CN114877680B - 一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置 - Google Patents

一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置 Download PDF

Info

Publication number
CN114877680B
CN114877680B CN202210524485.9A CN202210524485A CN114877680B CN 114877680 B CN114877680 B CN 114877680B CN 202210524485 A CN202210524485 A CN 202210524485A CN 114877680 B CN114877680 B CN 114877680B
Authority
CN
China
Prior art keywords
powder
crucible body
fixedly connected
elastic
fixing plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202210524485.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114877680A (zh
Inventor
高树良
刘海
许星杰
张永伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Linton Kayex Technology Co Ltd
Original Assignee
Linton Kayex Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Linton Kayex Technology Co Ltd filed Critical Linton Kayex Technology Co Ltd
Priority to CN202210524485.9A priority Critical patent/CN114877680B/zh
Publication of CN114877680A publication Critical patent/CN114877680A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114877680B publication Critical patent/CN114877680B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00—Crucible or pot furnaces
    • F27B14/06—Crucible or pot furnaces heated electrically, e.g. induction crucible furnaces with or without any other source of heat
    • F27B14/061—Induction furnaces
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/90—Carbides
    • C01B32/914—Carbides of single elements
    • C01B32/956—Silicon carbide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00—Crucible or pot furnaces
    • F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
    • F27B14/10—Crucibles
    • F27B14/12—Covers therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/10—Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)

Abstract

