JP2011029218A - 窒化物半導体発光素子構造とその形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化物半導体発光素子構造は、1以上のn型層(12)と1以上のp型層(14、15)との間に発光層(13)を含み、この発光層は1以上の量子井戸層を含み、少なくとも1の井戸層は、相対的に小さなバンドギャップを有する第1種サブ井戸層(13a1、13a2)の2以上と、これら第1種サブ井戸層に挟まれかつ相対的に大きなバンドギャップを有する第2種サブ井戸層(13a2)の1以上とを含み、各第2種サブ井戸層は4nm以下の厚さを有していて結晶性回復層として機能し、第1種サブ井戸層の合計厚さは4nmよりも大きい。
【選択図】図2
Description
本発明の実施例1においては、図2に示す窒化物半導体発光ダイオード素子が作製される。まず、サファイア基板11が有機金属気相成長(MOCVD)装置の反応炉内にセットされる。そして、その反応炉内に水素を流しながら基板11の温度を1050℃まで上昇させて、基板11の主面(c面)のクリーニングを行なう。
本発明の実施例2は、実施例1に比べて、結晶性回復層としての第2種サブ井戸層13a2の成長条件が変更されたことのみにおいて異なっている。具体的には、本実施例2における第2種サブ井戸層をMOCVDで形成する場合には、キャリアガスとして水素と窒素の混合ガスを用い、TMG、微量のTMI、およびアンモニアが供給される。こうして、2nmの厚さと0.5原子%のIn組成を有するGaNの第2種サブ井戸層が形成される。
本発明の実施例3は、実施例2に比べて、結晶性回復層としての第2種サブ井戸層13a2の形成条件が変更されたことのみにおいて異なっている。具体的には、実施例2の場合と同様に2nmの厚さと0.5原子%のIn組成を有するGaNの第2種サブ井戸層を成長させた後に、さらにその成長直後にTMIとアンモニアのみが供給される。ただし、このときのTMIとアンモニアの供給量は、InNが生成しない範囲内に制限される。
本発明の実施例4は、実施例3に比べて、井戸層13の形成条件が変更されたことのみにおいて異なっている。具体的には、本実施例4においては、まずIn0.20Ga0.80Nの第1種サブ井戸層13a1の成長直後に、InNが成長しない供給量範囲内でTMIとアンモニアのみが供給される。続いて、実施例3の場合と同様に、本実施例4においても第2種サブ井戸層13a2の成長直後にInNが成長しない供給量範囲内でTMIとアンモニアのみが供給される。しかし、本実施例4においては、さらに続いてIn0.20Ga0.80Nの第1種サブ井戸層13a3を成長させた直後にInNが成長しない供給量範囲内でTMIとアンモニアのみが供給される。
本発明の実施例5は、実施例3に比べて、第1種サブ井戸層13a1、13a2の形成条件が変更されたことのみにおいて異なっている。具体的には、本実施例5においては、まずIn1.20Ga0.80Nの第1種サブ井戸層13a1を成長させた直後に微量の水素とアンモニアのみを供給する。続いて、実施例3の場合と同様に、本実施例5においても第2種サブ井戸層13a2を成長させた直後にInNが生じない供給量範囲内でTMIとアンモニアのみが供給される。しかし、本実施例5では、さらに続いてIn0.20Ga0.80Nの第1種サブ井戸層13a3を成長させた直後に微量の水素とアンモニアのみが供給される。
本発明の実施例6は、実施例1〜5に比べて、MQW発光層が設けられることのみにおいて異なっている。具体的には、基板温度700℃において、キャリアガスの窒素に加えて、TMG、TMI、およびアンモニアを供給して厚さ4nmのIn0.20Ga0.80N井戸層を形成し、TMIの供給を止めて厚さ6nmのGaN障壁層を形成し、これらの井戸層と障壁層を交互に5周期だけ積層した後に、実施例1から5のいずれかと同様に井戸層13が形成される。
本発明の実施例7も、実施例1〜5に比べて、MQW発光層が設けられることのみにおいて異なっている。具体的には、基板の温度を700℃に維持したままで、キャリアガスとしての窒素に加えて、原料ガスとしてのアンモニア、TMGおよびTMIを反応炉内に流して、厚さ3nmのIn0.20Ga0.80N層(第1種サブ井戸層)、厚さ2nmのGaN結晶性回復層(第2種サブ井戸層)、および厚さ3nmのIn0.20Ga0.80N層(第1種サブ井戸層)が積層された井戸層を形成し、続いて厚さ6nmのGaN障壁層を形成し、これらの井戸層と障壁層を3周期積層することによって発光層を形成する。
Claims (20)
- 窒化物半導体発光素子構造であって、
1以上のn型層と1以上のp型層との間に発光層を含み、
前記発光層は1以上の量子井戸層を含み、
