JP2011045818A - フィルターの清浄化方法、及び被処理体の洗浄または乾燥方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理体の洗浄または乾燥の少なくともいずれかに用いられる気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過するためのフィルターの清浄化方法は、フィルター13で気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過する前に、フィルター13に二酸化炭素を流通させることによってフィルター13を清浄化することを含んでいる。
【選択図】図2
Description
2 被処理体
11 圧力容器
12 高圧CO2源
13 フィルター
13a,13b フィルター容器
14 加熱手段
15 保圧弁
16 ポンプ
17 ヒーター
20 供給ライン
30 排出ライン
40 流量調整手段
50 流量調整手段
61 フィルター清浄化装置
62 CO2容器
63 凝縮器
64 貯槽
65 ポンプ
66 フィルター
68 蒸発器
69 フィルター
Claims (10)
- 被処理体の洗浄または乾燥の少なくともいずれかに用いられる気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過するためのフィルターの清浄化方法であって、
前記フィルターで前記気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過する前に、前記フィルターに二酸化炭素を流通させることによって前記フィルターを清浄化することを含む、フィルターの清浄化方法。 - 前記フィルターは未使用のフィルターである、請求項1に記載のフィルターの清浄化方法。
- 前記フィルターに流通させる二酸化炭素は液体または超臨界状態の二酸化炭素である、請求項1または2に記載のフィルターの清浄化方法。
- 前記フィルターに流通させた二酸化炭素の少なくとも一部を再度前記フィルターに流通させることを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載のフィルターの清浄化方法。
- 前記フィルターに流通させた二酸化炭素の少なくとも一部をろ過した後に、再度前記フィルターに流通させることを含む、請求項4に記載のフィルターの清浄化方法。
- 前記フィルターに流通させた二酸化炭素の少なくとも一部をろ過する前に、前記フィルターに流通させた二酸化炭素の少なくとも一部を気化させることを含む、請求項5に記載のフィルターの清浄化方法。
- 前記フィルターに流通させた二酸化炭素の少なくとも一部を蒸発器によって気化させることを含む、請求項6に記載のフィルターの清浄化方法。
- フィルターに二酸化炭素を流通させて該フィルターを清浄化するフィルター清浄化工程と、
清浄化された前記フィルターを用いて、気体、液体または超臨界状態の二酸化炭素をろ過するろ過工程と、
ろ過された前記気体または液体の二酸化炭素を加圧もしくは加熱することによって得られた超臨界状態の二酸化炭素を用いて、またはろ過された前記気体または液体の二酸化炭素を加圧しかつ加熱することによって得られた超臨界状態の二酸化炭素を用いて、またはろ過された超臨界状態の二酸化炭素を用いて、被処理体の洗浄または乾燥の少なくともいずれかを行う工程と、
を含む、被処理体の洗浄または乾燥方法。 - 前記フィルター洗浄工程において前記フィルターに流通させる二酸化炭素の体積流量は、前記ろ過工程において前記フィルターに流通させる二酸化炭素の体積流量よりも多い、請求項8に記載の被処理体の洗浄または乾燥方法。
- 前記フィルター洗浄工程において前記フィルターに流通させる二酸化炭素の温度は、前記ろ過工程において前記フィルターに流通させる二酸化炭素の温度よりも高い、請求項8または9に記載の被処理体の洗浄または乾燥方法。
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