JP2011019159A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011019159A5 JP2011019159A5 JP2009163672A JP2009163672A JP2011019159A5 JP 2011019159 A5 JP2011019159 A5 JP 2011019159A5 JP 2009163672 A JP2009163672 A JP 2009163672A JP 2009163672 A JP2009163672 A JP 2009163672A JP 2011019159 A5 JP2011019159 A5 JP 2011019159A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- arm portion
- width
- base
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009163672A JP5341647B2 (ja) | 2009-07-10 | 2009-07-10 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009163672A JP5341647B2 (ja) | 2009-07-10 | 2009-07-10 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011019159A JP2011019159A (ja) | 2011-01-27 |
| JP2011019159A5 true JP2011019159A5 (enExample) | 2012-08-09 |
| JP5341647B2 JP5341647B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43596599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009163672A Active JP5341647B2 (ja) | 2009-07-10 | 2009-07-10 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5341647B2 (enExample) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5732903B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2015-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、ジャイロセンサー及び電子機器 |
| TW201242246A (en) | 2011-02-25 | 2012-10-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, vibration gyro element, vibration gyro sensor, and electronic apparatus |
| JP6349622B2 (ja) | 2013-03-14 | 2018-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| US9257959B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-02-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, sensor, and moving object |
| JP6107333B2 (ja) | 2013-03-29 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6155897B2 (ja) | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
| JP2015023422A (ja) | 2013-07-18 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP2015097366A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6375611B2 (ja) * | 2013-11-16 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6340774B2 (ja) * | 2013-11-16 | 2018-06-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6375622B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
| JP5885825B1 (ja) | 2014-12-25 | 2016-03-16 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 |
| JP5855221B1 (ja) * | 2014-12-26 | 2016-02-09 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子 |
| JP6571339B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2019-09-04 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
| JP6552225B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2019-07-31 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
| JP6716283B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2020-07-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
| JP6614227B2 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP7060073B2 (ja) * | 2020-12-23 | 2022-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437488A (en) * | 1977-07-20 | 1979-03-19 | Seiko Epson Corp | Tuning fork type crystal oscillator |
| JP4356366B2 (ja) * | 2003-06-10 | 2009-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
| JP2007116563A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Hitachi Ltd | 水晶発振器 |
-
2009
- 2009-07-10 JP JP2009163672A patent/JP5341647B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011019159A5 (enExample) | ||
| DE602007004102D1 (de) | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten | |
| RU2011110052A (ru) | Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство | |
| JP2011061276A5 (enExample) | ||
| JP2010063144A5 (enExample) | ||
| JP2011114403A5 (ja) | 発振器、及び発振器の温度補償方法 | |
| JP2012217140A5 (enExample) | ||
| JP2015023434A5 (enExample) | ||
| JP2012124677A5 (enExample) | ||
| JP2014096631A (ja) | 自励発振回路 | |
| JP2010232932A5 (ja) | 振動片 | |
| JP2012129679A5 (ja) | 発振器 | |
| JP2009100480A5 (enExample) | ||
| JP2012160996A5 (enExample) | ||
| JP2012054946A5 (enExample) | ||
| JP2008259216A5 (enExample) | ||
| JP2013070312A5 (enExample) | ||
| JP2013146004A5 (enExample) | ||
| JP5080616B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
| JP2013258452A5 (enExample) | ||
| JP2006246449A5 (enExample) | ||
| JP2008271565A5 (enExample) | ||
| JP2014171149A5 (enExample) | ||
| JP2010081473A5 (enExample) | ||
| JP2005123828A (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |