JP2011032109A - 炭化珪素単結晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空排気容器12の中に配置した坩堝3内に炭化珪素原料2を収容し、炭化珪素原料2を昇華させて、昇華ガスを坩堝3内に取り付けた種結晶1上に供給して炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶製造装置であって、真空排気容器12の内壁が剥離可能な粘着シート13を貼り付けて覆われている。
【選択図】図3
Description
(1)真空排気容器の中に配置した坩堝内に炭化珪素原料を収容し、前記炭化珪素原料を昇華させて、該昇華ガスを坩堝内に取り付けた種結晶上に供給して炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶製造装置であって、前記真空排気容器の内壁が剥離可能な粘着シートを貼り付けて覆われていることを特徴とする炭化珪素単結晶製造装置、
(2)前記剥離可能な粘着シートが、シート基材と、シート基材に塗布された粘着剤からなる粘着層とを備え、粘着剤は、繰り返し接着できる粘着剤であることを特徴とする、上記(1)に記載の炭化珪素単結晶製造装置、
(3)前記粘着シートが、真空排気容器の内壁に複数層重ねて貼り付けられていることを特徴とする、上記(1)又は(2)に記載の炭化珪素単結晶製造装置、
である。
初めに、昇華再結晶法について説明する。昇華再結晶法は、2000℃を超える高温においてSiC粉末を昇華させ、その昇華ガスを低温部に再結晶化させることにより、SiC結晶を製造する方法である。この方法で、SiC単結晶からなる種結晶を用いて、SiC単結晶を製造する方法は、特に改良レーリー法と呼ばれ、バルク状のSiC単結晶の製造に利用されている。改良レーリー法では、種結晶を用いているため結晶の核形成過程が制御でき、また、不活性ガスにより雰囲気圧力を100Pa〜15kPa程度に制御することにより、結晶の成長速度等を再現性良くコントロールできる。
(実施例1)
図3に示すSiC単結晶成長装置を用いて、SiC単結晶を製造する例について説明する。SiC結晶成長は、SiC粉末2を昇華させ、種結晶として用いたSiC単結晶1上で再結晶化させることにより行われる。種結晶のSiC単結晶1は、黒鉛製坩堝3の内部の上面(蓋体内側)に取り付けられる。原料のSiC粉末2は、黒鉛製坩堝3の内部の下方に充填されている。このような黒鉛製坩堝3は、真空排気容器12の内部に、黒鉛の支持棒5により設置される。黒鉛製坩堝の周囲には、熱シールドのための黒鉛製断熱材6が設置されている。真空排気容器12は、真空排気装置11により高真空排気(10-3Pa以下)することができ、かつ、内部雰囲気を、ガス配管9及びガス流量調節計10を通って導入されるArガスにより圧力制御することができる。各種ド−ピングガス(窒素、トリメチルアルミニウム、トリメチルボロン)も、ガス流量調節計10を通して導入することができる。また、真空排気容器12の側壁を構成する二重石英管4の外周には、ワークコイル8が設置されており、高周波電流を流すことにより黒鉛製坩堝を加熱し、原料及び種結晶を加熱することができる。坩堝温度の計測は、坩堝下部を覆う断熱材の中央部に直径2〜4mmの光路を設け坩堝上部及び下部からの光を取り出し、二色温度計を用いて行う。
先ず、種結晶1として、口径50mmの(0001)面を有した4HポリタイプのSiC単結晶ウェハを用意した。次に、種結晶1を黒鉛製坩堝3の内部、上面に取り付けた。黒鉛製坩堝3の内部には、アチソン法により作製したSiC結晶原料粉末2を充填した。次いで、黒鉛製坩堝容器3を黒鉛製フェルト6で被覆した後、黒鉛製支持棒5の上に載せ、真空排気容器12の内部に設置した。その後、図3に示すように、真空排気容器12の二重石英管4の内面(内壁)全体を被覆するように、剥離可能な粘着シート13(ウノン技研製K-1000A、耐熱温度:260℃、シート基材:ポリイミド樹脂、粘着剤:耐熱アクリル粘着剤、厚さ:100μm)を貼り付けた。なお、真空排気容器12を構成する二重石英管4のサイズは、30cm径×1m長さである。
実施例1と同様の手順で、SiC単結晶を成長させた。但し、図3に示したように、真空排気容器12の内壁(二重石英管7の内壁、及びその上下蓋7の内面)に剥離可能な粘着シート13(日東電工製TRM3650S、耐熱温度:260℃、シート基材:ポリイミド樹脂、粘着剤:シリコーン粘着剤、厚さ:31μm)を貼り付けた。
実施例1と同様の手順で、SiC単結晶を成長させた。但し、二重石英管4の内壁に貼り付けた剥離可能な粘着シート13(TACONIC社製特殊高耐熱性シリコーン粘着テープTacsil F20、耐熱温度:260℃、シート基材:フッ素樹脂+ガラスクロス、ポリイミドフィルム 粘着剤:シリコーン粘着剤、厚さ:200μm)は、再接着できる粘着剤を使用したものである。
実施例1と同様の手順で、SiC単結晶を成長させた。但し、二重石英管4の内壁に貼り付けた剥離可能な粘着シート13(TACONIC社製特殊高耐熱性シリコーン粘着テープTacsil F20、耐熱温度:260℃、シート基材:フッ素樹脂+ガラスクロス、ポリイミドフィルム 粘着剤:シリコーン粘着剤、厚さ:200μm)は、5層に重ねて貼り付けた。
真空排気容器12の内壁に剥離可能な粘着シート13を貼り付けることを実施しなかった以外は全て実施例1と同様にして結晶成長を行った。
2 SiC結晶粉末原料
3 坩堝容器(黒鉛あるいはタンタル等の高融点金属)
4 二重石英管
5 支持棒
6 黒鉛製フェルト(断熱材)
7 二重石英管の蓋
8 ワークコイル
9 ガス配管
10 ガス用マスフローコントローラ
11 真空排気装置
12 真空排気容器
13 剥離可能な粘着シート
Claims (3)
- 真空排気容器の中に配置した坩堝内に炭化珪素原料を収容し、前記炭化珪素原料を昇華させて、該昇華ガスを坩堝内に取り付けた種結晶上に供給して炭化珪素単結晶を成長させる炭化珪素単結晶製造装置であって、前記真空排気容器の内壁が剥離可能な粘着シートを貼り付けて覆われていることを特徴とする炭化珪素単結晶製造装置。
- 前記剥離可能な粘着シートが、シート基材と、シート基材に塗布された粘着剤からなる粘着層とを備え、粘着剤は、繰り返し接着できる粘着剤であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶製造装置。
- 前記粘着シートが、真空排気容器の内壁に複数層重ねて貼り付けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶製造装置。
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