JP2011017649A - 光スペクトル計測装置 - Google Patents
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Abstract
幅広い周波数範囲での掃引が可能な光スペクトル計測装置を提供する。
【解決手段】
コム光密度低減器12は、周波数コム光要素を、それぞれ2つごとに選択した2つの低密度周波数コム光C1,C2に配分し、C1,C2の1つを順次選択して出射し、掃引用変調器13は、C1,C2を入射し掃引を行い、ビート生成器14は、掃引用変調器13から出射された低密度周波数コム光C1,C2に特定周波数の参照光を加えてビートを生成し、受光器14はビート生成器13の出射光を検出する。
【選択図】 図1
Description
置が知られている(特許文献1等参照)。
この光スペクトル計測装置8では、光コム光源81が、たとえば4THzの範囲で、コム間隔が10GHzの光周波数コムを発生する。
SSB光変調器83は、波長可変フィルタ82からの成分光を入射し、所定掃引幅(10GHz)で周波数掃引(たとえば数kHzから1MHz程度)された信号を試料85に照射する。そして、受光器84は、試料85からの透過光を受光する。
図7の光スペクトル計測装置8では、図8(A)に示すように、計測範囲が4THzの設定してあり、コム間隔は概ね10GHzである。波長可変フィルタ82により、光周波数コムのうちから1つのコム成分(図8(B)ではFn)を抽出する(切り出す)。この光スペクトル計測装置8によれば、計測範囲は大幅に拡大する。
また、図7に示した光スペクトル計測装置8では、波長可変フィルタ82では、1つのコムのみを切り出さねばならないが、このようなフィルタを安価に作成することは容易ではない。
〔1〕
周波数コム光源と、コム光密度低減器と、掃引用変調器と、ビート生成器と、受光器とを備え、前記ビート生成器の入射光側に試料がセットされる光スペクトル計測装置において、
前記コム光密度低減器は、前記周波数コム光源が生成する周波数コム光を構成する周波数コム光要素を、それぞれ所定数ごとに選択した複数の低密度周波数コム光(典型的には、Nごとに選択したNの低密度周波数コム光。ただし、Nは2以上の整数)に配分し、当該分配した低密度周波数コム光の中から1つを順次選択して出射し、
前記掃引用変調器は、前記コム光密度低減器からの低密度周波数コム光を入射し、当該低密度周波数コム光を構成する周波数コム光要素のそれぞれについて掃引を行い、
前記ビート生成器は、前記各周波数コム光要素がそれぞれ掃引されてなる前記掃引用変調器から出射された低密度周波数コム光に特定周波数の参照光を加えてビートを生成し、
前記受光器は前記ビート生成器の出射光を検出する、
ことを特徴とする光スペクトル計測装置。
前記コム光密度低減器が、1または2以上の、インターリーバと光切換器との組から構成され、
前記インターリーバは、前記周波数コム光源が生成する周波数コム光を、それぞれ所定数ごとに選択した複数の低密度周波数コム光に配分して出射し、
前記光切換器は、インターリーバから出射される前記複数の低密度周波数コム光の中から1つを順次選択して出射する、
ことを特徴とする〔1〕に記載の光スペクトル計測装置。
前記掃引用変調器として光位相変調器を用いたことを特徴とする〔1〕または〔2〕に記載の光スペクトル計測装置。
前記受光器は、
前記ビート生成器の出射光を受光して電気信号に変換する光電変換器と、
前記光電変換器の低周波成分を通過させるローパスフィルタと、
を含むことを特徴とする〔1〕から〔3〕の何れかに記載の光スペクトル計測装置。
これにより、安定した測定結果を得ることができる。
図1において、光スペクトル計測装置1は、周波数コム光源11と、コム光密度低減器12と、掃引用変調器13と、ビート生成器14と、受光器15と、制御装置16と、表示出力装置17とがこの順で接続されおり、ビート生成器14の入射光側には試料18がセットされている。
コム光密度低減器12は、制御装置16からの制御信号SWにより動作するもので、周波数コム光L1を構成する周波数コム光要素を、それぞれ所定数ごとに選択した複数の低密度周波数コム光(典型的には、Nごとに選択したNの低密度周波数コム光。ただし、Nは2以上の整数)に配分し、当該分配した低密度周波数コム光の中から1つを順次選択して出射する。
C1:{X0,X0±N,X0±2N,・・・・},
C2:{X0±1,X0±(N+1),X0±(2N+1),・・・・},
C3:{X0±2,X0±(N+2),X0±(2N+2),・・・・},
・・・
CN:{X0±(N−1),X0±(N+(N−1)),X0±(2N+(N−1)),・・・・}
表示出力装置17は、制御装置16による解析をディスプレイに表示し、あるいはプリンタに出力する。
図4における、光スペクトル計測装置1は、周波数コム光源11と、コム光密度低減器12と、掃引用変調器13と、ビート生成器14と、受光器15と、制御装置16と、表示出力装置17とがこの順で接続されおり、ビート生成器14の入射光側には試料18がセットされている。
11 周波数コム光源
12 コム光密度低減器
12A,12B コム光密度低減モジュール
13 掃引用変調器
14 ビート生成器
15 受光器
16 制御装置
17 表示出力装置
18 試料
121,121A,121B インターリーバ
122,122A,122B 光切換器
141 参照用光源
142 合波器
151 光電変換器
152 ローパスフィルタ
Claims (4)
- 周波数コム光源と、コム光密度低減器と、掃引用変調器と、ビート生成器と、受光器とを備え、前記ビート生成器の入射光側に試料がセットされる光スペクトル計測装置において、
前記コム光密度低減器は、前記周波数コム光源が生成する周波数コム光を構成する周波数コム光要素を、それぞれ所定数ごとに選択した複数の低密度周波数コム光(典型的には、Nごとに選択したNの低密度周波数コム光。ただし、Nは2以上の整数)に配分し、当該分配した低密度周波数コム光の中から1つを順次選択して出射し、
前記掃引用変調器は、前記コム光密度低減器からの低密度周波数コム光を入射し、当該低密度周波数コム光を構成する周波数コム光要素のそれぞれについて掃引を行い、
前記ビート生成器は、前記各周波数コム光要素がそれぞれ掃引されてなる前記掃引用変調器から出射された低密度周波数コム光に特定周波数の参照光を加えてビートを生成し、
前記受光器は前記ビート生成器の出射光を検出する、
ことを特徴とする光スペクトル計測装置。 - 前記コム光密度低減器が、1または2以上の、インターリーバと光切換器との組から構成され、
前記インターリーバは、前記周波数コム光源が生成する周波数コム光を、それぞれ所定数ごとに選択した複数の低密度周波数コム光に配分して出射し、
前記光切換器は、インターリーバから出射される前記複数の低密度周波数コム光の中から1つを順次選択して出射する、
ことを特徴とする請求項1に記載の光スペクトル計測装置。 - 前記掃引用変調器として光位相変調器を用いたことを特徴とする請求項1または2に記載の光スペクトル計測装置。
- 前記受光器は、
前記ビート生成器の出射光を受光して電気信号に変換する光電変換器と、
前記光電変換器の低周波成分を通過させるローパスフィルタと、
を含むことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の光スペクトル計測装置。
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