなる。この光学系は幾何光学的システムと呼ばれて
いる。この光学系でｕ＝ｖの条件を得るための方法とし
ては、図６に示すように、拡散光源３を用いて固定スケ
ール２５上に第２のスリット２１と第３のスリット２２
を配置し、拡散光源３から出た光が第２のスリット２１
を透過し、移動スケール１３上の第１のスリット１１で
反射した光が第３のスリット２２を透過するような反射
型光学系を形成すればよく、これも先に述べた論文に開
示されている。 第１のスリット（光源スリット）は線
光源列を作る働きをしており、１つの線光源からの拡散
光が回転スリットを反射および透過することにより縞像
が形成されるが、第１のスリット、第２のスリット、第
３のスリットのピッチの比として上記した２通りの比を
とることにより、Ｓ／Ｎ比の高い信号が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上に述べ
た従来の技術はリニアエンコーダに関しており、第１の
スリット、第２のスリット、第３のスリットの各スリッ
トはいずれも平行であり、回折効果的システム、幾何光
学的システムを構成した場合の任意の光路上の３格子間
のスリットピッチ比は常に等しい値であった。しかし、
ロータリエンコーダでは、回転スリットディスク上の第
１のスリットは放射状格子となるため、回折格子システ
ムにおいて、光源スリットである第２のスリット、イン
デックススリットである第３のスリットを同じ形状に製
作した場合、拡散光に対して光路上の第１のスリットの
ピッチは第２のスリットのピッチ、第３のスリットのピ
ッチと対応せず（異なり）、これによってＳ／Ｎ比の高
い信号が得られないという問題点があった。
た従来の技術はリニアエンコーダに関しており、第１の
スリット、第２のスリット、第３のスリットの各スリッ
トはいずれも平行であり、回折効果的システム、幾何光
学的システムを構成した場合の任意の光路上の３格子間
のスリットピッチ比は常に等しい値であった。しかし、
ロータリエンコーダでは、回転スリットディスク上の第
１のスリットは放射状格子となるため、回折格子システ
ムにおいて、光源スリットである第２のスリット、イン
デックススリットである第３のスリットを同じ形状に製
作した場合、拡散光に対して光路上の第１のスリットの
ピッチは第２のスリットのピッチ、第３のスリットのピ
ッチと対応せず（異なり）、これによってＳ／Ｎ比の高
い信号が得られないという問題点があった。
【０００５】本発明の目的は、３格子システムの光学式
ロータリエンコーダで、Ｓ／Ｎ比を高めた高精度の光学
式ロータリエンコーダを提供することである。
ロータリエンコーダで、Ｓ／Ｎ比を高めた高精度の光学
式ロータリエンコーダを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式ロータリ
エンコーダは、拡散光と射出する光源と、相対的に回転
する２つの部材の一方の部材に固定され、回転方向に複
数の第１のスリットが形成された回転スリットディスク
と、相対的に回転する２つの部材の他方の部材に固定さ
れ、光源と回転スリットディスクとの間に間隙を介して
配置され、それぞれ光源スリット、インデックススリッ
トの役割を果たす複数の第２のスリット、複数の第３の
スリットが形成された固定スリットディスクと、光源か
ら放射された拡散光が固定スリットディスク上の第２の
スリットを透過し、回転スリットディスクを照射し、回
転スリットディスク上の第１のスリットからの反射光を
第３のスリットを介して検出する受光素子とを備え、受
光素子の出力である検出信号の周期的な変動から前記両
部材の相対的変位角度を検出する光学式ロータリエンコ
ーダにおいて、第１のスリット、第２のスリット、第３
のスリットがそれぞれ形成された面を第１のスリット
面、第２のスリット面、第３のスリット面とし、第２の
スリット面、第１のスリット面、第３のスリット面を光
源からこの順序に互いに平行に仮想的に配置したとき、
光源と第２のスリット面間の距離、第２のスリット面と
第１のスリット面間の距離、第１のスリット面と第３の
スリット面間の距離をそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ 2 とし、
光源からの光線が第１のスリット面に垂直に入射する点
と、放射状に配置された第１のスリットで形成される第
１のスリット面上の放射中心との距離をｒR 、光源から
の光線が第２のスリット面に垂直に入射する点と、放射
状に配置された第２のスリットで形成される第２のスリ
ット面上の放射中心との距離をｒ L 、光源からの光線が
第３のスリット面に垂直に入射する点と、放射状に配置
された第３のスリットで形成される第３のスリット面上
の放射中心との距離をｒIとし、光源と第１のスリット
の放射中心を結ぶ直線上に第２のスリットの放射中心と
第３のスリットの放射中心を配置し、 ｒL ＝｛Ｌ1／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ｒI ＝｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR の関係が成立し、第１のスリットの１回転当たりのスリ
ット数、第２のスリットの１回転当たりのスリット数、
第３のスリットの１回転当たりのスリット数をそれぞれ
ＮR ，Ｎ L ，ＮI とすると、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の関係が成立することを特徴とする。
エンコーダは、拡散光と射出する光源と、相対的に回転
する２つの部材の一方の部材に固定され、回転方向に複
数の第１のスリットが形成された回転スリットディスク
と、相対的に回転する２つの部材の他方の部材に固定さ
れ、光源と回転スリットディスクとの間に間隙を介して
配置され、それぞれ光源スリット、インデックススリッ
トの役割を果たす複数の第２のスリット、複数の第３の
スリットが形成された固定スリットディスクと、光源か
ら放射された拡散光が固定スリットディスク上の第２の
スリットを透過し、回転スリットディスクを照射し、回
転スリットディスク上の第１のスリットからの反射光を
第３のスリットを介して検出する受光素子とを備え、受
光素子の出力である検出信号の周期的な変動から前記両
部材の相対的変位角度を検出する光学式ロータリエンコ
ーダにおいて、第１のスリット、第２のスリット、第３
のスリットがそれぞれ形成された面を第１のスリット
