JPH09139299A - 高周波装置 - Google Patents
高周波装置Info
- Publication number
- JPH09139299A JPH09139299A JP7296509A JP29650995A JPH09139299A JP H09139299 A JPH09139299 A JP H09139299A JP 7296509 A JP7296509 A JP 7296509A JP 29650995 A JP29650995 A JP 29650995A JP H09139299 A JPH09139299 A JP H09139299A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- period
- high frequency
- reflected power
- frequency output
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カプラで検出された反射電力に対応した値を
表示出来る様に成す。 【解決手段】 トランジスタ回路９に変調信号発生回路
８からのパルス信号Ｖｐが供給されているので、パルス
信号の“ハイ”の期間にコンデンサＣｓに充電されてい
た電荷は、抵抗ＲｓとコンデンサＣｓの時定数に従って
放電する。高周波出力Ｖｆの立上がり期間と、立ち下が
り期間を含む“オフ”の期間は、トランジスタＴＲｓが
導通の状態にあるので、入射電力表示器７の入力部の電
位Ｖｒｍは０となり、該入射電力表示器７は最小値
（０）を表示する。高周波出力Ｖｆの立上がりを除く
“オン”の期間は、前記トランジスタＴＲｓは非導通
（“オフ”）の状態にあるので、電位Ｖｒｍは前記カプ
ラ５で検出された反射電力に対応したものとなるので、
該入射電力表示器７には前記反射電力に対応した値が表
示される。
表示出来る様に成す。 【解決手段】 トランジスタ回路９に変調信号発生回路
８からのパルス信号Ｖｐが供給されているので、パルス
信号の“ハイ”の期間にコンデンサＣｓに充電されてい
た電荷は、抵抗ＲｓとコンデンサＣｓの時定数に従って
放電する。高周波出力Ｖｆの立上がり期間と、立ち下が
り期間を含む“オフ”の期間は、トランジスタＴＲｓが
導通の状態にあるので、入射電力表示器７の入力部の電
位Ｖｒｍは０となり、該入射電力表示器７は最小値
（０）を表示する。高周波出力Ｖｆの立上がりを除く
“オン”の期間は、前記トランジスタＴＲｓは非導通
（“オフ”）の状態にあるので、電位Ｖｒｍは前記カプ
ラ５で検出された反射電力に対応したものとなるので、
該入射電力表示器７には前記反射電力に対応した値が表
示される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、高周波電源から
の高周波出力をパルス状の変調信号で変調する変調回路
を設けた高周波装置に関する。
の高周波出力をパルス状の変調信号で変調する変調回路
を設けた高周波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 スパッタリング装置やエッチング装置
やＣＶＤ装置等に高周波プラズマを使用しているものが
ある。この様な装置では、スパッタリングやエッチング
等を行うチャンバー内に設けられた電極に高周波を供給
して、該チャンバー内に高周波プラズマを発生させる様
にしている。
やＣＶＤ装置等に高周波プラズマを使用しているものが
ある。この様な装置では、スパッタリングやエッチング
等を行うチャンバー内に設けられた電極に高周波を供給
して、該チャンバー内に高周波プラズマを発生させる様
にしている。
【０００３】この様な高周波装置においては、高周波電
源からの高周波出力を前記チャンバーの電極の如き負荷
に供給しているのであるが、その際、マッチング回路に
より、前記高周波電源と負荷のインピーダンスマッチン
グをとり、反射電力が最小（０に近い許容範囲）に収ま
るようにしている。
源からの高周波出力を前記チャンバーの電極の如き負荷
に供給しているのであるが、その際、マッチング回路に
より、前記高周波電源と負荷のインピーダンスマッチン
グをとり、反射電力が最小（０に近い許容範囲）に収ま
るようにしている。
【０００４】所で、近時、例えば、スパッタリングによ
る基板上の膜質向上等を目指して放電状態を種々変える
試みが行われており、その為に、高周波電源からの高周
波出力をパルス的に種々変調を掛け、反射電力を監視し
ている。
る基板上の膜質向上等を目指して放電状態を種々変える
試みが行われており、その為に、高周波電源からの高周
波出力をパルス的に種々変調を掛け、反射電力を監視し
ている。
【０００５】図１はその様な高周波装置の概略を示した
ものである。
ものである。
【０００６】図中１は高周波電源、２は内部に電極３
Ａ，３Ｂが配置されたチャンバー、４はマッチング回路
で、前記高周波電源１と負荷のインピーダンスマッチン
グをとる。５はカプラで、入射電力と反射電力を検出す
るもので、共に、ダイオードＤｆ，Ｄｒ、抵抗Ｒｆ，Ｒ