本发明属于气体转换装置技术领域，具体的说是一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置，包括坩埚本体；所述坩埚本体顶部安装有密封盖；所述密封盖中部滑动连接有支撑杆；所述支撑杆底端固接有承载架；所述承载架底部固接有第一网板；所述支撑杆顶端与密封盖顶部之间安装有弹簧；通过设有承载架和第一网板对需要加热的粉末进行支撑放置，可使堆积的粉末表面与坩埚本体内部气体的接触面积较大，所以粉末在加热时，分开放置粉末的整体对比堆积在一起的粉末加热更加均匀，同时因粉末在坩埚本体内部为多层次设置，所以在粉末加热升华时，不同的气体会交叉混合在一起，使得经过坩埚本体加工后生成的气体混合更加均匀。

Description

一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置
技术领域
本发明属于气体转换装置技术领域，具体的说是一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置。
背景技术
气体转换装置是通过将多种气体(例如氩气、氮气(或是二者混合气)或是其他工艺气体)气氛中，利用物理气相输送法(PVT法)生长碳化硅等单晶体材料。而气体转化是一摩尔配比的高纯度碳粉和高纯硅粉、以及一定量的高纯添加剂均匀混合，装载高纯石墨坩埚内，并在洁净的环境中，充入高纯氩气、氮气、氢气和其他气体，以设定的步骤，逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气、氢气或其他气氛气体，降温等过程，使碳粉和硅粉合成为高纯碳化硅原料的设备。
公开号为CN103449369B的一项中国专利公开了副产蒸汽或热水的组合盐酸合成炉，包括内部石墨制合成吸收部及钢制外炉筒；合成吸收部包括：合成段、换热块段、过渡段、水冷段、气液分离段、冷却吸收段及上封头；内部合成吸收部与外炉筒之间为循环液体腔；合成段底部为燃烧部；燃烧部设有原料气体进口；上封头设有吸收液入口及尾气出口，顶部设有石墨爆破盘；气液分离段设有出酸口。石墨内炉筒外壁或内外壁设有石墨翅片。换热块段及冷却吸收段处的循环液体腔内设有折流板，折流板包括刚性折流板及与之夹装的柔性折流板。
在坩埚内部加热多种粉末时，是直接将各种粉末堆积在坩埚内部，在粉末加热的过程中，堆积的粉末中心升温会稍慢于堆积粉末表面处的升温速度，在长时间的使用观察中，发现各种粉末的升温不同，会有坩埚内部各种气体的挥发混合不均匀问题，当粉末的升华时，坩埚内部的气体会因密度不同，在坩埚内部分层，进而导致气体的生成出现混合不均匀的问题。
为此，本发明提供一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置。
发明内容
为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置，包括坩埚本体；所述坩埚本体顶部安装有密封盖；所述密封盖中部滑动连接有支撑杆；所述支撑杆底端固接有承载架；所述承载架底部固接有第一网板；所述支撑杆顶端与密封盖顶部之间安装有弹簧；在需要对多种粉末例如：高纯度碳粉和高纯硅粉、以及一定量的高纯添加剂进行加热，使其逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气、氢气或其他气氛气体，先将预定量的粉末分为两份，其后在坩埚本体内部放置一份粉末，然后在密封盖中部安装的承载架和第一网板上也放置一份，之后即需要将承载架以垂直状态放置在坩埚本体内部，然后将密封盖盖在坩埚本体顶部，此时即可对坩埚本体进行加热，此时因粉末在坩埚本体内部分散的较为分散，堆积的粉末表面与坩埚本体内部气体的接触面积较大，所以粉末在加热时，分开放置粉末的整体对比堆积在一起的粉末加热更加均匀，同时因粉末在坩埚本体内部为多层次设置，所以在粉末加热升华时，不同的气体会交叉混合在一起，使得经过坩埚本体加工后生成的气体混合更加均匀。
进一步，所述支撑杆中部设有第一固定板；所述第一固定板与支撑杆固接；所述第一固定板与承载架之间设有第二固定板；所述第二固定板与支撑杆固接；所述第一固定板中部开设有多个通孔；通过在支撑杆中部设有第一固定板和第二固定板，可在使用坩埚本体对多种粉末进行加热时，使得粉末在坩埚本体内部有更多的分层，进一步使得粉末的受热均匀程度。
进一步，所述坩埚本体中部固接有多个第一弹性环；通过增加有第一弹性环在坩埚本体内部，在向坩埚本体内部加入粉末时，部分的粉末会落在第一弹性环上，随后在承载架放置到坩埚本体内部的过程中，承载架会与第一弹性环边界接触，将承载架上部分的粉末抖落，使粉末落在承载架、第一网板和靠近坩埚本体底部的第一弹性环上，该设置可使被加工的粉末在坩埚本体内部分布的更加均匀，进而使坩埚本体内部粉末的整体升温速度得到提升。