面、第２のスリット面、第３のスリット面とし、第２の
スリット面、第１のスリット面、第３のスリット面を光
源からこの順序に互いに平行に仮想的に配置したとき、
光源と第２のスリット面間の距離、第２のスリット面と
第１のスリット面間の距離、第１のスリット面と第３の
スリット面間の距離をそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ 2 とし、
光源からの光線が第１のスリット面に垂直に入射する点
と、放射状に配置された第１のスリットで形成される第
１のスリット面上の放射中心との距離をｒR 、光源から
の光線が第２のスリット面に垂直に入射する点と、放射
状に配置された第２のスリットで形成される第２のスリ
ット面上の放射中心との距離をｒ L 、光源からの光線が
第３のスリット面に垂直に入射する点と、放射状に配置
された第３のスリットで形成される第３のスリット面上
の放射中心との距離をｒIとし、光源と第１のスリット
の放射中心を結ぶ直線上に第２のスリットの放射中心と
第３のスリットの放射中心を配置し、 ｒL ＝｛Ｌ1／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ｒI ＝｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR の関係が成立し、第１のスリットの１回転当たりのスリ
ット数、第２のスリットの１回転当たりのスリット数、
第３のスリットの１回転当たりのスリット数をそれぞれ
ＮR ，Ｎ L ，ＮI とすると、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の関係が成立することを特徴とする。
【０００７】本発明の他の光学式ロータリエンコーダ
は、拡散光を射出する光源と、相対的に回転する２つの
部材の一方の部材に固定され、回転方向に複数の第１の
スリットが形成された回転スリットディスクと、相対的
に回転する２つの部材の他方の部材に固定され、光源と
回転スリットディスクとの間に間隙を介して配置され、
光源スリットである複数の第２のスリットが形成された
光源スリットディスクと、他方の部材に固定され、回転
スリットディスクに対して光源スリットディスクと反対
側の位置に配置され、インデックススリットである複数
の第３のスリットが形成されたインデックススリットデ
ィスクと、光源から放射された拡散光が光源スリットデ
ィスク上の第２のスリットを透過し、回転スリットディ
スクを照射し、回転スリットディスク上の第１のスリッ
トからの透過光を第３のスリットを介して検出する受光
素子とを備え、受光素子の出力である検出信号の周期的
な変動から前記両部材の相対的変位角度を検出する光学
式ロータリエンコーダにおいて、第１のスリット、第２
のスリット、第３のスリットがそれぞれ形成された面を
第１のスリット面、第２のスリット面、第３のスリット
面とし、第２のスリット面、第１のスリット面、第３の
スリット面を光源からこの順序に平行に配置したとき、
光源と第２のスリット面間の距離、第２のスリット面と
第１のスリット面間の距離、第１のスリット面と第３の
スリット面間の距離をそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ 3 とし、
光源からの光線が第１のスリット面に垂直に入射する点
と、放射状に配置された第１のスリットで形成される第
１のスリット面上の放射中心との距離をｒR 、前記光源
からの光線が第２のスリット面に垂直に入射する点と、
放射状に配置された第２のスリットで形成される第２の
スリット面上の放射中心との距離をｒL 、光源からの光
線が第３のスリット面に垂直に入射する点と、放射状に
配置された第３のスリットで形成される第３のスリット
面上の放射中心との距離をｒI とし、光源と第１のスリ
ットの放射中心を結ぶ直線上に第２のスリットの放射中
心と第３のスリットの放射中心を配置したとき、第２の
スリット面と第１のスリット面間の距離Ｌ2と第１のス
リット面と第３のスリット面間の距離Ｌ3が等しくなる
ように第２のスリット面、第１のスリット面、第３のス
リット面を配置し、 ｒL ＝｛Ｌ1／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ｒI ＝｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR の関係が成立し、第１のスリットの１回転当たりのスリ
ット数、第２のスリットの１回転当たりのスリット数、
第３のスリットの１回転当たりのスリット数をそれぞれ
ＮR，ＮL，ＮI とすると、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の関係が成立することを特徴とする。
は、拡散光を射出する光源と、相対的に回転する２つの
部材の一方の部材に固定され、回転方向に複数の第１の
スリットが形成された回転スリットディスクと、相対的
に回転する２つの部材の他方の部材に固定され、光源と
回転スリットディスクとの間に間隙を介して配置され、
光源スリットである複数の第２のスリットが形成された
光源スリットディスクと、他方の部材に固定され、回転
スリットディスクに対して光源スリットディスクと反対
側の位置に配置され、インデックススリットである複数
の第３のスリットが形成されたインデックススリットデ
ィスクと、光源から放射された拡散光が光源スリットデ
ィスク上の第２のスリットを透過し、回転スリットディ
スクを照射し、回転スリットディスク上の第１のスリッ
トからの透過光を第３のスリットを介して検出する受光
素子とを備え、受光素子の出力である検出信号の周期的
な変動から前記両部材の相対的変位角度を検出する光学
式ロータリエンコーダにおいて、第１のスリット、第２
のスリット、第３のスリットがそれぞれ形成された面を
第１のスリット面、第２のスリット面、第３のスリット
面とし、第２のスリット面、第１のスリット面、第３の
スリット面を光源からこの順序に平行に配置したとき、
光源と第２のスリット面間の距離、第２のスリット面と
第１のスリット面間の距離、第１のスリット面と第３の
スリット面間の距離をそれぞれＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ 3 とし、
光源からの光線が第１のスリット面に垂直に入射する点
と、放射状に配置された第１のスリットで形成される第
