JP2010287693A - 重ね合わせ装置、位置合わせ装置および基板貼り合わせ装置 - Google Patents
重ね合わせ装置、位置合わせ装置および基板貼り合わせ装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ装置であって、一の基板を保持する第一ホルダを保持する第一ステージと、他の基板を保持する第二ホルダを保持しつつ第一ステージに近接して、他の基板を一の基板に重ね合わせる第二ステージと、第一ステージおよび第二ステージの一方に設けられ、第一ステージに対して進退して、下方から支持した第一ホルダを第一ステージに保持させ、且つ、第二ステージに対して進退して、下方から支持した第二ホルダを第二ステージに保持させるプッシュアップピンとを備える。
【選択図】図12
Description
Claims (6)
- 複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
一の基板を保持する第一ホルダを保持する第一ステージと、
他の基板を保持する第二ホルダを保持しつつ前記第一ステージに近接して、前記他の基板を前記一の基板に重ね合わせる第二ステージと、
前記第一ステージおよび前記第二ステージの一方に設けられ、前記第一ステージに対して進退して、下方から支持した前記第一ホルダを前記第一ステージに保持させ、且つ、前記第二ステージに対して進退して、下方から支持した前記第二ホルダを前記第二ステージに保持させるプッシュアップピンと
を備える重ね合わせ装置。 - 前記第一ステージは、前記一の基板を保持する保持面を下方に向けて前記第一ホルダを保持し、
前記プッシュアップピンは、前記第二ステージに配される
請求項1に記載の重ね合わせ装置。 - 前記プッシュアップピンは、前記第二ステージに前記第二ホルダが保持される前に、前記第一ステージに前記第一ホルダを保持させ、前記第一ステージに前記第一ホルダを保持させた後に、前記第二ステージに前記第二ホルダを保持させる請求項2に記載の重ね合わせ装置。
- 前記プッシュアップピンは、前記第二ステージに前記第二ホルダを保持させる場合の進退位置精度よりも高い、前記第一ステージに対して前記第一ホルダを保持させる場合の進退位置精度を有する請求項2または請求項3に記載の重ね合わせ装置。
- 請求項1から請求項4までのいずれかに記載の重ね合わせ装置を備えた位置合わせ装置。
- 請求項1から請求項4までのいずれかに記載の重ね合わせ装置を備えた基板貼り合わせ装置。
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