JP2011018864A5 - 位置検出装置、基板重ね合わせ装置、位置検出方法、及び基板重ね合わせ方法 - Google Patents

Claims (20)

1. 基板を観察するための光学系と、
   前記光学系を介して、前記基板に設けられたアライメントマークの観察画像を取得する撮像素子と、
   前記撮像素子によって撮像された画像に基づいて修正された前記光学系の収差情報を用いて、前記観察画像から検出される前記アライメントマークの位置座標を修正して出力する座標出力部と、
   を備える位置検出装置。
2. 前記画像は、既知のチャートを前記撮像素子によって撮像して取得されるチャート画像である請求項１に記載の位置検出装置。
3. 前記チャート画像の取得は、予め定められたタイミングにおいて複数回実行される請求項２に記載の位置検出装置。
4. 前記チャートを観察位置に入出させる搬送機構をさらに備える請求項２または３に記載の位置検出装置。
5. 前記搬送機構は、前記基板を載置し、前記光学系の光軸に対して直交する平面内で移動するステージを含み、
   前記チャートは前記ステージに対して相対的に固定されている請求項４に記載の位置検出装置。
6. 前記収差情報は、設計値に基づいて作成される請求項１から５のいずれか一項に記載の位置検出装置。
7. 前記収差情報は、物体面と像面における互いに対応する点の関係を含む請求項６に記載の位置検出装置。
8. 前記収差情報を格納する格納部を備え、
   前記座標出力部は、前記格納部に格納された前記収差情報を用いる請求項１から７のいずれか一項に記載の位置検出装置。
9. 少なくとも前記光学系の対物レンズを透過する照射光を発する照明系を備え、
   前記格納部は、前記照射光に依存する前記収差情報を格納する請求項８に記載の位置検出装置。
10. 前記光学系及び前記撮像素子は、前記基板を挟んで対向するように２組設けられ、
    前記収差情報は、それぞれの組で独立して実行される位置座標の修正に共通に用いられる請求項１から９のいずれか１項に記載の位置検出装置。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載の位置検出装置を備え、
    前記位置検出装置から出力された位置座標に基づいて複数の前記基板を位置合わせして重ね合わせる基板重ね合わせ装置。
12. 基板を観察するための光学系を備える位置検出装置を用いた位置検出方法であって、
    前記光学系を介して、前記基板に設けられたアライメントマークの観察画像を撮像素子で取得する観察画像取得ステップと、
    前記画像取得ステップで取得された前記観察画像から前記アライメントマークの位置座標を検出する検出ステップと、
    前記撮像素子によって撮像された画像に基づいて修正された前記光学系の収差情報を用いて、前記位置座標を修正して出力する座標出力ステップと、
    を有する位置検出方法。
13. 前記撮像素子によって既知のチャートを撮像して、前記画像としてのチャート画像を取得するチャート画像取得ステップを有する請求項１２に記載の位置検出方法。
14. 前記チャート画像取得ステップを、予め定められたタイミングにおいて複数回実行する請求項１３に記載の位置検出方法。
15. 前記チャート画像取得ステップは、前記チャートを観察位置に入出させる搬送ステップを含む請求項１３または１４に記載の位置検出方法。
16. 前記収差情報は、設計値に基づいて作成される請求項１２から１５のいずれか１項に記載の位置検出方法。
17. 前記収差情報は、物体面と像面における互いに対応する点の関係を含む請求項１６に記載の位置検出方法。
18. 前記収差情報は、少なくとも前記光学系の対物レンズを透過する照射光を発する照明系の、前記照射光に依存する請求項１２から１７のいずれか１項に記載の位置検出方法。
19. 前記収差情報を格納する格納部に格納する格納ステップを有する１２から１８のいずれか１項に記載の位置検出方法。
20. 請求項１２から１９のいずれか１項に記載の位置検出方法と、
    前記位置検出方法により出力された位置座標に基づいて複数の前記基板を位置合わせして重ね合わせる重ね合わせステップと
    を含む基板重ね合わせ方法。