JP2010288285A - 高周波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高周波電力を負荷2に供給可能な高周波電源11とマッチングボックス12とをスイッチング稼働可能に設ける。高周波電源とマッチングボックスとの間に高周波反射電力検知器13と制御信号発生器14を設け、制御信号発生器14から、高周波電源11に対し基本制御信号を出力し、マッチングボックス12と高周波反射電力検知器13に所定時間の遅れをもって外部制御信号を出力する。それに同期して反射電力信号が制御信号発生器14に帰還されるようにし、この反射電力信号が最小値となるように負荷の時間的変動に対する外部制御信号の制御信号パラメータを調節してマッチングを行う。
【選択図】図1
Description
11a、11b 高周波電源
12a、12b マッチングボックス
13a、13b 高周波反射電力検知器
14 制御信号発生器
2 負荷
S1、S2 高周波電力供給系
Claims (8)
- 高周波電力を負荷に供給可能な高周波電源と、電流電圧の位相のチューニング及びインピーダンスの整合を行うマッチングボックスとをスイッチング稼働可能に備え、この高周波電源とマッチングボックスとの間に高周波反射電力検知手段を設けると共に、高周波電源に対しパルス変調した基本制御信号を出力すると共にマッチングボックスに所定時間の遅れをもってパルス変調した外部制御信号を出力して高周波電源及びマッチングボックスをそれぞれ稼働させる制御信号発生器を設けた高周波装置であって、
前記制御信号発生器は、高周波反射電力検知器に対して外部制御信号を出力し、それに同期して反射電力信号が、高周波電源、マッチングボックス及び制御信号発生器のいずれかに帰還されるようにし、この反射電力信号が最小値となるように、負荷の時間的変動に対する外部制御信号の制御信号パラメータを調節してマッチングを行うようにしたことを特徴とする高周波装置。 - 前記制御信号パラメータは、パルス変調した外部制御信号の繰返周波数、duty比、電流電圧の位相及びON時間のゲート幅を含むことを特徴とする請求項1記載の高周波装置。
- 前記各外部制御信号の出力について、応答時間の遅れに応じた時間遅れ成分を予め補正することを特徴とする請求項1または請求項2記載の高周波装置。
- 高周波電源、マッチングボックス及び制御信号発生器のいずれか1つにCPUを設け、このCPUによって高周波反射電力検知器で検知された反射電力信号を最小値に導くことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の高周波装置。
- 前記CPUによって、高周波反射電力検知器で検知された反射電力信号を最小値に導く場合、反射電力を順次または所定の判定基準によって段階的に行うことを特徴とする請求項4記載の高周波装置。
- 前記反射電力信号が最小値となるように制御信号パラメータを調節する場合、高周波電源及びマッチングボックスの少なくとも一方の稼動をフィードバック制御することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の高周波装置。
- 前記高周波反射電力検知器は、制御信号発生器内部で高周波反射電力検知器からの素信号の入力時間設定処理或いはこの素信号の入力後の加工処理を施すことができ、負荷の時間的変動に対して、任意の周期、 位相およびON時間のゲート幅におけるサンプリングに基づく反射電力の検知ができることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の高周波装置。
- 高周波電源、マッチングボックス及び高周波反射電力から構成される高周波電力供給系を複数負荷に接続し、いずれか1台の高周波電源に基本制御信号を出力し、その他のものに外部制御信号を出力して1個の制御信号発生器で各高周波電力供給系を制御するようにしたことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の高周波装置。
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