１のスリット面上の放射中心との距離をｒR 、前記光源
からの光線が第２のスリット面に垂直に入射する点と、
放射状に配置された第２のスリットで形成される第２の
スリット面上の放射中心との距離をｒL 、光源からの光
線が第３のスリット面に垂直に入射する点と、放射状に
配置された第３のスリットで形成される第３のスリット
面上の放射中心との距離をｒI とし、光源と第１のスリ
ットの放射中心を結ぶ直線上に第２のスリットの放射中
心と第３のスリットの放射中心を配置したとき、第２の
スリット面と第１のスリット面間の距離Ｌ2と第１のス
リット面と第３のスリット面間の距離Ｌ3が等しくなる
ように第２のスリット面、第１のスリット面、第３のス
リット面を配置し、 ｒL ＝｛Ｌ1／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ｒI ＝｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR の関係が成立し、第１のスリットの１回転当たりのスリ
ット数、第２のスリットの１回転当たりのスリット数、
第３のスリットの１回転当たりのスリット数をそれぞれ
ＮR，ＮL，ＮI とすると、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の関係が成立することを特徴とする。
【０００８】また、本発明の光学式ロータリエンコーダ
は、前記光学式ロータリエンコーダにおいて、ＮL ＝
（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の代り
に、Ｎ L ＝（ｒL ／２ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／２ｒ
R ）ＮR の関係が成立する。
は、前記光学式ロータリエンコーダにおいて、ＮL ＝
（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の代り
に、Ｎ L ＝（ｒL ／２ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／２ｒ
R ）ＮR の関係が成立する。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１０】図１は本発明の第１の実施例の光反射式ロ
ータリエンコーダの斜視図である。
ータリエンコーダの斜視図である。
【００１１】回転スリットディスク１は回転体６のシャ
フト５に取り付けられ、シャフト５と共に回転するよう
になっている。この回転スリットディスク１と対向した
位置に点光源とみなせる拡散光源３と受光素子４Ａ，４
Ｂが固定され、回転スリットディスク１と拡散光源３、
受光素子４Ａ，４Ｂとの間に固定スリットディスク２が
固定されている。回転スリットディスク１上には回転ス
リットである複数の第１のスリット１１がクロム蒸着等
により放射状に形成されている。また、固定スリットデ
ィスク２上には光源スリットである複数の第２のスリッ
ト２１とインデックススリットである複数の第３のスリ
ット２２Ａ，２２Ｂが第１のスリット１１と同様にクロ
ム蒸着等により放射状に形成されている。
フト５に取り付けられ、シャフト５と共に回転するよう
になっている。この回転スリットディスク１と対向した
位置に点光源とみなせる拡散光源３と受光素子４Ａ，４
Ｂが固定され、回転スリットディスク１と拡散光源３、
受光素子４Ａ，４Ｂとの間に固定スリットディスク２が
固定されている。回転スリットディスク１上には回転ス
リットである複数の第１のスリット１１がクロム蒸着等
により放射状に形成されている。また、固定スリットデ
ィスク２上には光源スリットである複数の第２のスリッ
ト２１とインデックススリットである複数の第３のスリ
ット２２Ａ，２２Ｂが第１のスリット１１と同様にクロ
ム蒸着等により放射状に形成されている。
【００１２】次に、本実施例の動作について説明する。
【００１３】拡散光源３から出射された光線７は固定ス
リットディスク２上の第２のスリット２１を透過する。
この第２のスリット２１は線光源列を形成する働きをす
る。この第２スリット２１を透過した光線７は回転スリ
ットディスク１上の第１のスリット１１に当たり、反射
して固定スリットディスク２上の第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂを透過する。ここで、第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂはインデックススリットの動作を行い、第３
のスリット２２Ａ，２２Ｂは検出信号の位相差が９０°
になるように形成されている。この第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂを透過した光線７はそれぞれ受光素子４Ａ，
４Ｂに入射し、入射した光線７の光量変化が電気信号に
変換される。
リットディスク２上の第２のスリット２１を透過する。
この第２のスリット２１は線光源列を形成する働きをす
る。この第２スリット２１を透過した光線７は回転スリ
ットディスク１上の第１のスリット１１に当たり、反射
して固定スリットディスク２上の第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂを透過する。ここで、第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂはインデックススリットの動作を行い、第３
のスリット２２Ａ，２２Ｂは検出信号の位相差が９０°
になるように形成されている。この第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂを透過した光線７はそれぞれ受光素子４Ａ，
４Ｂに入射し、入射した光線７の光量変化が電気信号に
変換される。
【００１４】次に、第１の実施例の具体的な内容を図２
を用いて説明する。
を用いて説明する。
【００１５】図２は本実施例における第１のスリット１
１、第２のスリット２１、第３のスリット２２Ａ，２２
Ｂ、光源３の位置関係を示す図である。図１の光学式ロ
ータリエンコーダは、実際は図１に示したように、回転
スリットディスク１に当たった光線７１が反射して固定
スリットディスク２上の第３のスリット２２Ａ、２２Ｂ
を透過する反射型光学系であるが、図２では説明しやす
いように透過型光学系で示している。ここで、第１のス
リット１１、第２のスリット２１、第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂがそれぞれ形成される面を第１のスリット面
８R、第２のスリット面８L、第３のスリット面８Iとす
る。第２のスリット面８Lを光源３から距離Ｌ1 の位置
に配置し、光源３からの光線７１が第２のスリット面８
Lと垂直に交わる点と第２のスリット面の中心点２０Ｌ
との距離ｒLを半径とし、中心点２０Lを中心として放射
状に第２のスリット２１を形成する。次に、第１のスリ
ット面８Rを第２のスリット面８Lから距離Ｌ2 の位置に
第２のスリット面８Lと平行に配置し、光源３からの光
線７１が第１のスリット面８Rと垂直に交わる点と第１
のスリット面８Rの中心点１０との距離ｒR を半径と
し、中心点１０を中心として放射状に第１のスリット１
１を形成する。また、第３のスリット２２Ａ，２２Ｂは
第２のスリット２１と同じ平面上にあり第１のスリット
面８Rから距離Ｌ2 の位置に配置される。光源３からの
光線が第３のスリット面８Iと垂直に交わる点と第３の
スリット面８Iの中心点２０Ｉとの距離ｒI を半径と
し、中心点２０Ｉを中心として放射状に第３のスリット
２２Ａ，２２Ｂを形成する。
１、第２のスリット２１、第３のスリット２２Ａ，２２
Ｂ、光源３の位置関係を示す図である。図１の光学式ロ
ータリエンコーダは、実際は図１に示したように、回転
スリットディスク１に当たった光線７１が反射して固定
スリットディスク２上の第３のスリット２２Ａ、２２Ｂ
を透過する反射型光学系であるが、図２では説明しやす
いように透過型光学系で示している。ここで、第１のス
リット１１、第２のスリット２１、第３のスリット２２
Ａ，２２Ｂがそれぞれ形成される面を第１のスリット面
８R、第２のスリット面８L、第３のスリット面８Iとす
る。第２のスリット面８Lを光源３から距離Ｌ1 の位置
に配置し、光源３からの光線７１が第２のスリット面８
Lと垂直に交わる点と第２のスリット面の中心点２０Ｌ
との距離ｒLを半径とし、中心点２０Lを中心として放射
状に第２のスリット２１を形成する。次に、第１のスリ
ット面８Rを第２のスリット面８Lから距離Ｌ2 の位置に
第２のスリット面８Lと平行に配置し、光源３からの光
線７１が第１のスリット面８Rと垂直に交わる点と第１
のスリット面８Rの中心点１０との距離ｒR を半径と
し、中心点１０を中心として放射状に第１のスリット１
１を形成する。また、第３のスリット２２Ａ，２２Ｂは
第２のスリット２１と同じ平面上にあり第１のスリット
面８Rから距離Ｌ2 の位置に配置される。光源３からの
光線が第３のスリット面８Iと垂直に交わる点と第３の
スリット面８Iの中心点２０Ｉとの距離ｒI を半径と
し、中心点２０Ｉを中心として放射状に第３のスリット
２２Ａ，２２Ｂを形成する。
【００１６】ここで、光源３と第１のスリット面８Rの
中心点１０を通る直線上に第２のスリット面の中心点２
０Lと第３のスリット面８Iの中心点２０Iを配置し、第
２のスリット２１が形成された円の半径ｒL 、第３のス
リット２２Ａ，２２Ｂが形成された円の半径ｒI は距離
Ｌ1 ，Ｌ2 と第１のスリット１１が形成された円の半径
ｒR を用いて、 ｒL ＝｛Ｌ1 ／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ，ｒI ＝｛（Ｌ1
＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR で表される。
中心点１０を通る直線上に第２のスリット面の中心点２
０Lと第３のスリット面８Iの中心点２０Iを配置し、第
２のスリット２１が形成された円の半径ｒL 、第３のス
リット２２Ａ，２２Ｂが形成された円の半径ｒI は距離
Ｌ1 ，Ｌ2 と第１のスリット１１が形成された円の半径
ｒR を用いて、 ｒL ＝｛Ｌ1 ／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ，ｒI ＝｛（Ｌ1
＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR で表される。
【００１７】また、第２のスリット２１、第３のスリッ
ト２２Ａ，２２Ｂのそれぞれの１回転当たりのスリット
数ＮL ，ＮI は第１のスリット１１の１回転当たりのス
リット数ＮR と半径ｒR ，ｒL ，ｒI を用いて、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR で表される。
ト２２Ａ，２２Ｂのそれぞれの１回転当たりのスリット
数ＮL ，ＮI は第１のスリット１１の１回転当たりのス
リット数ＮR と半径ｒR ，ｒL ，ｒI を用いて、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR で表される。
【００１８】したがって、光源３からの任意の光線の光
路上において、第１のスリット１１と第２のスリット２
１と第３のスリット２２Ａ、２２Ｂのスリットピッチは
等しくなる。すなわち、どの光路上でもスリットピッチ
比が第１のスリットピッチ：第２のスリットピッチ：第
３のスリットピッチ＝１：１：１となる回折効果的シス
テムの光学系による像（第１のスリット１１と第２のス
リット２１から得られる像）が形成され、第３のスリッ
ト２２Ａ，２２Ｂを透過した光の強度は、第１のスリッ
ト１１の移動に対応する光強度となり、第１スリット１
１の１ピッチ分の角度変位に対して２周期の検出信号が
得られる。また、このようなスリットピッチの関係にす
ると、第１のスリット１１と第２、第３のスリット２
１、２２Ａ，２２Ｂの間隔を大きくとっても縞像が明確
に表れ、Ｓ／Ｎ比の高い出力信号が得られる。
路上において、第１のスリット１１と第２のスリット２
１と第３のスリット２２Ａ、２２Ｂのスリットピッチは
等しくなる。すなわち、どの光路上でもスリットピッチ
比が第１のスリットピッチ：第２のスリットピッチ：第
３のスリットピッチ＝１：１：１となる回折効果的シス
テムの光学系による像（第１のスリット１１と第２のス
リット２１から得られる像）が形成され、第３のスリッ
ト２２Ａ，２２Ｂを透過した光の強度は、第１のスリッ
ト１１の移動に対応する光強度となり、第１スリット１
１の１ピッチ分の角度変位に対して２周期の検出信号が
得られる。また、このようなスリットピッチの関係にす
ると、第１のスリット１１と第２、第３のスリット２
１、２２Ａ，２２Ｂの間隔を大きくとっても縞像が明確
