JP2011038177A - 無電解めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御装置31は、第1〜第5のめっき槽2,3,4,5,6のうち補給対象となる1つのめっき槽に対応する分析用バルブを開状態に設定するとともに分析用ポンプを駆動し、1つのめっき槽内のニッケルめっき液33を分析部41に供給し、分析部41の分析結果に基づいて1つのめっき槽内のニッケルめっき液33中の所定成分の濃度を所定の濃度にするために加える補給液の供給量を算出し、算出した供給量の補給液を1つのめっき槽に供給する分析補給処理を実行する。制御装置31は、予め定められた補給順序に従って補給対象となるめっき槽を順次変更して分析補給処理を繰り返して実行する。
【選択図】図1
Description
3 第2のめっき槽
4 第3のめっき槽
5 第4のめっき槽
6 第5のめっき槽
8 分析用主配管(分析用主管路)
9 第1の分析用分岐配管(分析用分岐管路)
10 第2の分析用分岐配管(分析用分岐管路)
11 第3の分析用分岐配管(分析用分岐管路)
12 第4の分析用分岐配管(分析用分岐管路)
13 第5の分析用分岐配管(分析用分岐管路)
14 補給用主配管(補給用主管路)
15 第1の補給用分岐配管(補給用分岐管路)
16 第2の補給用分岐配管(補給用分岐管路)
17 第3の補給用分岐配管(補給用分岐管路)
18 第4の補給用分岐配管(補給用分岐管路)
19 第5の補給用分岐配管(補給用分岐管路)
20 第1の分析用バルブ(第1のバルブ)
21 第2の分析用バルブ(第1のバルブ)
22 第3の分析用バルブ(第1のバルブ)
23 第4の分析用バルブ(第1のバルブ)
24 第5の分析用バルブ(第1のバルブ)
25 第1の補給用バルブ(第2のバルブ)
26 第2の補給用バルブ(第2のバルブ)
27 第3の補給用バルブ(第2のバルブ)
28 第4の補給用バルブ(第2のバルブ)
29 第5の補給用バルブ(第2のバルブ)
30 分析用ポンプ(第1のポンプ)
31 制御装置(制御手段)
39 補給液貯留槽
40 補給用ポンプ(第2のポンプ)
41 分析部(分析手段)
Claims (1)
- めっき液を各々が貯留する複数のめっき槽と、
めっき液に含まれる所定成分の濃度を分析する分析手段と、
前記所定成分を高濃度で含む補給液を貯留する補給液貯留槽と、
前記分析手段に接続される分析用主管路と、
前記分析用主管路から分岐して前記各々のめっき槽に連通する複数の分析用分岐管路と、
前記補給液貯留槽に接続される補給用主管路と、
前記補給用主管路から分岐して前記各々のめっき槽に連通する複数の補給用分岐管路と、
前記各々のめっき槽に対応して前記各々の分析用分岐管路に設けられ、該分析用分岐管路をそれぞれ開閉する複数の第1のバルブと、
前記各々のめっき槽に対応して前記各々の補給用分岐管路に設けられ、該補給用分岐管路をそれぞれ開閉する複数の第2のバルブと、
前記分析用主管路に設けられた第1のポンプと、
前記補給用主管路に設けられた第2のポンプと、
前記複数のめっき槽のうち補給対象となる1つのめっき槽に対応する第1のバルブを開状態に設定するとともに前記第1のポンプを駆動し、前記1つのめっき槽内のめっき液を前記分析手段に供給し、前記第1のバルブを閉状態に設定し前記第1のポンプの駆動を停止するとともに前記分析手段の分析結果に基づいて前記1つのめっき槽内のめっき液中の前記所定成分の濃度を所定の濃度にするために加える前記補給液の供給量を算出し、前記1つのめっき槽に対応する第2のバルブを開状態に設定するとともに前記第2のポンプを駆動して前記算出した供給量の前記補給液を前記1つのめっき槽に供給し、前記第2のバルブを閉状態に設定するとともに前記第2のポンプの駆動を停止する分析補給サイクルを実行する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、予め定められた補給順序に従って前記補給対象となるめっき槽を順次変更して前記分析補給サイクルを繰り返して実行する
ことを特徴とする無電解めっき装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0641764A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-15 | Ishihara Chem Co Ltd | 無電解メッキ浴の自動管理方法 |
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-
2009
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JP5522508B2 (ja) | 2014-06-18 |
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