进一步，所述第一弹性环中部设有第二弹性环；所述第二弹性环边界与第一弹性环固接；通过在第一弹性环中部设有第二弹性环，可使粉末在被加入至坩埚本体内部时，粉末在坩埚本体内部的第一弹性环的顶部堆积更加稳定，减少大量滑落的问题，使得第一弹性环可更加稳定对粉末进行支撑。
进一步，所述第一固定板与第二固定板和第二固定板与承载架之间设有多个第二网板；所述第二网板侧壁固接有多个连接杆；所述连接杆端部固接在第二固定板上，相互远离的所述连接杆的另一端分别与第一固定板和承载架固接；通过在第一固定板、第二固定板和承载架之间设有第二网板，可在第一固定板和第二固定板上堆积有粉末时，部分的粉末会从第一固定板中部的网孔处落下，落在第二网板、第二固定板和底部的第一网板上，使得粉末在第一固定板、第二固定板、承载架和第二网板上的分布更加均匀，同时第一固定板中部通孔的设置，可使坩埚本体内部的气体充分流通，部分气体可从第一固定板的通孔处对第一固定板顶部的粉末进行加热，同时通孔的设置可使第一固定板顶部的粉末可从第一固定板上落下，落到第二网板、第二固定板、承载架和第一网板上，同时第一网板上的部分粉末会落在坩埚本体的底部，此时粉末在坩埚本体内部的分布即相较于第一固定板和承载架有更多层次的堆积，使得粉末的受热更加均匀。
进一步，所述密封盖顶部固接有弹性空心球；所述弹性空心球内侧壁与支撑杆顶端连接；通过在支撑杆顶部连接有弹性空心球，可在密封盖盖在坩埚本体顶部时，可对弹性空心球实施按压，进而使得支撑杆在坩埚本体内部晃动，此时可使第一固定板顶部堆积的粉末分布更加均匀，提升粉末在坩埚本体内部加热时的均匀程度。
进一步，所述密封盖底部固接有弹性密封圈；所述坩埚本体内侧壁与弹性密封圈对应位置处开设有密封槽；通过在密封盖底部设有弹性密封圈，可在密封盖盖在坩埚本体上时，弹性密封圈对坩埚本体接缝进行密封，提升密封盖与坩埚本体的气密性，减少漏气的风险。
进一步，所述支撑杆中部铰接有顶杆；所述顶杆端部为朝向弹性密封圈内侧壁设置；所述顶杆端部与弹性密封圈内侧壁接触；所述顶杆中部固接有支撑架；所述支撑架端部与支撑杆中部接触；通过在支撑杆中部设有顶杆，可在按压弹性空心球的过程中，顶杆可对弹性密封圈中部进行挤压，将弹性密封圈按压至密封槽内部，此时可进一步提升弹性密封圈对坩埚本体和密封盖的密封程度。
进一步，所述密封槽内侧壁开设有多个齿状槽；所述弹性密封圈侧壁固接有多个齿状凸块；所述齿状凸块位置与齿状槽对应；通过在弹性密封圈侧壁设有齿状凸块，可在顶杆将弹性密封圈按压至密封槽内部时，齿状槽可与齿状凸块插合在一起，进一步提升弹性密封圈在密封槽内部的稳定性。
进一步，所述弹性密封圈内侧壁固接有定位杆；所述密封槽内侧壁与坩埚本体内侧壁之间贯通有定位槽；通过在弹性密封圈内侧壁设有定位杆，可在弹性密封圈被按压到密封槽内部时，定位杆可陷入至定位槽内部，此时定位杆可对定位槽进行定位，减少弹性密封圈会从密封槽内部脱出的问题。
本发明的有益效果如下：
1.本发明所述的一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置，通过设有承载架和第一网板对需要加热的粉末进行支撑放置，可使堆积的粉末表面与坩埚本体内部气体的接触面积较大，所以粉末在加热时，分开放置粉末的整体对比堆积在一起的粉末加热更加均匀，同时因粉末在坩埚本体内部为多层次设置，所以在粉末加热升华时，不同的气体会交叉混合在一起，使得经过坩埚本体加工后生成的气体混合更加均匀。
2.本发明所述的一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置，通过在密封盖底部设有弹性密封圈，可在密封盖盖在坩埚本体上时，弹性密封圈对坩埚本体接缝进行密封，提升密封盖与坩埚本体的气密性，减少漏气的风险。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的立体图；
图2是本发明的剖视图；
图3是本发明中承载架的结构示意图；
图4是图2中A处局部放大图；
图5是本发明中定位杆与定位槽的配合结构示意图；
图中：1、坩埚本体；11、密封盖；12、支撑杆；13、承载架；14、第一网板；2、第一固定板；21、第二固定板；3、第一弹性环；4、第二弹性环；5、第二网板；51、连接杆；6、弹性空心球；7、弹性密封圈；71、密封槽；8、顶杆；81、支撑架；9、齿状槽；91、齿状凸块；92、定位杆；93、定位槽。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例一
