JP2011156536A - 洗浄システムおよび洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄システム10では、洗浄流体を洗浄容器15の洗浄室に収容されたフィルタの第1面から第2面に向かって通流させることでフィルタを洗浄し、フィルタを洗浄した後、制御装置18が第1温度制御手段と第2温度制御手段と流入量制御手段とを実行することによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持するとともに、マスフローコントローラ16を介して流体圧力逓減手段を実行することによって洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる。
【選択図】図1
Description
11 ボンベ
12 ポンプ
13 加熱器
14 予熱タンク
15 洗浄容器
16 マスフローコントローラ
17 冷却減圧装置
18 制御装置
21 調節バルブ
26 フィルタ(被洗浄物)
38 気密構造洗浄室
Claims (22)
- 超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体を流通させて第1面および第2面とそれら面の間に延びる側面とを有する立体構造のフィルタを洗浄する気密構造洗浄室と、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口と、前記洗浄室から前記洗浄流体を流出させる流出口とを備えた洗浄容器を利用し、前記洗浄流体を前記洗浄室に収容された前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流させることで該フィルタを洗浄する洗浄システムにおいて、
前記洗浄システムが、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを有し、前記洗浄容器が、前記洗浄室に設置されて前記フィルタを覆う被覆材と、前記洗浄室に設置されて前記被覆材から延びていて前記流出口につながる管材とを含み、前記被覆材が、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか一方の面から離間して該面全域を覆う中央部と、前記フィルタの側面の周方向外方に位置して該側面全域を覆う周縁部とを有し、前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して該洗浄流体を前記管材に導くスペースが、前記フィルタの面と前記被覆材の中央部との間に形成され、
前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記マスフローコントローラを介して前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで該洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、前記流体圧力逓減手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることを特徴とする洗浄システム。 - 前記超臨界流体または前記亜臨界流体が、二酸化炭素ガスを5.0〜30.0MPaの圧力に加圧しつつ30〜120℃の温度に加熱することで作られ、前記マスフローコントローラが、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100〜5000Vol.%[L/min]の範囲で一定値に保持する請求項1記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御する第1温度制御手段を実行し、前記第1温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項1または請求項2に記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節する調節バルブとを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、前記流入量制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項3記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御する第2温度制御手段を実行し、前記第2温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項4記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御する第3温度制御手段を実行し、前記第3温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項1または請求項2に記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムが、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、前記流入量制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項6記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御する第4温度制御手段を実行し、前記第4温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項7記載の洗浄システム。
- 前記管材が、前記流出口の側に位置する第1部分と、前記第1部分から複数に分岐して前記被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている請求項1ないし請求項8いずれかに記載の洗浄システム。
- 前記洗浄室には、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態で該フィルタを載せる通気性の台座が設置され、前記洗浄システムでは、前記フィルタが前記被覆材と前記台座との間に位置し、前記洗浄流体が前記台座の整流作用によって前記フィルタの略全域を通流する請求項1ないし請求項9いずれかに記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムでは、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている請求項1ないし請求項10いずれかに記載の洗浄システム。
- 超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体を流通させて第1面および第2面とそれら面の間に延びる側面とを有する立体構造のフィルタを洗浄する気密構造洗浄室と、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口と、前記洗浄室から前記洗浄流体を流出させる流出口とを備えた洗浄容器を利用し、前記洗浄流体を前記洗浄室に収容された前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流させることで該フィルタを洗浄する洗浄方法において、
前記洗浄方法が、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを含み、前記洗浄容器が、前記洗浄室に設置されて前記フィルタを覆う被覆材と、前記洗浄室に設置されて前記被覆材から延びていて前記流出口につながる管材とを含み、前記被覆材が、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか一方の面から離間して該面全域を覆う中央部と、前記フィルタの側面の周方向外方に位置して該側面全域を覆う周縁部とを有し、前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して該洗浄流体を前記管材に導くスペースが、前記フィルタの面と前記被覆材の中央部との間に形成され、
前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記マスフローコントローラを介して前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで該洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることを特徴とする洗浄方法。 - 前記超臨界流体または前記亜臨界流体が、二酸化炭素ガスを5.0〜30.0MPaの圧力に加圧しつつ30〜120℃の温度に加熱することで作られ、前記マスフローコントローラが、前記洗浄室内から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100〜5000Vol.%[L/min]の範囲で一定値に保持する請求項12記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法が、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項12または請求項13に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法が、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項14記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項15記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法が、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項12または請求項13に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法が、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項17記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項18記載の洗浄方法。
- 前記管材が、前記流出口の側に位置する第1部分と、前記第1部分から複数に分岐して前記被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている請求項12ないし請求項19いずれかに記載の洗浄方法。
- 前記洗浄室には、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態で該フィルタを載せる通気性の台座が設置され、前記洗浄方法では、前記フィルタが前記被覆材と前記台座との間に位置し、前記洗浄流体が前記台座の整流作用によって前記フィルタの略全域を通流する請求項12ないし請求項20いずれかに記載の洗浄方法。
- 前記洗浄方法では、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている請求項12ないし請求項21いずれかに記載の洗浄方法。
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