JP2011017557A - 力学量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量に応じた電気信号を出力するセンシング部20、30を備えたセンサ基板14と、センシング部20、30から出力された電気信号を処理し、センサ基板14に積層される第1回路基板50と、を備えた力学量センサであって、センサ基板14に、第1回路基板50が接合される一面と反対側の一面に積層部材60を接合し、第1回路基板50および積層部材60を、センサ基板14全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に高くするか、もしくはセンサ基板14全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数を共に低くする。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は本実施形態における力学量センサの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。
上記第1実施形態では、第1、第2回路基板50、60は、SOI基板14全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に高くされ、第1回路基板50全体の熱膨張係数と半導体層13全体の熱膨張係数との差が、第2回路基板60全体の熱膨張係数と支持基板11全体の熱膨張係数との差より大きくされており、かつ支持基板11全体の熱膨張係数が半導体層13全体の熱膨張係数より高くされている力学量センサの例について説明したが、もちろんこれに限定されるものではなく、SOI基板14および第1、第2回路基板50、60全体の熱膨張係数は適宜変更することができる。
11 支持基板
13 半導体層
14 SOI基板
20 可動部
21 可動電極
30 固定部
31 固定電極
50 第1回路基板
60 第2回路基板
81 実装基板
Claims (8)
- 物理量に応じた電気信号を出力するセンシング部(20、30)を備えたセンサ基板(14)と、
前記センシング部(20、30)から出力された前記電気信号を処理し、前記センサ基板(14)に積層される第1回路基板(50)と、を備えた力学量センサであって、
前記センサ基板(14)には、前記第1回路基板(50)が接合される一面と反対側の一面に積層部材(60)が接合され、
前記第1回路基板(50)および前記積層部材(60)は、前記センサ基板(14)全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に高くされているか、もしくは前記センサ基板(14)全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に低くされていることを特徴とする力学量センサ。 - 前記センサ基板(14)は、第1基板(11)と、前記第1基板(11)の一面側に配置された第2基板(13)と、を有した基板を用いて構成されており、前記第1基板(11)側に前記積層部材(60)が接合されていると共に、前記第2基板(13)側に前記第1回路基板(50)が接合されており、
前記第1回路基板(50)および前記積層部材(60)は、前記センサ基板(14)全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に高くされており、
前記第1回路基板(50)全体の熱膨張係数と前記第2基板(13)全体の熱膨張係数との差が、前記積層部材(60)全体の熱膨張係数と前記第1基板(11)全体の熱膨張係数との差より大きく、かつ前記第1基板(11)全体の熱膨張係数が前記第2基板(13)全体の熱膨張係数より高くされていることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ。 - 前記センサ基板(14)は、第1基板(11)と、前記第1基板(11)の一面側に配置された第2基板(13)と、を有した基板を用いて構成されており、前記第1基板(11)側に前記積層部材(60)が接合されていると共に、前記第2基板(13)側に前記第1回路基板(50)が接合されており、
前記第1回路基板(50)および前記積層部材(60)は、前記センサ基板(14)全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に高くされており、
前記第1回路基板(50)全体の熱膨張係数と前記第2基板(13)全体の熱膨張係数との差が、前記積層部材(60)全体の熱膨張係数と前記第1基板(11)全体の熱膨張係数との差より小さく、かつ前記第1基板(11)全体の熱膨張係数が前記第2基板(13)全体の熱膨張係数より低くされていることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ。 - 前記センサ基板(14)は、第1基板(11)と、前記第1基板(11)の一面側に配置された第2基板(13)と、を有した基板を用いて構成されており、前記第1基板(11)側に前記積層部材(60)が接合されていると共に、前記第2基板(13)側に前記第1回路基板(50)が接合されており、
前記第1回路基板(50)および前記積層部材(60)は、前記センサ基板(14)全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に低くされており、
前記第1回路基板(50)全体の熱膨張係数と前記第2基板(13)全体の熱膨張係数との差が、前記積層部材(60)全体の熱膨張係数と前記第1基板(11)全体の熱膨張係数との差より大きく、かつ前記第1基板(11)全体の熱膨張係数が前記第2基板(13)全体の熱膨張係数より低くされていることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ。 - 前記センサ基板(14)は、第1基板(11)と、前記第1基板(11)の一面側に配置された第2基板(13)と、を有した基板を用いて構成されており、前記第1基板(11)側に前記積層部材(60)が接合されていると共に、前記第2基板(13)側に前記第1回路基板(50)が接合されており、
前記第1回路基板(50)および前記積層部材(60)は、前記センサ基板(14)全体の熱膨張係数に対して全体の熱膨張係数が共に低くされており、
前記第1回路基板(50)全体の熱膨張係数と前記第2基板(13)全体の熱膨張係数との差が、前記積層部材(60)全体の熱膨張係数と前記第1基板(11)全体の熱膨張係数との差より小さく、かつ前記第1基板(11)全体の熱膨張係数が前記第2基板(13)全体の熱膨張係数より高くされていることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ。 - 前記第1回路基板(50)には貫通孔(53)が形成され、前記貫通孔(53)には貫通電極(54)が埋め込まれており、前記貫通電極(54)の熱膨張係数が前記第1回路基板(50)の熱膨張係数と異なっていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか
1つに記載の力学量センサ。 - 前記積層部材(60)は第2回路基板であり、前記第1回路基板(50)は前記センシング部(20、30)から出力された前記電気信号を処理し、前記第2回路基板は前記第1回路基板(50)にて処理された当該電気信号を外部に出力することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の力学量センサ。
- 前記第2回路基板には貫通孔(63)が形成され、前記貫通孔(63)には貫通電極(64)が埋め込まれており、前記貫通電極(64)の熱膨張係数が前記第2回路基板の熱膨張係数と異なっていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の力学量センサ。
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---|---|---|---|---|
CN104022084A (zh) * | 2013-03-01 | 2014-09-03 | 精工爱普生株式会社 | 电子设备的模块、电子设备、以及移动体 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07283541A (ja) * | 1994-04-14 | 1995-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック部品 |
JPH0815300A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Takata Kk | 衝突検出センサ |
JP2006275660A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体センサおよびその製造方法 |
JP2007313594A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Omron Corp | 積層デバイス、およびその製造方法 |
JP2008051685A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Dainippon Printing Co Ltd | センサーユニットおよびその製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07283541A (ja) * | 1994-04-14 | 1995-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック部品 |
JPH0815300A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Takata Kk | 衝突検出センサ |
JP2006275660A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体センサおよびその製造方法 |
JP2007313594A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Omron Corp | 積層デバイス、およびその製造方法 |
JP2008051685A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Dainippon Printing Co Ltd | センサーユニットおよびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104022084A (zh) * | 2013-03-01 | 2014-09-03 | 精工爱普生株式会社 | 电子设备的模块、电子设备、以及移动体 |
JP2014169868A (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-18 | Seiko Epson Corp | モジュール、電子機器、および移動体 |
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