如图1至图4所示，本发明实施例所述的一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置，包括坩埚本体1；所述坩埚本体1顶部安装有密封盖11；所述密封盖11中部滑动连接有支撑杆12；所述支撑杆12底端固接有承载架13；所述承载架13底部固接有第一网板14；所述支撑杆12顶端与密封盖11顶部之间安装有弹簧；在需要对多种粉末例如：高纯度碳粉和高纯硅粉、以及一定量的高纯添加剂进行加热，使其逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气、氢气或其他气氛气体，先将预定量的粉末分为两份，其后在坩埚本体1内部放置一份粉末，然后在密封盖11中部安装的承载架13和第一网板14上也放置一份，之后即需要将承载架13以垂直状态放置在坩埚本体1内部，然后将密封盖11盖在坩埚本体1顶部，此时即可对坩埚本体1进行加热，此时因粉末在坩埚本体1内部分散的较为分散，堆积的粉末表面与坩埚本体1内部气体的接触面积较大，所以粉末在加热时，分开放置粉末的整体对比堆积在一起的粉末加热更加均匀，同时因粉末在坩埚本体1内部为多层次设置，所以在粉末加热升华时，不同的气体会交叉混合在一起，使得经过坩埚本体1加工后生成的气体混合更加均匀。
所述支撑杆12中部设有第一固定板2；所述第一固定板2与支撑杆12固接；所述第一固定板2与承载架13之间设有第二固定板21；所述第二固定板21与支撑杆12固接；所述第一固定板2中部开设有多个通孔；通过在支撑杆12中部设有第一固定板2和第二固定板21，可在使用坩埚本体1对多种粉末进行加热时，使得粉末在坩埚本体1内部有更多的分层，进一步使得粉末的受热均匀程度。
所述坩埚本体1中部固接有多个第一弹性环3；通过增加有第一弹性环3在坩埚本体1内部，在向坩埚本体1内部加入粉末时，部分的粉末会落在第一弹性环3上，随后在承载架13放置到坩埚本体1内部的过程中，承载架13会与第一弹性环3边界接触，将承载架13上部分的粉末抖落，使粉末落在承载架13、第一网板14和靠近坩埚本体1底部的第一弹性环3上，该设置可使被加工的粉末在坩埚本体1内部分布的更加均匀，进而使坩埚本体1内部粉末的整体升温速度得到提升。
所述第一弹性环3中部设有第二弹性环4；所述第二弹性环4边界与第一弹性环3固接；通过在第一弹性环3中部设有第二弹性环4，可使粉末在被加入至坩埚本体1内部时，粉末在坩埚本体1内部的第一弹性环3的顶部堆积更加稳定，减少大量滑落的问题，使得第一弹性环3可更加稳定对粉末进行支撑。
所述第一固定板2与第二固定板21和第二固定板21与承载架13之间设有多个第二网板5；所述第二网板5侧壁固接有多个连接杆51；所述连接杆51端部固接在第二固定板21上，相互远离的所述连接杆51的另一端分别与第一固定板2和承载架13固接；通过在第一固定板2、第二固定板21和承载架13之间设有第二网板5，可在第一固定板2和第二固定板21上堆积有粉末时，部分的粉末会从第一固定板2中部的网孔处落下，落在第二网板5、第二固定板21和底部的第一网板14上，使得粉末在第一固定板2、第二固定板21、承载架13和第二网板5上的分布更加均匀，同时第一固定板2中部通孔的设置，可使坩埚本体1内部的气体充分流通，部分气体可从第一固定板2的通孔处对第一固定板2顶部的粉末进行加热，同时通孔的设置可使第一固定板2顶部的粉末可从第一固定板2上落下，落到第二网板5、第二固定板21、承载架13和第一网板14上，同时第一网板14上的部分粉末会落在坩埚本体1的底部，此时粉末在坩埚本体1内部的分布即相较于第一固定板2和承载架13有更多层次的堆积，使得粉末的受热更加均匀。
所述密封盖11顶部固接有弹性空心球6；所述弹性空心球6内侧壁与支撑杆12顶端连接；通过在支撑杆12顶部连接有弹性空心球6，可在密封盖11盖在坩埚本体1顶部时，可对弹性空心球6实施按压，进而使得支撑杆12在坩埚本体1内部晃动，此时可使第一固定板2顶部堆积的粉末分布更加均匀，提升粉末在坩埚本体1内部加热时的均匀程度。
所述密封盖11底部固接有弹性密封圈7；所述坩埚本体1内侧壁与弹性密封圈7对应位置处开设有密封槽71；通过在密封盖11底部设有弹性密封圈7，可在密封盖11盖在坩埚本体1上时，弹性密封圈7对坩埚本体1接缝进行密封，提升密封盖11与坩埚本体1的气密性，减少漏气的风险。
所述支撑杆12中部铰接有顶杆8；所述顶杆8端部为朝向弹性密封圈7内侧壁设置；所述顶杆8端部与弹性密封圈7内侧壁接触；所述顶杆8中部固接有支撑架81；所述支撑架81端部与支撑杆12中部接触；通过在支撑杆12中部设有顶杆8，可在按压弹性空心球6的过程中，顶杆8可对弹性密封圈7中部进行挤压，将弹性密封圈7按压至密封槽71内部，此时可进一步提升弹性密封圈7对坩埚本体1和密封盖11的密封程度。
