JP2007152195A - 超臨界流体洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄処理チャンバー5の洗浄処理室5c内のリンス液を超臨界状態の洗浄流体に置換する際の置換の完了を確認する置換確認手段として洗浄処理チャンバー内5下流の洗浄流体等排出管L2部分に第4の温度センサーT4が設けられ、排出流体の温度が一定の状態に変化したことにより洗浄処理チャンバー5内のリンス液の洗浄流体への置換の完了を確認できる。
【選択図】図1
Description
この発明の第1の課題解決手段は、洗浄処理チャンバーと、該洗浄処理チャンバー内に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段と、上記洗浄処理チャンバー内の不要物を排出する流体排出手段とを備え、上記洗浄処理チャンバー内に所定のリンス液を入れた後に同洗浄処理チャンバー内を超臨界状態に維持することによって、当該洗浄処理チャンバー内の被洗浄物の洗浄処理を行うようにしてなる超臨界流体洗浄装置であって、上記洗浄処理チャンバー内のリンス液を超臨界状態の洗浄流体に置換する際の置換の完了を確認することができる置換確認手段を設けたことを特徴としている。
この発明の第2の課題解決手段は、上記第1の課題解決手段の構成において、置換確認手段が、洗浄処理チャンバー下流の洗浄流体等排出流路内に設けられ、排出される洗浄流体等の温度を検出する温度センサーであることを特徴としている。
この発明の第3の課題解決手段は、上記第1の課題解決手段の構成において、置換確認手段が、洗浄処理チャンバー下流の洗浄流体等排出流路内に設けられ、排出される洗浄流体に含まれるリンス液等のガス濃度を検出するガスセンサーであることを特徴としている。
図1は、例えば洗浄流体として二酸化炭素(CO2)を採用し、水、アルコール等所定のリンス液と併用して洗浄(及び乾燥)を行うようにした本願発明の最良の実施の形態1に係る超臨界流体洗浄装置の構成を示している。
この最良の実施の形態1の超臨界流体洗浄装置は、所定の洗浄処理チャンバー内で、洗浄流体である二酸化炭素(CO2)が全く液相状態を経ることなく、気体→超臨界流体→気体の相変化を伴ってシリコンウエハー等所定の被洗浄物(マイクロマシン等)の洗浄(及び乾燥)を行うことができるようになっている。そして、例えば洗浄処理チャンバーの開閉から、加減圧、洗浄処理チャンバー内へのリンス液(液体溶媒)の充填までを、人手を介することなく自動運転を可能とし、超臨界二酸化炭素流体による洗浄(及び乾燥)システムの量産工程への導入を可能とすることで、従来の洗浄(及び乾燥)方法ではスティッキングを起こすために不可能であった構造やパターン設計の自由度を向上させ得るようにしたことを特徴としている。
先ず同装置のシステム構成を示す図1中、符号5は洗浄処理チャンバーであり、該洗浄処理チャンバー5は、例えば上部が開口した有底筒状の耐圧性のある加熱保温用の第2の電気ヒータH2を備えたチャンバー本体5aと、該チャンバー本体5aの上部をカバーする当該チャンバー本体5aの開口部の形状に対応した形状の蓋体5bとからなり、これらチャンバー本体5aと蓋体5bとが嵌合一体化されるようになっている。
次に図3および図4は、同じく洗浄流体として二酸化炭素(CO2)を採用し、水、アルコール等所定のリンス液と併用して洗浄(及び乾燥)を行うようにした本願発明の最良の実施の形態2に係る超臨界流体洗浄装置の構成を示している。
この最良の実施の形態2の超臨界流体洗浄装置は、上記最良の実施の形態1と同様の超臨界流体洗浄装置の構成において、例えば図3に示すように、洗浄処理チャンバー5の洗浄処理室5c内のリンス液を超臨界状態の洗浄流体に置換する際の置換の完了を確認する置換確認手段として、洗浄処理チャンバー5下流の洗浄流体等排出管L2部分に、排出される洗浄流体中のリンス液(ガス)濃度を検出するガスセンサーGsが設けられている。
Claims (3)
- 洗浄処理チャンバーと、該洗浄処理チャンバー内に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段と、上記洗浄処理チャンバー内の不要物を排出する流体排出手段とを備え、上記洗浄処理チャンバー内に所定のリンス液を入れた後に同洗浄処理チャンバー内を超臨界状態に維持することによって、当該洗浄処理チャンバー内の被洗浄物の洗浄処理を行うようにしてなる超臨界流体洗浄装置であって、上記洗浄処理チャンバー内のリンス液を超臨界状態の洗浄流体に置換する際の置換の完了を確認することができる置換確認手段を設けたことを特徴とする超臨界流体洗浄装置。
- 置換確認手段が、洗浄処理チャンバー下流の洗浄流体等排出流路内に設けられ、排出される洗浄流体等の温度を検出する温度センサーであることを特徴とする請求項1記載の超臨界流体洗浄装置。
- 置換確認手段が、洗浄処理チャンバー下流の洗浄流体等排出流路内に設けられ、排出される洗浄流体に含まれるリンス液等のガス濃度を検出するガスセンサーであることを特徴とする請求項1記載の超臨界流体洗浄装置。
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