ｒ、コンデンサＣｆ，Ｃｒを備えている。６は入射電力
表示器、７は反射電力表示器である。８は変調信号発生
回路で、パスス状の変調信号で、前記高周波電源１から
の高周波出力に変調を掛けるものである。
Ａ，３Ｂが配置されたチャンバー、４はマッチング回路
で、前記高周波電源１と負荷のインピーダンスマッチン
グをとる。５はカプラで、入射電力と反射電力を検出す
るもので、共に、ダイオードＤｆ，Ｄｒ、抵抗Ｒｆ，Ｒ
ｒ、コンデンサＣｆ，Ｃｒを備えている。６は入射電力
表示器、７は反射電力表示器である。８は変調信号発生
回路で、パスス状の変調信号で、前記高周波電源１から
の高周波出力に変調を掛けるものである。
【０００７】この様な装置において、前記マッチング回
路４の応答速度は遅く、高周波出力が負荷に供給されて
から数ミリ秒〜数秒に完全に応答出来るようになるが、
前記変調の周期は前記マッチング回路４の応答速度より
かなり速い事から、次の様な問題が発生する。
路４の応答速度は遅く、高周波出力が負荷に供給されて
から数ミリ秒〜数秒に完全に応答出来るようになるが、
前記変調の周期は前記マッチング回路４の応答速度より
かなり速い事から、次の様な問題が発生する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】 即ち、前記高周波電
源１からの高周波出力Ｖｆを図２の（ａ）に示す様な変
調信号発生回路８からのパルス信号Ｖｐにより変調を掛
けると、該パルス信号の“ロー”の期間Ｔｌに高周波出
力は“オン”の状態、“ハイ”の期間Ｔｈに高周波出力
は“オフ”の状態に変調される（図２の（ｂ）参照）。
この様に変調された高周波出力の立上がり期間Ｔｕ及び
立ち下がり期間Ｔｄにおいて、その出力レベルが大きく
変化しているので、マッチング状態が崩れ、反射電力Ｖ
ｒがその間だけ大きく変化している（図２の（ｃ）参照
９）。この反射電力Ｖｒはカプラ５で検出されるが、該
反射電力に対応した電荷は，前記立上がり期間Ｔｕ及び
立ち下がり期間ＴｄにダイオードＤｒの内部抵抗と抵抗
Ｒｒの時定数に従ってコンデンサＣｒに充電され、それ
以外の期間において、コンデンサＣｒと抵抗Ｒｒの時定
数に従って放電される状態を極く短時間の間に繰返すの
で、前記反射電力表示器７の入力部の信号Ｖｒｍは図２
の（ｄ）の如く変化し、高周波出力が“オン”の状態の
時に前記カプラ５で検出された反射電力Ｖｒに対応した
値を表示しない。即ち、例えば、前記チャンバー２内で
放電状態が変わって、反射電力が変わっても、その反射
電力値を前記反射電力表示器７で見る事は出来ない。
源１からの高周波出力Ｖｆを図２の（ａ）に示す様な変
調信号発生回路８からのパルス信号Ｖｐにより変調を掛
けると、該パルス信号の“ロー”の期間Ｔｌに高周波出
力は“オン”の状態、“ハイ”の期間Ｔｈに高周波出力
は“オフ”の状態に変調される（図２の（ｂ）参照）。
この様に変調された高周波出力の立上がり期間Ｔｕ及び
立ち下がり期間Ｔｄにおいて、その出力レベルが大きく
変化しているので、マッチング状態が崩れ、反射電力Ｖ
ｒがその間だけ大きく変化している（図２の（ｃ）参照
９）。この反射電力Ｖｒはカプラ５で検出されるが、該
反射電力に対応した電荷は，前記立上がり期間Ｔｕ及び
立ち下がり期間ＴｄにダイオードＤｒの内部抵抗と抵抗
Ｒｒの時定数に従ってコンデンサＣｒに充電され、それ
以外の期間において、コンデンサＣｒと抵抗Ｒｒの時定
数に従って放電される状態を極く短時間の間に繰返すの
で、前記反射電力表示器７の入力部の信号Ｖｒｍは図２
の（ｄ）の如く変化し、高周波出力が“オン”の状態の
時に前記カプラ５で検出された反射電力Ｖｒに対応した
値を表示しない。即ち、例えば、前記チャンバー２内で
放電状態が変わって、反射電力が変わっても、その反射
電力値を前記反射電力表示器７で見る事は出来ない。
【０００９】これでは、膜質向上等の為に、高周波電源
１からの高周波出力をパルス的に変調を掛けて放電状態
を変え、その際の反射電力を監視している意味がなくな
ってしまう。
１からの高周波出力をパルス的に変調を掛けて放電状態
を変え、その際の反射電力を監視している意味がなくな
ってしまう。
【００１０】本発明はこの様な問題を解決する新規な高
周波装置を提供する事を目的とする
周波装置を提供する事を目的とする
【００１１】
【課題を解決するための手段】 発明に基づく高周波装
置は、高周波電源、該高周波電源からの高周波出力が供
給される負荷、該負荷と前記高周波電源の間の反射電力
を検出する検出器、該検出器の値を表示する表示器、前
記高周波電源と負荷のインピーダンスマッチングをとる
マッチング回路を備えた高周波装置において、前記高周
波電源をパルス状の信号でスイッチングするスイッチン
グ回路を設け、該スイッチング回路と前記表示器の入力
部の間に該スイッチング回路からのスイッチング信号に
同期して動作するトランジスタ回路を設けた事を特徴と
している。
置は、高周波電源、該高周波電源からの高周波出力が供
給される負荷、該負荷と前記高周波電源の間の反射電力
を検出する検出器、該検出器の値を表示する表示器、前
記高周波電源と負荷のインピーダンスマッチングをとる
マッチング回路を備えた高周波装置において、前記高周
波電源をパルス状の信号でスイッチングするスイッチン
グ回路を設け、該スイッチング回路と前記表示器の入力
部の間に該スイッチング回路からのスイッチング信号に
同期して動作するトランジスタ回路を設けた事を特徴と
している。
【００１２】
【発明の実施の形態】 以下、図面を参照して本発明の
実施の形態を詳細に説明する。図３は本発明の一実施例
を示した高周波装置の概略図である。図中、前記図１で
使用した符号と同一符号を付したもの同一構成要素であ
る。前記図１と異なる所は、変調信号発生回路８と反射
電力表示器７の間にトランジスタ回路９を設けたことで
ある。該トランジスタ回路は、ダイオードＤｓ、抵抗Ｒ
ｓ、コンデンサＣｓ、トランジスタＴＲｓから成り、高
周波出力の立下がり期間Ｔｄを含む“オフ”の期間Ｔｈ
と立上がり期間Ｔｕを合わせた期間（Ｔｈ＋Ｔｕ）若し
くはこの期間より少し長い期間に導通（“オン”）の状
態、該期間を除いた期間に非導通（“オフ”）の状態に
コントロールされるものである。
実施の形態を詳細に説明する。図３は本発明の一実施例
を示した高周波装置の概略図である。図中、前記図１で
使用した符号と同一符号を付したもの同一構成要素であ
る。前記図１と異なる所は、変調信号発生回路８と反射
電力表示器７の間にトランジスタ回路９を設けたことで
ある。該トランジスタ回路は、ダイオードＤｓ、抵抗Ｒ
ｓ、コンデンサＣｓ、トランジスタＴＲｓから成り、高
周波出力の立下がり期間Ｔｄを含む“オフ”の期間Ｔｈ
と立上がり期間Ｔｕを合わせた期間（Ｔｈ＋Ｔｕ）若し
くはこの期間より少し長い期間に導通（“オン”）の状
態、該期間を除いた期間に非導通（“オフ”）の状態に
コントロールされるものである。
【００１３】この様な構成の動作を次に説明する。
【００１４】高周波電源１からの高周波出力Ｖｆを図３
の（ａ）に示す様なパルス信号Ｖｐにより変調を掛ける
と、該パルス信号の“ロー”の期間Ｔｌに高周波出力は
“オン”の状態、“ハイ”の期間Ｔｈに高周波出力は
“オフ”の状態に変調される（図３の（ｂ）参照）。こ
の様に変調された高周波出力の立上がり期間Ｔｕ及び立
ち下がり期間Ｔｄにおいて、その出力レベルが大きく変
化しているので、マッチング状態が崩れ、反射電力Ｖｒ
がその間だけ大きく変化している。そして、前記した様
に、前記高周波出力の立上がり及び立ち下がり期間にお
いて大きく変化した反射電力Ｖｒはそれ以外の期間にお
いてはマッチング回路４により最小（０に近い許容範
囲）に収められる（図２の（ｃ）参照）。さて、トラン
ジスタ回路９には、前記変調信号発生回路８からのパル
ス信号Ｖｐが供給されているので、該パルス信号Ｖｐの
“ハイ”の期間にコンデンサＣｓに充電されていた電荷
は、抵抗ＲｓとコンデンサＣｓの時定数に従って放電す
る。従って、トランジスタＴＲｓのベース電位Ｖｂは図
３の（ｄ）の如く変化するので、Ｌｂをトランジスタの
動作レベルとすると、該トランジスタは、高周波出力Ｖ
ｆ（図３の（ｂ）参照）の立下がり期間Ｔｄを含む“オ
フ”の期間Ｔｈと立上がり期間Ｔｕを合わせた期間（Ｔ
ｈ＋Ｔｕ）より僅かに長い期間に導通（“オン”）の状
態、該期間を除いた期間に非導通（“オフ”）の状態と
なる。即ち、高周波出力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕと、高
周波出力Ｖｆの立ち下がり期間Ｔｄを含む“オフ”の期
間Ｔｈは、トランジスタＴＲｓが導通（“オン”）の状
態にあるので、高周波出力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕと立
ち下がり期間Ｔｄに発生した大きな反射電力に基づく電
荷はカプラ５のコンデンサＣｒに充電されることなく、
全て前記トランジスタＴＲｓ側へ流れてしまう。従っ
て、高周波出力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕと、高周波出力
Ｖｆの立ち下がり期間Ｔｄを含む“オフ”の期間Ｔｈ
は、入射電力表示器７の入力部の電位Ｖｒｍは０とな
り、この期間、該入射電力表示器７は最小値（０若しく
は０に近い許容範囲の値）を表示する。一方、高周波出
力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕより僅かに長い期間を除く高
周波出力の“オン”の期間Ｔｌの大部分の期間は、前記
トランジスタＴＲｓは非導通（“オフ”）の状態にある
ので、入射電力表示器７の入力部の電位Ｖｒｍは前記カ
プラ５で検出された反射電力に対応したものとなるの
で、該入射電力表示器７には前記反射電力Ｖｒに対応し
た値が表示される。従って、例えば、前記チャンバー２
内で放電状態が変わって、反射電力が変わっても、その
反射電力値を前記反射電力表示器７で見る事が出来ねの
るので、膜質向上等の為に、高周波電源からの高周波出
力をパルス的に変調を掛けて放電状態を変えている場
