JP2011009127A - 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線の走査領域を試料上で移動する第1の偏向器に対し、第2の偏向器によって、荷電粒子線の第1の偏向器に対する入射位置を調整し、第1の偏向器は、前記入射位置の調整が行われた荷電粒子線を、対物レンズの光軸に沿って前記試料に入射するように偏向する方法、及び装置を提案する。当該方法、及び装置によれば、荷電粒子線を対物レンズの光軸に沿って適正に試料に入射することが可能となる。
【選択図】 図6
Description
1002 第一コンデンサレンズ
1003 第二コンデンサレンズ
1004 偏向器
1005 電磁式視野移動用上段偏向器
1006 電磁式視野移動用上段偏向器
1007 走査用下段偏向器
1008 電磁式視野移動用下段偏向器
1009 対物レンズ
1010 パターン
1011 試料ステージ
1012 電子線外周軌道
1013 中心軌道
1014 検出器
1015 電子銃制御部
1016 第1レンズ制御部
1017 第2レンズ制御部
1018 偏向器制御部
1019 走査用上段走査制御器
1020 走査用下段走査制御器
1021 上段用視野位置制御器
1022 下段用視野位置制御器
1023 対物レンズ制御部
1024 検出器制御部
1025 試料ステージ制御部
1026 演算処理装置
1028 モニター
Claims (10)
- 荷電粒子線の走査領域を試料上で移動する第1の偏向器を備えた荷電粒子線の荷電粒子線調整方法において、
当該第1の偏向器に対する前記荷電粒子線の入射位置を偏向する第2の偏向器によって、前記荷電粒子線の前記第1の偏向器に対する入射位置を調整し、前記第1の偏向器は、当該調整が行われた前記荷電粒子線を、前記荷電粒子線を集束する対物レンズの光軸に沿って前記試料に入射するように偏向することを特徴とする荷電粒子線調整方法。 - 請求項1において、
前記第2の偏向器は、前記第1の偏向器によって前記走査領域を移動させたときに、前記荷電粒子線の走査によって得られる画像の倍率、或いは当該走査に基づいて測定されるパターンの測長値の変化が、前記対物レンズ光軸を中心として、線対称に変化するように、前記荷電粒子線を偏向することを特徴とする荷電粒子線調整方法。 - 請求項2において、
前記第1の偏向器による前記走査領域の移動のときに、前記対物レンズの物点を、前記第1の偏向器の偏向支点と一致させることを特徴とする荷電粒子線調整方法。 - 請求項1において、
前記第2の偏向器は、前記荷電粒子線が、前記第1の偏向器の偏向支点を通過するように、当該荷電粒子線を偏向することを特徴とする荷電粒子線調整方法。 - 請求項1において、
前記第1の偏向器は、前記試料上で視野移動を行う視野移動用偏向器の上段の偏向器であることを特徴とする荷電粒子線調整方法。 - 荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線の走査領域を移動する第1の偏向器と、前記荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズを備えた荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子源と前記第2の偏向器との間に、前記荷電粒子線を偏向する第2の偏向器を備え、当該第2の偏向器は、前記第1の偏向器に対する入射位置を調整し、前記第1の偏向器は、当該調整が行われた前記荷電粒子線を、前記荷電粒子線を、前記対物レンズの光軸に沿って前記試料に入射するように偏向することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記第2の偏向器は、前記第1の偏向器によって前記走査領域を移動させたときに、前記荷電粒子線の走査によって得られる画像の倍率、或いは当該走査に基づいて測定されるパターンの測長値の変化が、前記対物レンズ光軸を中心として、線対称に変化するように、前記荷電粒子線を偏向することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7において、
前記第1の偏向器による前記走査領域の移動のときに、前記対物レンズの物点を、前記第1の偏向器の偏向支点と一致させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記第2の偏向器は、前記荷電粒子線が、前記第1の偏向器の偏向支点を通過するように、当該荷電粒子線を偏向することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記第1の偏向器は、前記試料上で視野移動を行う視野移動用偏向器の上段の偏向器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
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