JP2011009281A - 半導体ウエハの製造方法及び半導体ウエハ - Google Patents
半導体ウエハの製造方法及び半導体ウエハ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体基板101の表面にグラフェン層110を設ける工程と、グラフェン層110の炭素原子の配列を示すハニカム構造の中心に、単結晶半導体層の結晶を構成する一の元素を吸着させる工程と、この一の元素に前記結晶を構成する当該元素とは異なる他の元素を結合させ、前記結晶の第1層114を形成する工程と、前記第1層の表面にさらに所定の層数の前記結晶半導体層を結晶成長する工程を備える。
【選択図】図5
Description
点として分子線エピタキシ (MBE:Molecular Beam Epitaxy)や有機金属化学気相成長(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)などの非平衡エピタキシャル法を用いて格子不整合系の結晶成長技術を発展させてきた。例えば、特許文献1では、サファイア基板の表面に、アモルファス窒化層/GaNバッファ層からなる積層物を形成した後、結晶窒化物系半導体層を結晶成長させた窒化物系半導体デバイスが開示されている。
でありながら、大口径で、さらに品質が高い単結晶窒化物半導体の結晶成長を実現する技術が強く望まれていた。
図1乃至図4は、本発明の第1の実施形態を説明するための図である。以下、これらの図を参照しながら本実施形態を説明する。
なお、図2(c)では、金属接着層120にグラフェン層111aが付いた状態で剥離するものとしたが、複数のグラフェン層、例えば、グラフェン層111a及び111bが金属接着層120に付いた状態で剥離させるものとしてもよい。
なお、前記接合は、分子間力による接合の他、接合界面を介した原子の拡散、化合物形成などによる接合であってもよい。
(1)共有結合を持たず、グラフェン層111aと窒化物半導体層114との特有の表面ポテンシャルの規則性のみを結晶成長に用いるため、界面の格子不整合による結晶欠陥の生成が無い。
(2)別の基板130として、例えばSi基板のような安価で大口径な基板を使用することができるため、安価で大口径の単結晶窒化物半導体層成長ウエハが得られる。
(3)別の基板130として幅広い選択肢から選択することが可能であり、用途に最適な基板を選択することができる。
第1の実施形態では、グラフェン層111aの表面に窒化ガリウムGaN層を形成する形態を具体例にあげて説明したが、窒化ガリウムGaN以外の窒化物半導体層114の結晶成長にも適用できる。GaN以外の窒化物半導体層としては、AlXGa1−XN(1≧x≧0)、InXGa1−XN(1≧x≧0)、AlXIn1−XN(1≧x≧0)などがある。
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。第2の実施形態が第1の実施形態と異なる点は、第2の実施形態では、グラフェン層を成長した基板を用いて単結晶半導体層の結晶成長を行う点にある。
第2の実施形態では、SiC基板101を使用したが、SiC基板101に代えてSi基板を使ってSi基板の表面にエピタキシャルグラフェン層110を形成し、このエピタキシャルグラフェン層110の表面に前記半導体層の結晶成長を行ってもよい。
101 SiC基板
110 エピタキシャルグラフェン層
111、111a、111b、111c グラフェン層
114 窒化物半導体層
120 金属接着層
122 支持体接着層
124 支持体
130 別の基板
132 接合層
200 グラフェン層成長基板
300 単結晶窒化物半導体ウエハ
400 単結晶窒化物半導体ウエハ
Claims (6)
- 半導体基板の表面に単結晶半導体層を結晶成長させる半導体ウエハの製造方法において、
前記半導体基板の表面にグラフェン層が設けられる工程と、
前記グラフェン層の炭素原子の配列を示すハニカム構造の中心に、前記単結晶半導体層の結晶を構成する一の元素が吸着する工程と、
前記一の元素に前記結晶を構成するこの一の元素とは異なる他の元素が結合し、前記結晶半導体層の第1層が形成される工程と、
前記第1層の表面に続けて前記結晶半導体層が結晶成長される工程とを備える
ことを特徴とする半導体ウエハの製造方法。 - 前記グラフェン層を前記半導体基板から剥離し、この剥離したグラフェン層が別の基板に分子間力接合する工程をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハの製造方法。 - 前記単結晶半導体層は、
In、Ga及びAlから選択される元素を少なくとも1つ含む窒化物半導体層である
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体ウエハの製造方法。 - 基板の表面に単結晶半導体層を結晶成長させた半導体ウエハにおいて、
前記基板と、
前記基板の表面に設けたグラフェン層と、
前記グラフェン層の表面に結晶成長させた単結晶半導体層とを備え、
前記単結晶半導体層は、前記グラフェン層の炭素原子の配列を示すハニカム構造の中心に前記単結晶半導体層の結晶を構成する一の元素を吸着し、前記一の元素に前記結晶を構成するこの一の元素とは異なる他の元素を結合した
ことを特徴とする半導体ウエハ。 - 前記グラフェン層は、前記基板の表面に分子間力結合されている
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体ウエハ。 - 前記単結晶半導体層は、
In、Ga及びAlから選択される元素を少なくとも1つ含む窒化物半導体層である
ことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の半導体ウエハ。
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