JP2010527143A - 圧電積層素子 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
2 基材
3 圧電セラミック層
4 電極層
5 第1外部接触
6 第2外部接触
T1からT3 異なる温度
M1 第1材料組成
M2 第2材料組成
m1 第1材料組成の焼結収縮挙動
m2 第2材料組成の焼結収縮挙動
Claims (15)
- 交互に重なり合って配置される圧電セラミック層(3)と電極層(4)との積層体を有する基材(2)を含み、
前記積層体の隣接する層(3,4)が、互いに支え合い、応力が積層方向に垂直に掛かる、
圧電積層素子(1)。 - 前記隣接する層(3,4)は互いに張力応力下にある、請求項1に記載の圧電積層素子。
- 前記隣接する層(3,4)は互いに圧縮応力下にある、請求項1に記載の圧電積層素子。
- 前記積層体の前記隣接する層(3,4)は異なる焼結収縮特性を有する、請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電積層素子。
- 前記積層体の前記隣接する層(3,4)は異なるセラミック粒子径分布を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の圧電積層素子(1)。
- 前記隣接する層(3,4)の焼結収縮特性が、それぞれ側面方向の焼結収縮特性を含む、請求項4または5に記載の圧電積層素子(1)。
- 前記隣接圧電セラミック層(3)の材料が異なるか焼温度を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載の圧電積層素子(1)。
- 前記隣接圧電セラミック層(3)の材料のか焼温度が、80〜120℃分異なる、請求項7に記載の圧電積層素子。
- 前記隣接する層(3,4)は、それらの間の相対的機械的応力に影響を与える異なるドーパント(3,4)を含む、請求項1から8のいずれか1項に記載の圧電積層素子(1)。
- 前記隣接する層(3,4)は、それぞれの焼結収縮特性に影響を与える異なるドーパント(3,4)を含む、請求項4から9のいずれか1項に記載の圧電積層素子。
- 前記隣接する層(3,4)は、異なる焼結助剤を含む、請求項1から10のいずれか1項に記載の圧電積層素子。
- 異なる径のセラミック粒子を有する異なる圧電セラミック混合物を準備する工程と、
結合剤をそれぞれの前記異なる圧電セラミック混合物に混和する工程と、
前記異なる圧電セラミック混合物をグリーンシートに加工する工程と、
前記グリーンシートを前記電極層に印刷する工程と、
電極層を印刷された前記グリーンシートを、寸法を整えるため切断し、かつ、積層体を形成するため、前記積層体の隣接する層が異なる粒子径配置を有するように、重ね合って積層する工程と、
前記積層体を脱結合し、そして次にモノリスティック構造の素子を得るため、焼結する工程と、を備え、
焼結中に、前記積層体の層は異なる焼結収縮を受ける、
圧電積層素子の製造方法。 - 可能な限り平面的な外部表面を有する積層体が製造されるよう、積層体の側面の広がりが類似するような積層体の焼結冷却状態で各層が形成されるように、焼結工程で前記積層体が曝される温度が焼結期間に渡って制御される、請求項12に記載の方法。
- そのか焼温度が80から120℃の間分だけ異なるように、隣接する圧電セラミック層の材料組成が選ばれる、請求項12または13に記載の方法。
- それに隣接する圧電セラミック層の粒子径が1.1〜1.6μm分だけ異なるように圧電セラミック混合物が準備される、請求項12から14のいずれか1項に記載の方法。
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