JP2011018864A - 位置検出装置、基板重ね合わせ装置及び位置検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハ上の特定位置座標を検出する位置検出装置は、対物レンズを含む光学系と、少なくとも対物レンズを透過する照射光を発する照明系と、光学系を介して被検査対象の観察画像を取得する撮像素子と、光学系及び照明系の設計値に基づいて予め作成された収差情報を格納する格納部と、撮像素子により取得された観察画像から特定の位置座標を検出し、収差情報を用いて位置座標を修正して出力する座標出力部とを備える。
【選択図】図1
Description
Claims (9)
- 対物レンズを含む光学系と、
少なくとも前記対物レンズを透過する照射光を発する照明系と、
前記光学系を介して被検査対象の観察画像を取得する撮像素子と、
前記光学系及び前記照明系の設計値に基づいて予め作成された収差情報を格納する格納部と、
前記撮像素子により取得された前記観察画像から特定の位置座標を検出し、前記収差情報を用いて前記位置座標を修正して出力する座標出力部と
を備える位置検出装置。 - 前記座標出力部は、既知のチャートを前記撮像素子によって撮像して取得されるチャート画像に基づいて前記収差情報を補正し、補正された前記収差情報を用いて前記位置座標を修正する請求項1に記載の位置検出装置。
- 前記座標出力部は、前記収差情報を用いて前記位置座標を修正した後に、さらに、既知のチャートを前記撮像素子によって撮像して取得されるチャート画像に基づいて得られる補正情報を用いて修正された前記位置座標を補正する請求項1に記載の位置検出装置。
- 前記チャート画像の取得は、予め定められたタイミングにおいて複数回実行される請求項2または3に記載の位置検出装置。
- 前記チャートを観察位置に入出させる搬送機構をさらに備える請求項2から4のいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記搬送機構は、前記被検査対象を載置し、前記光学系の光軸に対して直交する平面内で移動するステージを含み、
前記チャートは前記ステージに対して相対的に固定されている請求項5に記載の位置検出装置。 - 前記光学系、前記照明系及び前記撮像素子は、前記被検査対象を挟んで対向するように2組設けられ、
前記収差情報は、それぞれの組で独立して実行される位置座標の修正に共通に用いられる請求項1から6のいずれか1項に記載の位置検出装置。 - 前記被検査対象は基板であり、複数の前記基板を位置合わせして重ね合わせる、請求項1から7のいずれか1項に記載の位置検出装置を備える基板重ね合わせ装置。
- 対物レンズを含む光学系と、少なくとも前記対物レンズを透過する照射光を発する照明系とを備える位置検出装置を用いた位置検出方法であって、
前記光学系及び前記照明系の設計値に基づいて予め作成された収差情報を格納部に格納する格納ステップと、
前記光学系を介して被検査対象の観察画像を撮像素子で取得する画像取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された前記観察画像から特定の位置座標を検出する検出ステップと、
前記格納ステップで格納された前記収差情報を用いて前記位置座標を修正して出力する座標出力ステップと
を有する位置検出方法。
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