合、その際の放電状態を反映した反射電力が監視するこ
とが可能となる。
の（ａ）に示す様なパルス信号Ｖｐにより変調を掛ける
と、該パルス信号の“ロー”の期間Ｔｌに高周波出力は
“オン”の状態、“ハイ”の期間Ｔｈに高周波出力は
“オフ”の状態に変調される（図３の（ｂ）参照）。こ
の様に変調された高周波出力の立上がり期間Ｔｕ及び立
ち下がり期間Ｔｄにおいて、その出力レベルが大きく変
化しているので、マッチング状態が崩れ、反射電力Ｖｒ
がその間だけ大きく変化している。そして、前記した様
に、前記高周波出力の立上がり及び立ち下がり期間にお
いて大きく変化した反射電力Ｖｒはそれ以外の期間にお
いてはマッチング回路４により最小（０に近い許容範
囲）に収められる（図２の（ｃ）参照）。さて、トラン
ジスタ回路９には、前記変調信号発生回路８からのパル
ス信号Ｖｐが供給されているので、該パルス信号Ｖｐの
“ハイ”の期間にコンデンサＣｓに充電されていた電荷
は、抵抗ＲｓとコンデンサＣｓの時定数に従って放電す
る。従って、トランジスタＴＲｓのベース電位Ｖｂは図
３の（ｄ）の如く変化するので、Ｌｂをトランジスタの
動作レベルとすると、該トランジスタは、高周波出力Ｖ
ｆ（図３の（ｂ）参照）の立下がり期間Ｔｄを含む“オ
フ”の期間Ｔｈと立上がり期間Ｔｕを合わせた期間（Ｔ
ｈ＋Ｔｕ）より僅かに長い期間に導通（“オン”）の状
態、該期間を除いた期間に非導通（“オフ”）の状態と
なる。即ち、高周波出力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕと、高
周波出力Ｖｆの立ち下がり期間Ｔｄを含む“オフ”の期
間Ｔｈは、トランジスタＴＲｓが導通（“オン”）の状
態にあるので、高周波出力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕと立
ち下がり期間Ｔｄに発生した大きな反射電力に基づく電
荷はカプラ５のコンデンサＣｒに充電されることなく、
全て前記トランジスタＴＲｓ側へ流れてしまう。従っ
て、高周波出力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕと、高周波出力
Ｖｆの立ち下がり期間Ｔｄを含む“オフ”の期間Ｔｈ
は、入射電力表示器７の入力部の電位Ｖｒｍは０とな
り、この期間、該入射電力表示器７は最小値（０若しく
は０に近い許容範囲の値）を表示する。一方、高周波出
力Ｖｆの立上がり期間Ｔｕより僅かに長い期間を除く高
周波出力の“オン”の期間Ｔｌの大部分の期間は、前記
トランジスタＴＲｓは非導通（“オフ”）の状態にある
ので、入射電力表示器７の入力部の電位Ｖｒｍは前記カ
プラ５で検出された反射電力に対応したものとなるの
で、該入射電力表示器７には前記反射電力Ｖｒに対応し
た値が表示される。従って、例えば、前記チャンバー２
内で放電状態が変わって、反射電力が変わっても、その
反射電力値を前記反射電力表示器７で見る事が出来ねの
るので、膜質向上等の為に、高周波電源からの高周波出
力をパルス的に変調を掛けて放電状態を変えている場
合、その際の放電状態を反映した反射電力が監視するこ
とが可能となる。
【図１】 高周波装置の従来例の概略を示している。
【図２】 従来の高周波装置の信号波形図を示してい
る。
る。
【図３】 本発明の一実施例の概略を示している。
【図４】 本発明の高周波装置の信号波形図を示してい
る。
る。
１ 高周波電源 ２ チャンバー ３Ａ，３Ｂ 電極 ４ マッチング回路 ５ カプラ ６ 入力電力表示器 ７ 反射電力表示器 ８ 変調信号発生回路 ９ トランジスタ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/3065 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｂ
Claims (1)
- 【請求項１】 高周波電源、該高周波電源からの高周波
出力が供給される負荷、該負荷と前記高周波電源の間の
反射電力を検出する検出器、該検出器の値を表示する表
示器、前記高周波電源と負荷のインピーダンスマッチン
グをとるマッチング回路を備えた高周波装置において、
前記高周波電源のからの高周波出力を変調する変調回路
を設け、該変調回路と前記表示器の入力部の間に該変調
回路からの変調信号に同期して動作するトランジスタ回
路を設けた高周波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29650995A JP3148605B2 (ja) | 1995-11-15 | 1995-11-15 | 高周波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29650995A JP3148605B2 (ja) | 1995-11-15 | 1995-11-15 | 高周波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09139299A true JPH09139299A (ja) | 1997-05-27 |
