JP2011035065A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板2と、基板2上に形成された第一の窒化物半導体層4と、第一の窒化物半導体層4上に形成され、かつ第一の窒化物半導体層4よりも電子親和力の小さい第二の窒化物半導体層5と、第二の窒化物半導体層5上に、直接乃至は中間層6を介して形成されると共に、離間して配置されたソース電極7及びドレイン電極8と、第二の窒化物半導体層5上に、直接乃至は中間層6を介して形成されると共に、ソース電極7とドレイン電極8との間に配置されたゲート電極9と、を主な構成材としてなる半導体装置1において、第一の窒化物半導体層4内部での炭素濃度が深さ(厚さ)方向に対して、基板2側から第二の窒化物半導体層5側にかけて低くなっているものである。
【選択図】図1
Description
2 基板
4 第一の窒化物半導体層
5 第二の窒化物半導体層
6 中間層
7 ソース電極
8 ドレイン電極
9 ゲート電極
Claims (6)
- 基板と、
該基板上に形成された第一の窒化物半導体層と、
該第一の窒化物半導体層上に形成され、かつ前記第一の窒化物半導体層よりも電子親和力の小さい第二の窒化物半導体層と、
該第二の窒化物半導体層上に、直接乃至は中間層を介して形成されると共に、離間して配置されたソース電極及びドレイン電極と、
前記第二の窒化物半導体層上に、直接乃至は中間層を介して形成されると共に、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に配置されたゲート電極と、
を主な構成材としてなる半導体装置において、
前記第一の窒化物半導体層内部での炭素濃度が深さ(厚さ)方向に対して、前記基板側よりも前記第二の窒化物半導体層側の方が低くなっており、かつ前記第一の窒化物半導体層内部における炭素の最小濃度と最大濃度の差が2×1016cm-3以上であることを特徴とする、
半導体装置。 - 前記第一の窒化物半導体層が上層部と下層部とを有する多層構造であり、その上層部の炭素濃度が5.5×1016cm-3以下、その下層部の炭素濃度が8.0×1016cm-3以上とされる請求項1に記載の半導体装置。
- 前記上層部の厚さが20nmを超える厚さにされ、前記下層部の厚さが280nmを超える厚さにされた請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第一の窒化物半導体層のケイ素濃度が1.0×1016cm-3未満である請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第一の窒化物半導体層が窒化ガリウムであり、前記第二の窒化物半導体層が窒化アルミニウムガリウムであり、前記基板が炭化ケイ素基板である請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第二の窒化物半導体層と前記ソース電極或いは前記ドレイン電極との間の前記中間層が窒化ガリウムである請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009178143A JP2011035065A (ja) | 2009-07-30 | 2009-07-30 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009178143A Pending JP2011035065A (ja) | 2009-07-30 | 2009-07-30 | 半導体装置 |
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JP (1) | JP2011035065A (ja) |
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