少なくとも1の前記量子井戸層は、相対的に小さなバンドギャップを有する第1種サブ井戸層の2以上と、前記第1種サブ井戸層に挟まれかつ相対的に大きなバンドギャップを有する第2種サブ井戸層の1以上とを含み、
各前記第2種サブ井戸層は4nm以下の厚さを有していて結晶性回復層として機能し、
前記第1種サブ井戸層の合計厚は4nmよりも大きいことを特徴とする窒化物半導体発光素子構造。 - 前記発光層は前記井戸層に加えて1以上の障壁層をも含み、各前記障壁層は4nmより大きい厚さを有していることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 各前記第2種サブ井戸層の厚さは2nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 各前記第2種サブ井戸層の厚さは1nm以下であることを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記第2種サブ井戸層はInGaN、GaN、およびInドープGaNのいずれかからなることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 各前記第1種サブ井戸層の厚さが5nm以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれか記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 少なくともp型層に最も近い前記井戸層は前記第2種サブ井戸層を含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記第1種サブ井戸層および第2種サブ井戸層を含む井戸層に対してn型層に接している層はInドープGaNであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記第1種サブ井戸層および第2種サブ井戸層を含む井戸層に対してp型層に接している層はInドープGaNであることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記1以上のp型層は前記発光層側に最も近いAlGaN層を含んでいることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記発光層の一方側に接してGaNまたはAlGaNからなる蒸発防止層が形成されていることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記AlGaNの層は1×1019/cm3以上のp型ドーパント濃度を有していることを特徴とする請求項10または11に記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記p型ドーパントはMgであることを特徴とする請求項12に記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 前記窒化物半導体発光素子構造はc面の主面を有するサファイヤ基板上に形成されていることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造。
- 請求項1から14のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子構造の形成方法であって、
前記第2種サブ井戸層は水素を含むキャリアガスを利用した有機金属気相成長法によって結晶成長されられることを特徴とする形成方法。 - 前記第2種サブ井戸層の結晶成長中にトリメチルインジウムまたはトリエチルインジウムが供給されることを特徴とする請求項15に記載の形成方法。
- 前記第2種サブ井戸層の結晶長後にトリメチルインジウムまたはトリエチルインジウムが供給されることを特徴とする請求項16に記載の形成方法。
- 前記第1種サブ井戸層も有機金属気相成長法によって結晶成長させられ、前記第2種サブ井戸層は前記第1種サブ井戸層に比べて高い基板温度のもとで結晶成長させられることを特徴とする請求項15から17のいずれかに記載の形成方法。
- 前記第1種サブ井戸層井戸層の成長前、前記第1種サブ井戸層の成長と前記第2種サブ井戸層の成長との間、または前記第2種サブ井戸層の成長後においてトリメチルインジウムまたはトリエチルインジウムが供給されることを特徴とする請求項18に記載の形成方法。
- 前記第1種サブ井戸層の成長と前記第2種サブ井戸層の成長との間、または前記第2種サブ井戸層の成長後において水素が供給されることを特徴とする請求項18または19に記載の形成方法。
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