JP2011029044A - 真空排気方法及び真空装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、真空室内に移動装置を備えた真空装置において、前記移動装置の移動に伴って、摺動する摺動機構を備え、当該摺動機構の被摺動部を、活性金属材料を含むゲッタ面とし、摺動部を当該ゲッタ面を摩擦する摩擦部材とすることを特徴とする真空装置、及び移動機構の移動に伴って、活性金属材料表面を摩擦することで、ゲッタ面を新生する真空排気方法を提案する。
【選択図】 図2
Description
2 真空排気摺動材
3 可動子
4 直線駆動機構
5 摺動パッド取付部
6 直線案内
7 テーブル
8 電子銃室
9 コンデンサレンズ室
10 試料室
11 中間室
12 予備排気室
13 試料交換室
14 電子銃
15 引出電極
16 加速電極
17 固定絞り
18 コンデンサレンズ
19 偏向コイル
20 対物レンズ
21 対物レンズ絞り
22,23 ゲートバルブ
24〜28 真空ポンプ
29 電子線
30 反射電子・二次電子
31 反射電子・二次電子検出器
32 排気バイパス
33 試料室真空計
34 X軸テーブル
35 Y軸テーブル
36 ウエハ
37 切り欠き付き摺動パッド
38 押し付け機構
39 押し付け力検出センサ
40 真空用液体塗布部
41 磨耗粉溜め込み溝
Claims (7)
- 真空室内に移動装置を備えた真空装置において、
前記移動装置の移動に伴って、摺動する摺動機構を備え、当該摺動機構の被摺動部を、活性金属材料を含むゲッタ面とし、摺動部を当該ゲッタ面を摩擦する摩擦部材とすることを特徴とする真空装置。 - 請求項1において、
前記活性金属材料より、前記摩擦部材を硬い材料で構成したことを特徴とする真空装置。 - 請求項1において、
前記摩擦部材の前記ゲッタ面との接触部に、切り欠きを設けたことを特徴とする真空装置。 - 請求項1において、
前記摩擦部材の前記ゲッタ面に押圧する力を制御する制御装置を備えたことを特徴とする真空装置。 - 請求項1において、
前記活性金属材料の下方に、溝を設けたことを特徴とする真空装置。 - 請求項1において、
前記活性金属材料の下方に、低蒸気圧液体を塗布したことを特徴とする真空装置。 - 移動装置が設けられた真空室の真空排気を行う真空排気方法において、前記移動装置の移動に伴って、活性金属材料に摩擦部材を摺動させ、当該活性金属材料の摩擦面をゲッタ面とすることを特徴とする真空排気方法。
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