に表れ、Ｓ／Ｎ比の高い出力信号が得られる。
【００１９】図３は本発明の第２の実施例の光透過式ロ
ータリエンコーダの斜視図である。
ータリエンコーダの斜視図である。
【００２０】回転スリットディスク１は回転体６のシャ
フト５に取り付けられ、シャフト５と共に回転するよう
になっている。この回転スリットディスク１と対向した
位置に拡散光源３が固定され、拡散光源３と回転スリッ
トディスク１の間に光源スリットディスク２３が固定さ
れている。また、回転スリットディスク１に対して光源
スリットディスク２３と反対側の位置にインデックスス
リットディスク２４が固定されている。さらに、このイ
ンデッックススリットディスク２４に対して回転スリッ
トディスク１とは反対側の位置に受光素子４Ａ，４Ｂが
固定されている。回転スリットディスク１上には回転ス
リットである複数の第１のスリット１１がクロム蒸着等
により回転方向に放射状に形成されている。また、光源
スリットディスク２３上には光源スリットである複数の
第２のスリット２１が、またインデックススリットディ
スク２４上にインデックススリットである複数の第３の
スリット２２Ａ，２２Ｂが第１のスリットと同様にクロ
ム蒸着等により放射状に形成されている。この実施例の
動作は第１の実施例と同じであるので説明は省略する。
フト５に取り付けられ、シャフト５と共に回転するよう
になっている。この回転スリットディスク１と対向した
位置に拡散光源３が固定され、拡散光源３と回転スリッ
トディスク１の間に光源スリットディスク２３が固定さ
れている。また、回転スリットディスク１に対して光源
スリットディスク２３と反対側の位置にインデックスス
リットディスク２４が固定されている。さらに、このイ
ンデッックススリットディスク２４に対して回転スリッ
トディスク１とは反対側の位置に受光素子４Ａ，４Ｂが
固定されている。回転スリットディスク１上には回転ス
リットである複数の第１のスリット１１がクロム蒸着等
により回転方向に放射状に形成されている。また、光源
スリットディスク２３上には光源スリットである複数の
第２のスリット２１が、またインデックススリットディ
スク２４上にインデックススリットである複数の第３の
スリット２２Ａ，２２Ｂが第１のスリットと同様にクロ
ム蒸着等により放射状に形成されている。この実施例の
動作は第１の実施例と同じであるので説明は省略する。
【００２１】次に、第２の実施例の具体的な内容につい
て図３を用いて説明する。
て図３を用いて説明する。
【００２２】まず、第１の実施例と同様に、第２のスリ
ット面８L、第１のスリット面８R、第３のスリット面８
Iを光源３からこの順序に互いに平行に配置する。第１
の実施例では、第３のスリット２２Ａ，２２Ｂが第２の
スリット２１と同じ平面上に配置されているため、第３
のスリット面８Iを第１のスリット面８Rから距離Ｌ2の
位置に配置し、この第３のスリット面８Iの中心点２０
Ｉから半径ｒI の円周上に第３のスリット２２Ａ，２２
Ｂを形成したが、第２の実施例では、第３のスリット面
８Iを第１のスリット面８Lから距離Ｌ3 の位置に配置
し、この第３のスリット面８Iの中心点２０Ｌから半径
ｒI の円周上に第３のスリット２２Ａ，２２Ｂを形成す
る。ここで、Ｌ2＝Ｌ3となるように回転スリットディス
ク１と光源スリットディスク２３とインデックススリッ
トディスク２４を配置する。このとき半径ｒI は半径ｒ
R と距離Ｌ1 ，Ｌ2 を用いて ｒI=｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR で表される。これ以外の構成は第２の実施例と同じであ
るので説明を省略する。
ット面８L、第１のスリット面８R、第３のスリット面８
Iを光源３からこの順序に互いに平行に配置する。第１
の実施例では、第３のスリット２２Ａ，２２Ｂが第２の
スリット２１と同じ平面上に配置されているため、第３
のスリット面８Iを第１のスリット面８Rから距離Ｌ2の
位置に配置し、この第３のスリット面８Iの中心点２０
Ｉから半径ｒI の円周上に第３のスリット２２Ａ，２２
Ｂを形成したが、第２の実施例では、第３のスリット面
８Iを第１のスリット面８Lから距離Ｌ3 の位置に配置
し、この第３のスリット面８Iの中心点２０Ｌから半径
ｒI の円周上に第３のスリット２２Ａ，２２Ｂを形成す
る。ここで、Ｌ2＝Ｌ3となるように回転スリットディス
ク１と光源スリットディスク２３とインデックススリッ
トディスク２４を配置する。このとき半径ｒI は半径ｒ
R と距離Ｌ1 ，Ｌ2 を用いて ｒI=｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR で表される。これ以外の構成は第２の実施例と同じであ
るので説明を省略する。
【００２３】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。これは、第１および第２の実施例において、第２
のスリット２１の１回転当たりのスリット数ＮL と第３
のスリット２２Ａ，２２Ｂの１回転当たりのスリット数
Ｎ1 を、半径ｒR ，ｒI ，ｒ L と第１のスリット１１の
スリット数ＮRを用いて ＮL ＝（ｒL ／２ｒR ）ＮR，ＮI ＝（ｒI ／２ｒR ）
ＮR となるようにしたことを特徴とするものである。これ以
外は第１の実施例、第２の実施例と同じであるので説明
は省略する。このようにすることにより、第１のスリッ
ト１１のピッチの２倍のスリットピッチの像が第３のス
リット面８I上に形成され、この像は第１のスリット１
１の１ピッチ分の移動に対して１ピッチ分移動する幾何
光学的システムの光学系が形成される。
する。これは、第１および第２の実施例において、第２
のスリット２１の１回転当たりのスリット数ＮL と第３
のスリット２２Ａ，２２Ｂの１回転当たりのスリット数
Ｎ1 を、半径ｒR ，ｒI ，ｒ L と第１のスリット１１の
スリット数ＮRを用いて ＮL ＝（ｒL ／２ｒR ）ＮR，ＮI ＝（ｒI ／２ｒR ）
ＮR となるようにしたことを特徴とするものである。これ以
外は第１の実施例、第２の実施例と同じであるので説明
は省略する。このようにすることにより、第１のスリッ
ト１１のピッチの２倍のスリットピッチの像が第３のス
リット面８I上に形成され、この像は第１のスリット１
１の１ピッチ分の移動に対して１ピッチ分移動する幾何
光学的システムの光学系が形成される。
【００２４】回転スリットである第１のスリット、光源
スリットである第２のスリット、インデックススリット
である第３のスリットを透過する光源から出射された光
の直線光路上において、リニアエンコーダの場合と同様
に、スリットのピッチが等しくあるいは第２、第３のス
リットのピッチが第１のスリットのピッチの２倍となる
ため、高Ｓ／Ｎ比の信号を得ることができる。なお、固
定スリットディスク２、インデックススリットディスク
２４は円板に限らず、他の形状でもよい。
スリットである第２のスリット、インデックススリット
である第３のスリットを透過する光源から出射された光
の直線光路上において、リニアエンコーダの場合と同様
に、スリットのピッチが等しくあるいは第２、第３のス
リットのピッチが第１のスリットのピッチの２倍となる
ため、高Ｓ／Ｎ比の信号を得ることができる。なお、固
定スリットディスク２、インデックススリットディスク
２４は円板に限らず、他の形状でもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、回転ス
リットである第１のスリット、光源スリットである第２
のスリット、インデックススリットである第３のスリッ
トを透過する光源から出射された光線の直線光路上にお
いて、スリットピッチが等しくあるいは第２、第３のス
リットのピッチが第１のスリットのピッチの２倍となる
ように構成することにより、Ｓ／Ｎ比を高めた高精度の
光学式ロータリエンコーダを実現できる。また回転スリ
ットディスクと固定スリットディスク間のギャップを広
くとっても高いＳ／Ｎ比の信号を検出でき、これによっ
て回転スリットディスクと固定スリットディスク間の位
置決めが容易になり、コスト低減が可能となる効果があ
る。
リットである第１のスリット、光源スリットである第２
のスリット、インデックススリットである第３のスリッ
トを透過する光源から出射された光線の直線光路上にお
いて、スリットピッチが等しくあるいは第２、第３のス
リットのピッチが第１のスリットのピッチの２倍となる
ように構成することにより、Ｓ／Ｎ比を高めた高精度の
光学式ロータリエンコーダを実現できる。また回転スリ
ットディスクと固定スリットディスク間のギャップを広
くとっても高いＳ／Ｎ比の信号を検出でき、これによっ
て回転スリットディスクと固定スリットディスク間の位
置決めが容易になり、コスト低減が可能となる効果があ
る。
【図１】本発明の第１の実施例の光反射式ロータリエン
コーダの斜視図である。
コーダの斜視図である。
【図２】第１の実施例における、第１のスリット１１と
第２のスリット２１と第３のスリット２２Ａ，２２Ｂと
光源３の配置を示す図である。
第２のスリット２１と第３のスリット２２Ａ，２２Ｂと
光源３の配置を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例の光透過式ロータリエン
コーダの斜視図である。
コーダの斜視図である。
【図４】第２の実施例における、第１のスリット１１と
第２のスリット２１と第３のスリット２２Ａ，２２Ｂと
光源３の配置を示す図である。
第２のスリット２１と第３のスリット２２Ａ，２２Ｂと
光源３の配置を示す図である。
【図５】３格子システムの従来例の平面図である。
【図６】反射型光学系の従来例を示す平面図である。
１ 回転スリットディスク
１１ 第１のスリット
１０ 第１のスリット１１の中心点
２ 固定スリットディスク
２１ 第２のスリット（光源スリット）
２２Ａ，２２Ｂ 第３のスリット（インデックススリ
ット） ２０Ｌ 第２のスリット２１の中心点 ２０Ｉ 第３のスリット２２Ａ，２２Ｂの中心点 ２３ 光源スリットディスク ２４ インデックススリットディスク ３ 拡散光源 ４Ａ，４Ｂ 受光素子 ５ シャフト ６ 回転体 ７，７１ 光線 ８R 第１のスリット面 ８L 第２のスリット面 ８I 第３のスリット面 Ｌ1 光源３と第２のスリット１１間の距離 Ｌ2 反射型での第１のスリット１１と第２（３）の
スリット２１（２２Ａ，２２Ｂ）の間の距離 Ｌ3 透過型での第１のスリット１１と第３のスリッ
ト２２Ａ，２２Ｂ間の距離 ＮR 第１のスリット１１の１回転当たりのスリット
数 ＮL 第２のスリット２１の１回転当たりのスリット
数 ＮI 第３のスリット２２Ａ，２２Ｂの１回転当たり
のスリット数
ット） ２０Ｌ 第２のスリット２１の中心点 ２０Ｉ 第３のスリット２２Ａ，２２Ｂの中心点 ２３ 光源スリットディスク ２４ インデックススリットディスク ３ 拡散光源 ４Ａ，４Ｂ 受光素子 ５ シャフト ６ 回転体 ７，７１ 光線 ８R 第１のスリット面 ８L 第２のスリット面 ８I 第３のスリット面 Ｌ1 光源３と第２のスリット１１間の距離 Ｌ2 反射型での第１のスリット１１と第２（３）の
スリット２１（２２Ａ，２２Ｂ）の間の距離 Ｌ3 透過型での第１のスリット１１と第３のスリッ
ト２２Ａ，２２Ｂ間の距離 ＮR 第１のスリット１１の１回転当たりのスリット
数 ＮL 第２のスリット２１の１回転当たりのスリット
数 ＮI 第３のスリット２２Ａ，２２Ｂの１回転当たり
のスリット数
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 中嶋 耕二
福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１
号 株式会社安川電機内
(56)参考文献 特開 平３−107715（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−72922（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01D 5/26 - 5/38
Claims (3)
- 【請求項１】 拡散光を射出する光源と、相対的に回転
する２つの部材の一方の部材に固定され、回転方向に複
数の第１のスリットが形成された回転スリットディスク
と、相対的に回転する前記２つの部材の他方の部材に固
定され、前記光源と前記回転スリットディスクとの間に
間隙を介して配置され、それぞれ光源スリット、インデ
ックススリットの役割を果たす複数の第２のスリット、
複数の第３のスリットが形成された固定スリットディス
クと、前記光源から放射された拡散光が前記固定スリッ
トディスク上の第２のスリットを透過し、前記回転スリ
ットディスクを照射し、前記回転スリットディスク上の
第１のスリットからの反射光を前記第３のスリットを介
して検出する受光素子とを備え、前記受光素子の出力で
ある検出信号の周期的な変動から前記両部材の相対的角
度変位を検出する光学式ロータリエンコーダにおいて、 前記第１のスリット、前記第２のスリット、前記第３の
スリットがそれぞれ形成された面を第１のスリット面、
第２のスリット面、第３のスリット面とし、第２のスリ
ット面、第１のスリット面、第３のスリット面を前記光
源からこの順序に互いに平行に仮想的に配置したとき、 前記光源と第２のスリット面間の距離、第２のスリット
面と第１のスリット面間の距離、第１のスリット面と第
３のスリット面間の距離をそれぞれＬ1 ，Ｌ2，Ｌ2 と
し、前記光源からの光線が第１のスリット面に垂直に入
射する点と、放射状に配置された第１のスリットで形成
される第１のスリット面上の放射中心との距離をｒR 、
前記光源からの光線が第２のスリット面に垂直に入射す
る点と、放射状に配置された第２のスリットで形成され
る第２のスリット面上の放射中心との距離をｒL 、前記
光源からの光線が第３のスリット面に垂直に入射する点
と、放射状に配置された第３のスリットで形成される第
３のスリット面上の放射中心との距離をｒI とし、前記
光源と第１のスリットの放射中心を結ぶ直線上に第２の
スリットの放射中心と第３のスリットの放射中心を配置
したとき、 ｒL ＝｛Ｌ1／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ｒI ＝｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR の関係が成立し、 第１のスリットの１回転当たりのスリット数、第２のス
リットの１回転当たりのスリット数、第３のスリットの
１回転当たりのスリット数をそれぞれＮR ，Ｎ L ，ＮI
とすると、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の関係が成立することを特徴とする光学式ロータリエン
コーダ。 - 【請求項２】 拡散光を射出する光源と、相対的に回転
する２つの部材の一方の部材に固定され、回転方向に複
数の第１のスリットが形成された回転スリットディスク
と、相対的に回転する前記２つの部材の他方の部材に固
定され、前記光源と前記回転スリットディスクとの間に
間隙を介して配置され、光源スリットである複数の第２
のスリットが形成された光源スリットディスクと、前記
他方の部材に固定され、前記回転スリットディスクに対
して前記光源スリットディスクと反対側の位置に配置さ
れ、インデックススリットである複数の第３のスリット
が形成されたインデックススリットディスクと、前記光
源から放射された拡散光が前記光源スリットディスク上
の第２のスリットを透過し、前記回転スリットディスク
に照射し、前記回転スリットディスク上の第１のスリッ
トからの透過光を前記第３のスリットを介して検出する
受光素子とを備え、前記受光素子の出力である検出信号
の周期的な変動から前記両部材の相対的角度変位を検出
する光学式ロータリエンコーダにおいて、 前記第１のスリット、前記第２のスリット、前記第３の
スリットがそれぞれ形成された面を第１のスリット面、
第２のスリット面、第３のスリット面とし、第２のスリ
ット面、第１のスリット面、第３のスリット面を前記光
源からこの順序に平行に配置したとき、 前記光源と第２のスリット面間の距離、第２のスリット
面と第１のスリット面間の距離、第１のスリット面と第
３のスリット面間の距離をそれぞれＬ1 ，Ｌ2，Ｌ3 と
し、前記光源からの光線が第１のスリット面に垂直に入
射する点と、放射状に配置された第１のスリットで形成
される第１のスリット面上の放射中心との距離をｒR 、
前記光源からの光線が第２のスリット面に垂直に入射す
る点と、放射状に配置された第２のスリットで形成され
る第２のスリット面上の放射中心との距離をｒL 、前記
光源からの光線が第３のスリット面に垂直に入射する点
と、放射状に配置された第３のスリットで形成される第
３のスリット面上の放射中心との距離をｒI とし、前記
光源と第１のスリットの放射中心を結ぶ直線上に第２の
スリットの放射中心と第３のスリットの放射中心を配置
したとき、第２のスリット面と第１のスリット面間の距
離Ｌ2と第１のスリット面と第３のスリット面間の距離
Ｌ3が等しくなるように第２のスリット面、第１のスリ
ット面、第３のスリット面を配置し、 ｒL ＝｛Ｌ1 ／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR ｒI ＝｛（Ｌ1 ＋２Ｌ2 ）／（Ｌ1 ＋Ｌ2 ）｝ｒR の関係が成立し、 第１のスリットの１回転当たりのスリット数、第２のス
リットの１回転当たりのスリット数、第３のスリットの
１回転当たりのスリット数をそれぞれＮR ，Ｎ L ，ＮI
とすると、 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒI ／ｒR ）ＮR の関係が成立することを特徴とする光学式ロータリエン
コーダ。 - 【請求項３】 ＮL ＝（ｒL ／ｒR ）ＮR ，ＮI ＝（ｒ
I ／ｒR ）ＮR の代りに、ＮL ＝（ｒL ／２ｒR ）Ｎ
R ，ＮI ＝（ｒI ／２ｒR ）ＮR の関係が成立する、請
求項１または２記載の光学式ロータリエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28975695A JP3509830B2 (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 光学式ロータリエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28975695A JP3509830B2 (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 光学式ロータリエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09133552A JPH09133552A (ja) | 1997-05-20 |
| JP3509830B2 true JP3509830B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=17747356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28975695A Expired - Lifetime JP3509830B2 (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 光学式ロータリエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3509830B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2302333A2 (en) | 2009-09-18 | 2011-03-30 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Rotary encoder, rotary motor, rotary motor system, disk, and method of manufacturing rotary encoder |
| WO2011152076A1 (ja) | 2010-05-31 | 2011-12-08 | 株式会社安川電機 | ロータリエンコーダ、ロータリモータ及びロータリモータシステム |
| WO2012029927A1 (ja) | 2010-09-02 | 2012-03-08 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、及びモータユニット |
| US8445835B2 (en) | 2010-06-07 | 2013-05-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Encoder, servo unit and encoder manufacturing method |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003279383A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-02 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式エンコーダ |
| JP2007064818A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Yaskawa Electric Corp | 光学式エンコーダ |
| WO2007108398A1 (ja) | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 光学式エンコーダ |
| DE102009040790B4 (de) * | 2009-09-09 | 2012-10-25 | Universität Stuttgart | Verfahren zur optischen Kompensation der Maßspurdezentrierung bei Drehwinkelsensoren |
| DE102010029920B4 (de) | 2010-06-10 | 2023-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
| DE102011082570A1 (de) | 2011-09-13 | 2013-03-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Rotatorische Positionsmesseinrichtung |
-
1995
- 1995-11-08 JP JP28975695A patent/JP3509830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2302333A2 (en) | 2009-09-18 | 2011-03-30 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Rotary encoder, rotary motor, rotary motor system, disk, and method of manufacturing rotary encoder |
| US8546744B2 (en) | 2009-09-18 | 2013-10-01 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Rotary encoder, rotary motor, rotary motor system, disk, and method of manufacturing rotary encoder |
| WO2011152076A1 (ja) | 2010-05-31 | 2011-12-08 | 株式会社安川電機 | ロータリエンコーダ、ロータリモータ及びロータリモータシステム |
| US8461790B2 (en) | 2010-05-31 | 2013-06-11 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Rotary encoder, rotary motor, and rotary motor system |
| US8445835B2 (en) | 2010-06-07 | 2013-05-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Encoder, servo unit and encoder manufacturing method |
| WO2012029927A1 (ja) | 2010-09-02 | 2012-03-08 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、及びモータユニット |
| US9121732B2 (en) | 2010-09-02 | 2015-09-01 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Encoder, servomotor, and motor unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09133552A (ja) | 1997-05-20 |
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|---|---|---|
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