JP2011047679A - 静電エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この静電エンコーダ10は、4相の電位検出電極11cを有する固定子11と、第1電極と第2電極を有する移動子12と、移動子の第1電極と第2電極の各々に反対極性の電荷を誘起させる誘導電極11a,11bと、4相の電位検出電極から出力される交流信号の差に基づきベクトル信号を生成する差動増幅器22,23と、ベクトル信号に基づき、固定子に対する移動子の絶対的位置に係る信号を生成するレゾルバ/デジタル変換器21とから構成される。
【選択図】図3
Description
特許文献2の静電容量式変位測定装置は、同様にインクリメンタリ型のであるので、本願発明との関係では上記の同様な問題を有しているが、センサ部から出力される測定信号を処理する回路の構成については、マイクロメータやデジタルノギスに搭載できるように小型化されかつ低コストが図られている。
特許文献3の変位測定装置は、固定要素に対する可動要素の絶対変位量を測定するアブソリュート式の変位測定装置である。しかし、小型化に適した構造にはなっていない。
非特許文献1のデジタルノギスは、上記と同様にインクリメンタリ型の信号処理構成であるという問題を有し、またスライド部が信号線が接続されて複雑構成になっており、小型化に向いておらず、さらに信号処理回路の構成も簡素な構造になっていないという問題を有する。
上記の電荷誘起手段は、固定子で4相の電位検出電極が並べられた方向に設けられた第1誘導電極および第2誘導電極と、第1誘導電極および第2誘導電極の間に交流信号を供給する送信手段とから構成される。
上記の差動交流信号出力手段は、固定子で4相の送信電極が並べられた方向に設けられた第1誘導電極および第2誘導電極と、第1誘導電極および第2誘導電極の間の差動交流信号を出力する差動増幅器とから構成される。
上記の信号処理手段は、基準信号と受信信号との間の位相のずれを計数するカウンタと、カウンタから出力される計数値に基づき移動子の前記絶対的位置に係る信号を生成する信号生成手段とから構成される。
第1に、この静電エンコーダは極めて小型の形態を有し、かつアブソリュート式のリニア型静電エンコーダを実現することができる。従って当該静電エンコーダは携帯電話やデジタルカメラ等の小型の電気機器内に、その可動部分の位置計測装置として組み込むことができ、かつ当該可動部分の移動距離を絶対的位置として求めることができる。
第2に、移動子の絶対的位置を受信信号の位相のずれを検出することにより計測することができ、さらに位相検出をカウンタを利用し簡単な信号処理の構成に基づいて実現することができる。
第3に、カウンタの出力値をデジタルフィルタを用いて加算平均処理を行うことにより雑音の影響を少なくすることができ、計測値の信頼性を高めることができる。
差動増幅器22の端子Aは、固定子11の4相の電位検出電極11cにおける2つの電極列11c−1,11c−2のマーク「+s」が付された電極セグメント16が接続されている。
差動増幅器22の端子Cは、固定子11の4相の電位検出電極11cにおける2つの電極列11c−1,11c−2のマーク「−s」が付された電極セグメント16が接続されている。
差動増幅器23の端子Bは、固定子11の4相の電位検出電極11cにおける2つの電極列11c−1,11c−2のマーク「+c」が付された電極セグメント16が接続されている。
差動増幅器23の端子Dは、固定子11の4相の電位検出電極11cにおける2つの電極列11c−1,11c−2のマーク「−c」が付された電極セグメント16が接続されている。
符号42は、受信信号を伝送する4本の信号線から成るケーブルである。
Eac=kE sin((π/p)・x) sinωt
Ebd=kE cos((π/p)・x) cosωt
<Ebd>=k’E cos((π/p)・x)
送信信号SINは図10の(A)に示されている。この送信信号SINは演算増幅器65に入力され、当該演算増幅器65からは当該送信信号SIN(+s)と反転させた(位相を180°シフトさせた)送信信号−SIN(−s)とを出力する。送信信号−SINは図10の(C)に示されている。演算増幅器65からの送信信号SINは端子Aに供給され、送信信号−SINは端子Cに供給される。端子Aは4相の送信電極51cの図中マーク「+s」が付された電極セグメント53に接続されている。端子Cは4相の送信電極51cの図中マーク「−s」が付された電極セグメント53に接続されている。
送信信号COSは図10の(B)に示されている。この送信信号COSは演算増幅器66に入力され、当該演算増幅器66からは当該送信信号COS(+c)と反転させた(位相を180°シフトさせた)送信信号−COS(−c)とを出力する。送信信号−COSは図10の(D)に示されている。演算増幅器66からの送信信号COSは端子Bに供給され、送信信号−COSは端子Dに供給される。端子Bは4相の送信電極51cの図中マーク「+c」が付された電極セグメント53に接続されている。端子Dは4相の送信電極51cの図中マーク「−c」が付された電極セグメント53に接続されている。
また移動子の絶対的位置を受信信号の位相のずれを検出することにより計測することができ、さらに位相検出をカウンタを利用し簡単な信号処理の構成に基づいて実現することができる。
カウンタの出力値をデジタルフィルタを用いて加算平均処理を行うことにより雑音の影響を少なくすることができる。
11 固定子
11a,11b 誘導電極
11c 電位検出電極
12 移動子
12a,12b 電極
13 摺動材
14 フィルム
15 補強板
16 電極セグメント
17 送信電圧源
20 信号処理装置
21 レゾルバ/デジタル変換器
22,23 差動増幅器
24 増幅器
25 ベクトル
26 計測表示器
31〜33 コンデンサ
51 固定子
52 移動子
53 電極セグメント
60 信号処理装置
61 D/A変換器
62 カウンタ
63 デジタルフィルタ
64 ルックアップテーブル
65,66 演算増幅器
67 差動増幅器
68 コンパレータ
Claims (13)
- 4相の電位検出電極を有する固定子と、
第1電極と第2電極を有し、前記固定子上で移動するように設けられた移動子と、
前記移動子の前記第1電極と前記第2電極の各々に反対極性の電荷を誘起させる手段と、
前記移動子の前記第1電極と前記第2電極の各々に誘起した前記電荷に感応する4相の前記電位検出電極から出力される前記交流信号の差に基づきベクトル信号を生成する受信手段と、
前記ベクトル信号に基づき、前記固定子に対する前記移動子の絶対的位置に係る信号を生成する信号処理手段と、
から成ることを特徴とする静電エンコーダ。 - 電荷を誘起させる前記手段は、
前記固定子で4相の前記電位検出電極が並べられた方向に設けられた第1誘導電極および第2誘導電極と、
前記第1誘導電極および前記第2誘導電極の間に交流信号を供給する送信手段と、
から構成されることを特徴とする請求項1記載の静電エンコーダ。 - 前記信号処理手段はレゾルバ/デジタル変換器であることを特徴とする請求項1または2記載の静電エンコーダ。
- 4相の送信電極を有する固定子と、
第1電極と第2電極を有し、前記固定子の上で移動するように設けられた移動子と、
前記移動子の前記第1電極と前記第2電極の各々に誘起した反対極性の電荷に基づき差動交流信号を出力する手段と、
前記固定子の4相の前記送信電極に90°ずつ位相がずれた4つの送信信号を送信する送信手段と、
前記誘導検出手段からの受信信号を受信する受信手段と、
前記受信信号の位相情報に基づき、前記固定子に対する前記移動子の絶対的位置に係る信号を取り出す信号処理手段と、
から成ることを特徴とする静電エンコーダ。 - 差動交流信号を出力する前記手段は、
前記固定子で4相の前記送信電極が並べられた方向に設けられた第1誘導電極および第2誘導電極と、
前記第1誘導電極および前記第2誘導電極の間の前記差動交流信号を出力する差動増幅器と、
から構成されることを特徴とする請求項4記載の静電エンコーダ。 - 前記信号処理手段は、
基準信号と前記受信信号との間の位相のずれを計数するカウンタと、
前記カウンタから出力される計数値に基づき前記移動子の前記絶対的位置に係る信号を生成する信号生成手段と、
を含むことを特徴とする請求項4記載の静電エンコーダ。 - 前記信号生成手段は、前記カウンタから出力される前記計数値を積算処理するデジタルフィルタを含むことを特徴とする請求項6記載の静電エンコーダ。
- 前記信号生成手段は、前記カウンタから出力される前記計数値に関する入出力特性を補正する直線性改善手段を含むことを特徴とする請求項6記載の静電エンコーダ。
- 前記信号処理手段はワンチップマイコンによって構成されることを特徴とする請求項4記載の静電エンコーダ。
- 4相の前記電位検出電極は、前記固定子の幅方向の一方の側に一列に並べられた複数の三角形電極パターンと他方の側に一列に並べられた複数の三角形電極パターンとよって構成されることを特徴とする請求項1記載の静電エンコーダ。
- 前記一方の側および前記他方の側に配列される複数の前記三角形電極パターンは、三角形の頂点を形成する辺部分が曲線形状を有することを特徴とする請求項10記載の静電エンコーダ。
- 4相の前記送信電極は、前記固定子の幅方向の一方の側に一列に配列される複数の三角形電極パターンと他方の側に一列に配列される複数の三角形電極パターンとよって構成されることを特徴とする請求項4記載の静電エンコーダ。
- 前記一方の側および前記他方の側に配列される複数の前記三角形電極パターンは、三角形の頂点を形成する辺部分が曲線状の形を有することを特徴とする請求項12記載の静電エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009194233A JP2011047679A (ja) | 2009-08-25 | 2009-08-25 | 静電エンコーダ |
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JP2011047679A true JP2011047679A (ja) | 2011-03-10 |
Family
ID=43834176
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2011047679A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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