所述密封槽71内侧壁开设有多个齿状槽9；所述弹性密封圈7侧壁固接有多个齿状凸块91；所述齿状凸块91位置与齿状槽9对应；通过在弹性密封圈7侧壁设有齿状凸块91，可在顶杆8将弹性密封圈7按压至密封槽71内部时，齿状槽9可与齿状凸块91插合在一起，进一步提升弹性密封圈7在密封槽71内部的稳定性。
实施例二
如图5所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述弹性密封圈7内侧壁固接有定位杆92；所述密封槽71内侧壁与坩埚本体1内侧壁之间贯通有定位槽93；通过在弹性密封圈7内侧壁设有定位杆92，可在弹性密封圈7被按压到密封槽71内部时，定位杆92可陷入至定位槽93内部，此时定位杆92可对定位槽93进行定位，减少弹性密封圈7会从密封槽71内部脱出的问题。
工作时，在需要对多种粉末例如：高纯度碳粉和高纯硅粉、以及一定量的高纯添加剂进行加热，使其逐步完成升温、保温、置换氩气、氮气、氢气或其他气氛气体，先将预定量的粉末分为两份，其后在坩埚本体1内部放置一份粉末，然后在密封盖11中部安装的承载架13和第一网板14上也放置一份，之后即需要将承载架13以垂直状态放置在坩埚本体1内部，然后将密封盖11盖在坩埚本体1顶部，此时即可对坩埚本体1进行加热，此时因粉末在坩埚本体1内部分散的较为分散，堆积的粉末表面与坩埚本体1内部气体的接触面积较大，所以粉末在加热时，分开放置粉末的整体对比堆积在一起的粉末加热更加均匀，同时因粉末在坩埚本体1内部为多层次设置，所以在粉末加热升华时，不同的气体会交叉混合在一起，使得经过坩埚本体1加工后生成的气体混合更加均匀；通过在支撑杆12中部设有第一固定板2和第二固定板21，可在使用坩埚本体1对多种粉末进行加热时，使得粉末在坩埚本体1内部有更多的分层，进一步使得粉末的受热均匀程度；通过增加有第一弹性环3在坩埚本体1内部，在向坩埚本体1内部加入粉末时，部分的粉末会落在第一弹性环3上，随后在承载架13放置到坩埚本体1内部的过程中，承载架13会与第一弹性环3边界接触，将承载架13上部分的粉末抖落，使粉末落在承载架13、第一网板14和靠近坩埚本体1底部的第一弹性环3上，该设置可使被加工的粉末在坩埚本体1内部分布的更加均匀，进而使坩埚本体1内部粉末的整体升温速度得到提升；通过在第一弹性环3中部设有第二弹性环4，可使粉末在被加入至坩埚本体1内部时，粉末在坩埚本体1内部的第一弹性环3的顶部堆积更加稳定，减少大量滑落的问题，使得第一弹性环3可更加稳定对粉末进行支撑；通过在第一固定板2、第二固定板21和承载架13之间设有第二网板5，可在第一固定板2和第二固定板21上堆积有粉末时，部分的粉末会从第一固定板2中部的网孔处落下，落在第二网板5、第二固定板21和底部的第一网板14上，使得粉末在第一固定板2、第二固定板21、承载架13和第二网板5上的分布更加均匀，同时第一固定板2中部通孔的设置，可使坩埚本体1内部的气体充分流通，部分气体可从第一固定板2的通孔处对第一固定板2顶部的粉末进行加热，同时通孔的设置可使第一固定板2顶部的粉末可从第一固定板2上落下，落到第二网板5、第二固定板21、承载架13和第一网板14上，同时第一网板14上的部分粉末会落在坩埚本体1的底部，此时粉末在坩埚本体1内部的分布即相较于第一固定板2和承载架13有更多层次的堆积，使得粉末的受热更加均匀；通过在支撑杆12顶部连接有弹性空心球6，可在密封盖11盖在坩埚本体1顶部时，可对弹性空心球6实施按压，进而使得支撑杆12在坩埚本体1内部晃动，此时可使第一固定板2顶部堆积的粉末分布更加均匀，提升粉末在坩埚本体1内部加热时的均匀程度；通过在密封盖11底部设有弹性密封圈7，可在密封盖11盖在坩埚本体1上时，弹性密封圈7对坩埚本体1接缝进行密封，提升密封盖11与坩埚本体1的气密性，减少漏气的风险；通过在支撑杆12中部设有顶杆8，可在按压弹性空心球6的过程中，顶杆8可对弹性密封圈7中部进行挤压，将弹性密封圈7按压至密封槽71内部，此时可进一步提升弹性密封圈7对坩埚本体1和密封盖11的密封程度；通过在弹性密封圈7侧壁设有齿状凸块91，可在顶杆8将弹性密封圈7按压至密封槽71内部时，齿状槽9可与齿状凸块91插合在一起，进一步提升弹性密封圈7在密封槽71内部的稳定性。通过在弹性密封圈7内侧壁设有定位杆92，可在弹性密封圈7被按压到密封槽71内部时，定位杆92可陷入至定位槽93内部，此时定位杆92可对定位槽93进行定位，减少弹性密封圈7会从密封槽71内部脱出的问题。
上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (1)

