JP2010533882A5

JP2010533882A5 -

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Publication number: JP2010533882A5
Application number: JP2010516403A
Authority: JP
Filing date: 2008-07-09
Publication date: 2011-09-01

Claims

物体視野（２）と像視野（４）の間のビーム経路に結像光（６）を誘導するための少なくとも２つの光学有効面（Ｍ１からＭ６）を有する、少なくとも１．５の、視野の短手寸法（ｙ）と視野の長手寸法（ｘ）にわたる視野アスペクト比（ｘ／ｙ）を有する物体平面（３）内の該物体視野（２）を像平面（５）内の該像視野（４）に結像するための投影対物系（１）であって、
投影対物系（１）の光学有効面（Ｍ１からＭ６）、並びに投影対物系（１）の物体視野（２）及び投影対物系（１）の像視野（４）が、縦寸法（ｚ２）及び互いに垂直な２つの横寸法（ｘ２、ｙ２）にわたる直方体エンベロープ（１１）を有する設置空間を占有し、前記直方体エンベロープ（１１）の前記縦寸法（ｚ２）は、物体平面（３）と像平面（４）の間の投影対物系（１）の長さによって決定され、
前記物体視野（２）の前記短手寸法（ｙ１）に対して平行に延びる前記直方体エンベロープ（１１）の前記横寸法（ｙ２）は、該物体視野（２）の前記長手寸法（ｘ１）よりも短く、
前記直方体エンベロープ（１１）は、前記投影対物系（１）の実際の光学有効面、すなわち使用ビームに対して実際にさらされる面の全体を、その中に空間的に入れることができる最小の可能な直方体設置空間を表す、
ことを特徴とする投影対物系。
物体視野（２）と像視野（４）の間のビーム経路に結像光（６）を誘導するための少なくとも２つの光学有効面（Ｍ１からＭ６）を有する、少なくとも１．５の、視野の短手寸法（ｙ）と視野の長手寸法（ｘ）にわたる視野アスペクト比（ｘ／ｙ）を有する物体平面（３）内の該物体視野（２）を像平面（５）の該像視野（４）内に結像するための投影対物系（１）であって、
折り返しミラーのない投影対物系（１）の実施形態では物体視野（２）及び像視野（４）を含む投影対物系（１）の光学有効面（Ｍ１からＭ６）が、縦寸法（ｚ２）及び互いに垂直な２つの横寸法（ｘ２、ｙ２）にわたる直方体エンベロープ（１１）を有する設置空間を占有し、
前記直方体エンベロープ（１１）の前記２つの横寸法の一方（ｘ２）は、該２つの横寸法の他方（ｙ２）よりも少なくとも１．１の横寸法アスペクト比（ｘ２／ｙ２）だけ長く、
前記直方体エンベロープ（１１）は、前記投影対物系（１）の実際の光学有効面、すなわち使用ビームに対して実際にさらされる面の全体を、その中に空間的に入れることができる最小の可能な直方体設置空間を表す、
ことを特徴とする投影対物系。
前記光学有効面（Ｍ１からＭ６）のうちの少なくとも１つは、回転対称性を持たない自由形状曲面として具現化されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影対物系。
１．５又はそれよりも大きく、好ましくは２又はそれよりも大きく、好ましくは２．５又はそれよりも大きく、更に好ましくは３又はそれよりも大きく、更に好ましくは３．５又はそれよりも大きく、更に好ましくは４又はそれよりも大きい横寸法アスペクト比（ｘ２／ｙ２）を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の投影対物系。
前記物体視野（２）及び前記像視野（４）は、矩形であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の投影対物系。
２又はそれよりも大きく、好ましくは５又はそれよりも大きく、更に好ましくは１０又はそれよりも大きく、更に好ましくは２５又はそれよりも大きく、更に好ましくは４０又はそれよりも大きく、更に好ましくは５０又はそれよりも大きく、更に好ましくは６０又はそれよりも大きい視野アスペクト比を特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の投影対物系。
前記像平面（５）は、該像平面（５）に平行な前記物体平面（３）から距離を置いて配置されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の投影対物系。
投影対物系（１）が、反射方式で具現化されることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の投影対物系。
投影対物系（１）が、偶数個のミラー（Ｍ１からＭ６）を有することを特徴とする請求項８に記載の投影対物系。
投影対物系（１）が、６個のミラー（Ｍ１からＭ６）を有することを特徴とする請求項９に記載の投影対物系。
１という像縮尺を有し、かつ前記物体平面と前記像平面の間の中心に位置決めされた平面に対して鏡面対称方式で具現化されることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の投影対物系。
投影対物系（１）が、ゼロ以外の物体像シフト（ｄ_OIS）を有することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の投影対物系。
物体側でテレセントリックであることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の投影対物系。
像側でテレセントリックであることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の投影対物系。