JP2011045844A - 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法 - Google Patents

水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2011045844A
JP2011045844A JP2009197266A JP2009197266A JP2011045844A JP 2011045844 A JP2011045844 A JP 2011045844A JP 2009197266 A JP2009197266 A JP 2009197266A JP 2009197266 A JP2009197266 A JP 2009197266A JP 2011045844 A JP2011045844 A JP 2011045844A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
taah
developer waste
waste solution
titanium chloride
precipitate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009197266A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2011045844A5 (enExample
Inventor
Yasutaka Nazuka
康隆 名塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokuyama Corp
Original Assignee
Tokuyama Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokuyama Corp filed Critical Tokuyama Corp
Priority to JP2009197266A priority Critical patent/JP2011045844A/ja
Publication of JP2011045844A publication Critical patent/JP2011045844A/ja
Publication of JP2011045844A5 publication Critical patent/JP2011045844A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Removal Of Specific Substances (AREA)
JP2009197266A 2009-08-27 2009-08-27 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法 Pending JP2011045844A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009197266A JP2011045844A (ja) 2009-08-27 2009-08-27 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009197266A JP2011045844A (ja) 2009-08-27 2009-08-27 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011045844A true JP2011045844A (ja) 2011-03-10
JP2011045844A5 JP2011045844A5 (enExample) 2012-05-31

Family

ID=43832704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009197266A Pending JP2011045844A (ja) 2009-08-27 2009-08-27 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011045844A (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013010988A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Tama Kagaku Kogyo Kk 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液の再生処理方法
CN116119853A (zh) * 2022-10-31 2023-05-16 沧州信联化工有限公司 一种四甲基氢氧化铵显影废液的回收方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000301163A (ja) * 1999-04-20 2000-10-31 Ebara Corp 水の浄化方法及びその装置
JP2005517521A (ja) * 2002-02-14 2005-06-16 トラスティーズ オブ スティーブンス インスティテュート オブ テクノロジー 活性表面を有する酸化チタン生成物の製造方法およびこの酸化チタン生成物を水処理プロセスに使用する方法
JP2008161732A (ja) * 2006-12-26 2008-07-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 廃液の処理装置及び処理方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000301163A (ja) * 1999-04-20 2000-10-31 Ebara Corp 水の浄化方法及びその装置
JP2005517521A (ja) * 2002-02-14 2005-06-16 トラスティーズ オブ スティーブンス インスティテュート オブ テクノロジー 活性表面を有する酸化チタン生成物の製造方法およびこの酸化チタン生成物を水処理プロセスに使用する方法
JP2008161732A (ja) * 2006-12-26 2008-07-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 廃液の処理装置及び処理方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013010988A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Tama Kagaku Kogyo Kk 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液の再生処理方法
CN116119853A (zh) * 2022-10-31 2023-05-16 沧州信联化工有限公司 一种四甲基氢氧化铵显影废液的回收方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2397444B1 (en) Method and facility for processing waste water containing fluorine and silicon
CN111573629B (zh) 一种硫酸废酸的回收处理方法
TWI613153B (zh) 含氨廢水的處理裝置及含氨廢水的處理方法
CN110330164B (zh) 一种碱性高盐高氟废水回收氟资源与钠资源的方法
CN1236454C (zh) 从包含鎓化合物的溶液回收鎓氢氧化物的方法
US20110293506A1 (en) Method for processing waste water containing fluorine and silicon, method for producing calcium fluoride, and facility for processing fluorine-containing waste water
WO2015198438A1 (ja) フッ化物含有水の処理方法及び処理装置
TW201414679A (zh) 含氨廢水的回收處理方法及其設備
JPWO2006059760A1 (ja) 現像廃液の処理方法
JP2011045844A (ja) 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有現像廃液の精製方法
JP2012210568A (ja) 現像廃液の再生装置及び再生方法
JP2008168273A (ja) セレン含有排水の処理方法
TWI666176B (zh) Hydrogen peroxide-containing wastewater treatment system and applied enzyme carrier
JP2018195707A (ja) 水酸化テトラメチルアンモニウム（ｔｍａｈ）の回収方法
CN102897940A (zh) 含氟废液的回收处理方法及其设备
CN108623052A (zh) 显影废液的二次废液中四甲基氢氧化铵的回收方法
TWI423836B (zh) 自含氫氧化四烷基銨之廢液回收及純化其之方法
TWI534096B (zh) Wastewater recovery and treatment system and its treatment method
WO2011074495A1 (ja) テトラアルキルアンモニウムイオン除去廃液の再利用方法
JP2001104955A (ja) 純水の製造方法
JP5818053B2 (ja) ホウ素含有地下水の処理方法
JP7400878B1 (ja) フッ素及びアルミニウム含有水の処理方法
TWI636018B (zh) 晶圓或pcb製程廢液之硫酸銅回收方法與具有廢液硫酸銅回收單元之晶圓或pcb製造系統
KR102463313B1 (ko) 폐에칭액으로부터 염화은, 질산칼슘 및 초산을 회수하는 방법
JP2002239568A (ja) 廃液の処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Effective date: 20120410

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A621 Written request for application examination

Effective date: 20120410

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20130408

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130423

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20131015