1.一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置，其特征在于：包括坩埚本体(1)；所述坩埚本体(1)顶部安装有密封盖(11)；所述密封盖(11)中部滑动连接有支撑杆(12)；所述支撑杆(12)底端固接有承载架(13)；所述承载架(13)底部固接有第一网板(14)；所述支撑杆(12)顶端与密封盖(11)顶部之间安装有弹簧；
所述密封盖(11)顶部固接有弹性空心球(6)；所述弹性空心球(6)内侧壁与支撑杆(12)顶端连接；
所述密封盖(11)底部固接有弹性密封圈(7)；所述坩埚本体(1)内侧壁与弹性密封圈(7)对应位置处开设有密封槽(71)；
所述支撑杆(12)中部铰接有顶杆(8)；所述顶杆(8)端部为朝向弹性密封圈(7)内侧壁设置；所述顶杆(8)端部与弹性密封圈(7)内侧壁接触；所述顶杆(8)中部固接有支撑架(81)；所述支撑架(81)端部与支撑杆(12)中部接触；
所述密封槽(71)内侧壁开设有多个齿状槽(9)；所述弹性密封圈(7)侧壁固接有多个齿状凸块(91)；所述齿状凸块(91)位置与齿状槽(9)对应；
所述弹性密封圈(7)内侧壁固接有定位杆(92)；所述密封槽(71)内侧壁与坩埚本体(1)内侧壁之间贯通有定位槽(93)；
所述支撑杆(12)中部设有第一固定板(2)；所述第一固定板(2)与支撑杆(12)固接；所述第一固定板(2)与承载架(13)之间设有第二固定板(21)；所述第二固定板(21)与支撑杆(12)固接；所述第一固定板(2)中部开设有多个通孔；
所述坩埚本体(1)中部固接有多个第一弹性环(3)；
所述第一弹性环(3)中部设有第二弹性环(4)；所述第二弹性环(4)边界与第一弹性环(3)固接；
所述第一固定板(2)与第二固定板(21)和第二固定板(21)与承载架(13)之间设有多个第二网板(5)；所述第二网板(5)侧壁固接有多个连接杆(51)；所述连接杆(51)端部固接在第二固定板(21)上，相互远离的所述连接杆(51)的另一端分别与第一固定板(2)和承载架(13)固接。
CN202210524485.9A 2022-05-13 2022-05-13 一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置 Active CN114877680B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210524485.9A CN114877680B (zh) 2022-05-13 2022-05-13 一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210524485.9A CN114877680B (zh) 2022-05-13 2022-05-13 一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114877680A CN114877680A (zh) 2022-08-09
CN114877680B true CN114877680B (zh) 2023-09-22

Family

ID=82676342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210524485.9A Active CN114877680B (zh) 2022-05-13 2022-05-13 一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114877680B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6336971B1 (en) * 1997-09-12 2002-01-08 Showa Denko Kabushiki Kaisha Method and apparatus for producing silicon carbide single crystal
JP2011032109A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Nippon Steel Corp 炭化珪素単結晶製造装置
CN206511930U (zh) * 2017-01-10 2017-09-22 山东天岳晶体材料有限公司 一种多孔坩埚
CN107723798A (zh) * 2017-10-30 2018-02-23 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种高效率制备高纯半绝缘碳化硅单晶生长装置及方法
CN207608656U (zh) * 2017-11-24 2018-07-13 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 一种pvt法生长大尺寸半绝缘碳化硅单晶的生长装置
CN112919473A (zh) * 2021-04-22 2021-06-08 山西烁科晶体有限公司 一种低氮高纯碳化硅粉料合成的方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6336971B1 (en) * 1997-09-12 2002-01-08 Showa Denko Kabushiki Kaisha Method and apparatus for producing silicon carbide single crystal
JP2011032109A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Nippon Steel Corp 炭化珪素単結晶製造装置
CN206511930U (zh) * 2017-01-10 2017-09-22 山东天岳晶体材料有限公司 一种多孔坩埚
CN107723798A (zh) * 2017-10-30 2018-02-23 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种高效率制备高纯半绝缘碳化硅单晶生长装置及方法
CN207608656U (zh) * 2017-11-24 2018-07-13 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 一种pvt法生长大尺寸半绝缘碳化硅单晶的生长装置
CN112919473A (zh) * 2021-04-22 2021-06-08 山西烁科晶体有限公司 一种低氮高纯碳化硅粉料合成的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN114877680A (zh) 2022-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114877680B (zh) 一种碳化硅立式感应合成炉用气体转换装置
CN103526186B (zh) 一种用于mocvd反应器的晶片载盘及mocvd反应器
CN110822894B (zh) 一种炉膛温度均匀的辊道烧结炉
US3032398A (en) Process and furnace for the continuous production of aluminum nitride
CN102781562A (zh) 用于真空热处理设备的热处理容器
CN217377309U (zh) 固体氢的生产设备
CN109456079A (zh) 矿热炉用保温型微孔电炉炭块的制备方法
CN215139935U (zh) 一种高纯碳化硅粉料合成装置
KR100873574B1 (ko) 유동층 반응기
CN210547943U (zh) 一种炼钢连铸系统的余热回收利用装置
CN108302944A (zh) 一种封闭式烧结矿冷却及余热回收设备
CN114704968A (zh) 一种太阳能热化学反应装置及运行模式
CN214992012U (zh) 一种用于长晶的坩埚组件及长晶炉
JP7482774B2 (ja) 細胞培養装置及び細胞培養方法
CN106278269B (zh) 正压下微波加热制备煤基炭泡沫的装置及方法
CN205151777U (zh) 一种人造碳石墨材料用加热设备
Xiao-tian et al. Distributor-zone reaction in a gas-fluidized bed
CN220103541U (zh) 一种可防止结块的高效沸腾床
CN116136030B (zh) 一种双向生长碳化硅晶体的装置
CN218841719U (zh) 一种石墨烯反应炉
CN218621128U (zh) 一种用于高纯石墨粉排氮的石墨装置
CN220861403U (zh) 一种填料式气固反应炉
CN111926134A (zh) 圆形炉体内外加热还原系统
CN215766472U (zh) 一种金属烧结炉
CN214841995U (zh) 一种活性纳米碳酸钙制备用出料冷却装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant