JP2007330841A - 洗浄システムおよび流体密度制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄システム10では、洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、制御装置18がマスフローコントローラを介して流体圧力逓減手段を実行するとともに、第1温度制御手段、流入量制御手段、第2温度制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持しつつ、洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる。
【選択図】図1
Description
11 ボンベ
12 ポンプ
13 加熱器
14 予熱タンク
15 洗浄容器
16 マスフローコントローラ
17 冷却減圧装置
18 制御装置
21 調節バルブ
26 フィルタ(被洗浄物)
38 気密構造洗浄室
Claims (16)
- 超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体が流入する気密構造洗浄室を備えた洗浄容器に該洗浄流体を流通させ、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄する洗浄システムにおいて、
前記洗浄システムが、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを有し、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記マスフローコントローラを介して前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで該洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、前記流体圧力逓減手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることを特徴とする洗浄システム。 - 前記超臨界流体または前記亜臨界流体が、二酸化炭素ガスを5.0〜30.0MPaの圧力に加圧しつつ30〜120℃の温度に加熱することで作られ、前記マスフローコントローラが、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100〜5000Vol.%[L/min]の範囲で一定値に保持する請求項1記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御する第1温度制御手段を実行し、前記第1温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項1または請求項2に記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクで予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節する調節バルブとを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、前記第1温度制御手段と前記流入量制御手段とによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項3記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御する第2温度制御手段を実行し、前記第1温度制御手段と前記第2温度制御手段とによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項4記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御する第3温度制御手段を実行し、前記第3温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項1または請求項2に記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクで予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、前記第3温度制御手段と前記流入量制御手段とによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項6記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御する第4温度制御手段を実行し、前記第3温度制御手段と前記第4温度制御手段とによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項7記載の洗浄システム。
- 超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体が流入する気密構造洗浄室を備えた洗浄容器と、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラとを含み、前記洗浄室に洗浄流体を流通させて該洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記マスフローコントローラを介して前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで該洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる流体密度制御方法。
- 前記超臨界流体または前記亜臨界流体が、二酸化炭素ガスを5.0〜30.0MPaの圧力に加圧しつつ30〜120℃の温度に加熱することで作られ、前記マスフローコントローラが、前記洗浄室内から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100〜5000Vol.%[L/min]の範囲で一定値に保持する請求項9記載の流体密度制御方法。
- 前記流体密度制御方法が、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記流体密度制御方法では、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御することで、前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項9または請求項10に記載の流体密度制御方法。
- 前記流体密度制御方法が、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクで予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記流体密度制御方法では、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記洗浄容器の温度を制御しつつ、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御し、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させることで、前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項11記載の流体密度制御方法。
- 前記流体密度制御方法では、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記洗浄容器の温度を制御しつつ、前記予熱タンクの温度を制御することで、前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項12記載の流体密度制御方法。
- 前記流体密度制御方法が、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記流体密度制御方法では、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御することで、前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項9または請求項10に記載の流体密度制御方法。
- 前記流体密度制御方法が、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクで予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記流体密度制御方法では、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記洗浄容器の温度を制御しつつ、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御し、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させることで、前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項14記載の流体密度制御方法。
- 前記流体密度制御方法では、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、前記洗浄容器の温度を制御しつつ、前記予熱タンクの温度を制御することで、前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項15記載の流体密度制御方法。
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