JP2010502004A5

JP2010502004A5 -

Info

Publication number: JP2010502004A5
Application number: JP2009524914A
Authority: JP
Filing date: 2007-07-23
Publication date: 2010-09-16

Claims

マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システムであって、前記照明システムが：
−射出瞳面（１２１）を照明するための、波長領域≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長領域内の光を放出する、光源、および
−位置において可変の多数のファセットミラーを備えた、ファセットされた光学素子（１１３）であって、射出瞳面（１２１）内で少なくとも１つの第１の照明（２２）を第２の照明（２４）へ変化させることができる、前記ファセットされた素子、
を有し、
前記照明システムが、光を検出するための少なくとも１つの検出器（１０６．１、１０６．２）および検出器（１０６．１、１０６．２）の少なくとも１つの光強度信号を記録して、少なくとも記録した光強度信号に従って制御信号（１６６）を提供する装置（１６４）を有しており、前記制御信号によって、マイクロリソグラフィー投影露光装置の像面（１２１）内で感光性の物体のスキャン速度を調節することができる、
マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システム。
検出器（１０６．１、１０６．２）が、光源（１００）から射出瞳面（１２１）への光の光路内で、光源（１００）と射出瞳面（１２１）との間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の照明システム。
前記装置が、前記ファセットされた光学素子の第１の調節を表す、第１の調節信号を記録し、前記第１の調節によって第１の照明（２２）が提供されることを特徴とする請求項１から２のいずれか１項に記載の照明システム。
前記装置が、前記ファセットされた光学素子の第２の調節を表す、第２の調節信号を記録し、前記第２の調節によって第２の照明（２６）が提供されることを特徴とする請求項３に記載の照明システム。
前記装置が、メモリユニットを備えた制御ユニット（１０３０、１６４）を有しており、前記メモリユニット内に、第１の照明のための少なくとも１つの第１の較正値と、第２の照明のための第２の較正値が格納されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の照明システム。
メモリユニット内に、多数の較正値をもたらす較正テーブルが格納されていることを特徴とする請求項５に記載の照明システム。
感光性の物体が、スキャンテーブル（５０２）上に配置されており、かつスキャン速度がスキャンテーブルの送り速度を定めることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の照明システム。
感光性の物体（２００）が、ウェファであることを特徴とする請求項７に記載の照明システム。
検出器（１６０．１）が、光源（１００）から射出瞳面（１２１）への光路内で、照明の調節を変化させるための前記ファセットされた光学素子（１３０）の後方に配置されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の照明システム。
検出器（１６０．２）が、光源（１００）から射出瞳面（１２１）への光路内で、照明の調節を変化させるための前記ファセットされた光学素子（１３０）の前に配置されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の照明システム。
検出器（１６０．１、１６０．２）が、射出瞳面の照明の調節を変化させるための前記ファセットされた光学素子（１３０）に、あるいはその近傍に配置されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の照明システム。
検出器（１６０．１、１６０．２）が、マイクロリソグラフィー投影露光装置の物体面（２００）または像面（２２１）に、あるいはその近傍に配置されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の照明システム。
照明システムが、カトプトリックな照明システムであることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の照明システム。
照明システムが、さらなるファセットされた光学素子（１１６）を有することを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の照明システム。
前記さらなるファセットされた光学素子（１１６）が、多数のファセットミラー（１１５、１１５．１、１１５．２）を有していることを特徴とする請求項１８に記載の照明システム。
物体面（２００）と、物体面（３００）内に配置されている物体を像面（２２１）内へ結像させるためのプロジェクション対物レンズ（３００）とを有する、請求項１から１５のいずれか１項に記載の照明システムを有するマイクロリソグラフィー投影露光装置。
プロジェクション対物レンズ（３００）が、アパーチャ絞り（Ｂ）を有していることを特徴とする請求項１６に記載のマイクロリソグラフィー投影露光装置。
射出瞳面（１２１）の照明に関係なく、波長≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長のためのマイクロリソグラフィー投影露光装置の像面内で、スキャンルートに沿って実質的に等しい光エネルギ、特に積分された光エネルギを調節する方法であって、
前記マイクロリソグラフィー投影露光装置が、射出瞳面内で照明を変化させるための、位置において可変の多数のファセットミラーを備えた、ファセットされた光学素子（１１３）と、検出器とを有し、前記方法が、以下のステップを有する；
−光エネルギが、射出瞳面内で照明を変化させる前に測定され、
−光エネルギが、射出瞳面内で照明を変化させた後に測定され、
−照明の変化の前と後に測定された光エネルギの差信号が形成されて、差信号に基づいて、像面内で感光性の物体のスキャン速度が調節される、
前記方法。
差信号が連続的に記録されて、制御ユニットへ供給され、かつ像面内で感光性の物体のスキャン速度が連続的に調節されることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
射出瞳面の照明に関係なく、波長≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長のためのマイクロリソグラフィー投影露光装置の像面内でスキャンルートに沿って実質的に等しい光エネルギ、特に積分された光エネルギを調節する方法であって、
前記マイクロリソグラフィー投影露光装置が、射出瞳面内で照明を変化させるための、位置において可変の多数のファセットミラーを備えた、ファセットされた光学素子（１１３）と、検出器とを有し、前記方法が、以下のステップを有する：
−光エネルギが、射出瞳面内の様々な照明のために検出器によって測定され、
−測定された値が、較正値として制御ユニット内に格納され、
−較正値の格納後に、光エネルギが検出器によって求められて、格納されている較正値と比較され、
−較正値との比較に基づいて、像面内で感光性の物体のスキャン速度が調節される、
前記方法。
較正値が、較正テーブルおよび／または較正カーブの形式で格納されることを特徴とする請求項２０に記載の方法。
検出器が、射出瞳面の照明の調節を変化させるための素子に、あるいはその近傍に配置されていることを特徴とする請求項１８から２１のいずれか１項に記載の方法。
マイクロリソグラフィー投影露光装置が、物体面と像面を有し、かつ検出器が、物体面および／または像面に、あるいはその近傍に配置されていることを特徴とする請求項１８から２１のいずれか１項に記載の方法。