JP2011009677A - 半導体ウエハ処理方法および半導体ウエハ乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウエハの洗浄工程後に、半導体ウエハの複数の面へガスを吹き付ける乾燥工程を行う半導体ウエハ処理方法であって、乾燥工程は、半導体ウエハへガスを吹き付ける際に、複数方向からのガスが半導体ウエハの主面上において交わらないように、ガスの吹き付けを制御することとする。また、半導体ウエハの複数の面へガスを吹き付ける半導体ウエハ乾燥装置であって、半導体ウエハの一側面側からガスを噴射させる第1噴射パイプと、半導体ウエハの他の側面側からガスを噴射させる第2噴射パイプとを備え、第1噴射パイプおよび第2噴射パイプのうち少なくとも1つが移動しながら噴射可能であることとする。
【選択図】 図2
Description
また、減圧部25aの中央底部には、シリコンウエハ1の乾燥に伴って発生する液滴を排水するための配水管26が溶接等で取り付けられている。さらに、減圧部25aの側面部または底部には、減圧配管27が溶接等で取り付けられている。この減圧配管27の他端部には真空ポンプ等の減圧手段28が接続されており、減圧部25aの内部が1×104〜8×104Pa程度に減圧されるようにしてある。
2:カセット
3:カセットのサイドバー
5:上側噴射パイプ
6a:左側噴射パイプ
6b:右側噴射パイプ
10a:上側噴射パイプによりブローされたガスの噴出方向の中心線
10b:左側噴射パイプによりブローされたガスの噴出方向の中心線
12a、12b:上側噴射パイプによりブローされたガスの噴出方向の中心線と左側噴射パイプによりブローされたガスの噴出方向の中心線との交点
15:載置台
16:下角側噴射パイプ
20:洗浄槽
21:洗浄液
22:排液配管
θ:傾斜角度
25:底部吸引容器
25a:減圧部
25b:載置部
25c:側面部
26:排水管
27:減圧配管
28:減圧手段
Claims (8)
- 半導体ウエハの洗浄工程後に、前記半導体ウエハの複数の面へガスを吹き付ける乾燥工程を行う半導体ウエハ処理方法であって、前記乾燥工程は、前記半導体ウエハへガスを吹き付ける際に、複数方向からのガスが前記半導体ウエハの主面上において交わらないように、ガスの吹き付けを制御することを特徴とする半導体ウエハ処理方法。
- ガスの吹き付けを前記半導体ウエハの左右側面毎に片側から行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハ処理方法。
- ガスの吹き付けを前記半導体ウエハの一側面側の一端から他端に移動させながら行うことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体ウエハ処理方法。
- 前記半導体ウエハの複数を立てた状態でカセットに収容し、前記カセットを水平面に対し傾斜させながら、ガスの吹き付けを行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体ウエハ処理方法。
- 前記ガスが空気または窒素ガスであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体ウエハ処理方法。
- 前記ガスの温度が80℃以上250℃以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体ウエハ処理方法。
- 半導体ウエハの複数の面へガスを吹き付ける半導体ウエハ乾燥装置であって、前記半導体ウエハの一側面側からガスを噴射させる第1噴射パイプと、前記半導体ウエハの他の側面側からガスを噴射させる第2噴射パイプとを備え、前記第1噴射パイプおよび前記第2噴射パイプのうち少なくとも1つが移動しながら噴射可能であることを特徴とする半導体ウエハ乾燥装置。
- 前記半導体ウエハはカセットに収容されており、前記カセットは空気の吸引が可能な容器内に位置していることを特徴とする請求項7に記載の半導体ウエハ乾燥装置。
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6159339U (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-21 | ||
JPH0831788A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-02-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の洗浄処理方法並びに洗浄処理装置 |
JP2006054344A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Kyocera Corp | シリコンウェハの乾燥方法 |
JP2007305949A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Oriental Kogyo Kk | シリコンウェハー用洗浄装置 |
JP2007335720A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Toho Kasei Kk | 清浄気体加熱装置及び基板乾燥装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6159339U (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-21 | ||
JPH0831788A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-02-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の洗浄処理方法並びに洗浄処理装置 |
JP2006054344A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Kyocera Corp | シリコンウェハの乾燥方法 |
JP2007305949A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Oriental Kogyo Kk | シリコンウェハー用洗浄装置 |
JP2007335720A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Toho Kasei Kk | 清浄気体加熱装置及び基板乾燥装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015142890A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池基板の製造方法および太陽電池基板の製造装置 |
KR20190106372A (ko) * | 2018-03-09 | 2019-09-18 | (주)포빅스 | 건조효율이 향상된 웨이퍼 건조장치 |
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