| JP3148605B2 JP3148605B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=17834468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29650995A Expired - Fee Related JP3148605B2 (ja) | 1995-11-15 | 1995-11-15 | 高周波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148605B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010288285A (ja) * | 2003-10-23 | 2010-12-24 | Ulvac Japan Ltd | 高周波装置 |
-
1995
- 1995-11-15 JP JP29650995A patent/JP3148605B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010288285A (ja) * | 2003-10-23 | 2010-12-24 | Ulvac Japan Ltd | 高周波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3148605B2 (ja) | 2001-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3480276B2 (ja) | タッチスイッチ | |
| FR2511796A1 (fr) | Dispositif d'affichage a detection de contact et procede de localisation d'un contact capacitif | |
| US4317056A (en) | Voltage monitoring and indicating circuit | |
| US4149113A (en) | D. C. Powered control circuit for energizing a cold cathode lamp | |
| US5089727A (en) | Pulsed driver circuit | |
| JP3148605B2 (ja) | 高周波装置 | |
| KR850008594A (ko) | 비데오 신호처리용 장치 | |
| US5550329A (en) | Apparatus for driving a resistance film type input device | |
| JPH06130101A (ja) | コンデンサの絶縁抵抗測定装置 | |
| US5028823A (en) | Delay device with intermittent capacitor discharge | |
| JPH0714463A (ja) | 接点信号判別装置 | |
| KR970055431A (ko) | 소프트 스타트 펄스폭 변조 집적회로 | |
| US4450415A (en) | Alterable mode oscillator | |
| US2554800A (en) | Supervisory circuit | |
| JP3378722B2 (ja) | 静電容量型センサ | |
| KR970060881A (ko) | 플레시 제어 회로 | |
| KR870003620A (ko) | 스태딕 인버터 | |
| US5225714A (en) | Sawtooth waveform generator for a convergence correction circuit | |
| KR940010481A (ko) | 저주파 발진기 | |
| JPH0918321A (ja) | 静電容量型近接センサ | |
| JPH11122918A (ja) | 高圧電源 | |
| US4086838A (en) | Vibrato signal generating arrangement for an electronic musical instrument | |
| KR200167170Y1 (ko) | 펄스폭 변조회로 | |
| JPH0257425B2 (ja) | ||
| KR920003584Y1 (ko) | 전자조리기의 구동 제어회로 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001226 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090112 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140112 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |